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純水スピン洗浄・乾燥装置 TCL300SPW

製品カタログ

表裏面を純水にて洗浄する事を可能とし、スピン乾燥まで行う装置です。

本装置は、φ100mm~φ300mm ウェーハサイズまで専用テーブルを交換する事で 各サイズを対応可能としております。

◆スピン洗浄・乾燥 テーブルを回転させ、ウェーハ表面に純水をかけながら洗浄し、ウェーハ中心部からN2を噴きかけながら、スピン乾燥まで行える洗浄手動装置です。
◆ワーク固定方式 チャック(吸着部)が交換式の為、ワークに合わせ吸着固定だけではなくピンタイプの固定も可能です。

◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

このカタログについて

ドキュメント名 純水スピン洗浄・乾燥装置 TCL300SPW
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 260.3Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 テクノライズ株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

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TCL300SPW (純水スピン洗浄・乾燥装置) 装置概要 本装置は、φ100mm~φ300mm ウェーハサイズまで専用テーブルを交換する事で 各サイズを対応可能としております。 表裏面を純水にて洗浄する事を可能とし、スピン乾燥まで行う装置です。 特徴 (1)スピン洗浄・乾燥 テーブルを回転させ、ウェーハ表面に純水をかけながら洗浄し、ウェーハ中心部から N2を 噴きかけながら、スピン乾燥まで行える洗浄手動装置です。 1.ワーク固定方式 チャック(吸着部)が交換式の為、ワークに合わせ吸着固定だけではなく ピンタイプの固定も可能です。 2.オプション 各種要求に合わせた装置のカスタマイズ化が可能です。 (1) 耐薬品仕様 (2) 耐薬品ノズル など用途に合わせて選択することができます。 仕様 チャック径 洗浄ウェーハサイズにより変更可能 桶材質 SUS304 スピン回転速度 0~500r/min スピン乾燥速度 0~2000r/min 機械寸法(標準) 550W×700D×400Hmm テクノライズ株式会社 〒224-0041 神奈川県横浜市都筑区仲町台 1-2-20 フロンティアビル 5F TEL 045-949-5008 FAX 045-949-6008 Techno Rise Corp. 5F Frontier Bldg. 1-2-20 Nakamachidai,Tsuzuki-ku,Yokohama-shi, Kanagawa,224-0041 Japan TEL 81-45-949-5008 FAX 81-45-949-6008