プレートの交換で、ラッピング・ポリッシングに対応出来ます。
◆AC100V電源のみで動作します。
◆スラリーによるウエット研磨シートを用いたドライ研磨にも対応出来ます。
◆プレート回転速度の変更が可能です。
◆タイマーにより自動運転が可能です。
◆小口径ウェーハやチップの簡易的なCMPに最適です。
※CMP:Chemical Mechanical Polishing 化学的機械研磨
◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 卓上型片面ラッピングポリッシング装置 TR06M |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 299.7Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | テクノライズ株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
この企業の関連カタログ
このカタログの内容
Page1
【特徴】
・ プレートの交換で、ラッピング・ポリッシングに対応出来ます。
・ AC100V電源のみで動作します。
・ スラリーによるウエット研磨シートを用いたドライ研磨にも対応出来ます。
・ プレート回転速度の変更が可能です。
・ タイマーにより自動運転が可能です。
・ 小口径ウェーハやチップの簡易的な CMPに最適です。
※CMP：Chemical Mechanical Polishing 化学的機械研磨
【仕様】
ラッププレートの大きさ 外径 Φ150mm
ラッププレートの回転数 0～80rpm
ワーク最大軸数 2軸
最大加工サイズ 丸 約 φ50mm
装置寸法 幅 340mm×奥行 220mm×高さ 310mm.
装置重量 20kg
電源 AC100V