オゾン水分解装置 OZK-U85-S1-EVG200G

オ ゾ ン 水 分 解 装 置 Ozone Decomposer MODEL: OZK-U85-S1-EVG200G この「オゾン水分解装置 OZK-U85-S1-EVG200」（以下本製品または本装置という）はオゾン水中に 溶解しているオゾンを紫外線ランプにより分解するもので、主に半導体または液晶製造プロセスなどで 使用される純オゾン水の分解用として使用されます。 特 長 ■本装置は紫外線照射方式によるオゾン水分解装置で、 分解塔と制御ユニットが分離されていますので、例えば分解 塔は床下設置、制御ユニットは他の装置内部への組込みや、 壁面への取付など設置上の自由度が高く設計されています。 OZK- U85-S1-EVG200G 標 準 仕 様 製 品 名 オゾン水分解装置(分離タイプ) 型 式 OZK-U85-S1-EVG200G（AC200V 50 / 60Hz 仕様） 原 理 紫外線照射方式 純オゾン水 対 象 （石英ガラスを溶解する物質や紫外線の透過を妨げる物質を含まないこと） ・ 分解液温度範囲：20～50℃（周囲温度：15~40℃、90％ＲＨ以下） 使 用 液 条 件 ・ 最高使用圧力：0.4 MPa 以下 耐圧性能：0.6Mpa 以下（衝撃圧不可） ・ 使用流量範囲：20L/min 以下 接 続 口 Rc1 インチ（通水入口、通水出口） ・ 温度過昇時（温度設定変更可）のランプ出力遮断、及び表示ランプ点灯 ・ ランプ不点時のランプ異常表示ランプ点灯 機 能 ・ 各異常発生時の外部接点出力 ・ 制御ボックス点灯スイッチ、又は外部接点信号によるランプ点灯 ・ 電源入力：メタルコネクタ（HS21R-3） ・ 外部入出力信号メタルコネクタ（HS21R-6） ・ 無電圧接点信号、接点容量 AC250V 7A 外 部 接 続 ・ 分解塔過昇温外部出力（設定温度より上昇時接点閉） ・ ランプ不点出力信号（ランプ不点時接点閉） ・ ランプ点灯入力信号（接点閉でランプ点灯） ・ 温 度 測 定 分解塔の出口接続部分温度を Pt100Ω測温抵抗体で測定 電 源 単相 AC200V±10%、2A、50 / 60Hz 接 液 部 材 質 PTFE、SUS304、石英ガラス ・ 材質：SUS304 ・ 外形寸法：250（W）×300（H）×150（D）（突起物含まず） 制 御 ユ ニ ッ ト ・ 重量：約 7Kg ・ 制御ユニット~分解塔間ケーブル長：５ｍ ・ 材質：SUS304、PTFE、石英ガラス、PVC ・ 外形寸法：Φ90×510L（突起物含まず） 分 解 塔 ・ 重量：約 8Kg（乾燥） ・ 容積：約 1.5L 設 置 方 法 分解塔：横置 / 制御ユニット：取付穴（４箇所）を利用して壁面等へ取付 ・ 電源用メタルコネクタプラグ（HS21P-3） ・・・・1 個 ・ 外部入出力用メタルコネクタプラグ（HS21P-6） ・・・・1 個 付 属 品 ・ 温度センサ用ケーブル（メタルコネクタプラグ：HS16P-3 付）・・・・・１式 ・ ランプ接続ケーブル（メタルコネクタプラグ：HS16P-4） ・・・・・１式

外 形 図 分解塔 制御ユニット 本記載事項は、改良、開発などによって変更することがありますのでご了承ください。 〒192-0031 東京都八王子市小宮町 934-11番 TEL.042-646-9188 FAX.042-646-9653