ウェーハのエッジをグリップし、自由自在に目視可能！ 目視外観検査用ステージ Model VIS2

Visual inspection stage Model VIS2 ⽬視外観検査⽤ステージ ⽤途 Usefulness 300mmウェーハの⽬視検査⽤ステージ It is a stage unit for visual ユニットです。 inspection of 300 mm wafers. ウェーハのエッジをグリップし、⾃由⾃在に Grip the edge of the wafer, you can ⽬視ができます。 observe freely. 主な仕様 Main Specifications 項⽬ 内容 item Contents ウェーハエッジをチャック開閉機構に Wafer edge to chuck opening and エッジグリップ⽅式 よりメカニカルチャック Edge grip method closing mechanismMore mechanical chuck ウェーハ接触部 ポリイミド樹脂を使⽤ Wafer contact part Use polyimide resin（オプションでPEEK材） (Optional PEEK material) ⾃転機構 回転⾓360°∞ Rotation mechanism Rotation angle 360 ° ∞ 分解能0.024° Resolution 0.024 ° 傾斜⾓±20° Tilting mechanism Inclination angle ± 20 °傾斜機構 分解能0.012° Resolution 0.012 ° 旋回機構 旋回⾓±90° Turning mechanism Rotation angle ± 90 ° 分解能0.033° Resolution 0.033 ° ⼿動 Manual スイッチ、ジョイスティックを操作 Operate switch, joystick制御⽅法 ⾃動 Control method AutomaticSerial communication control 上位よりｼﾘｱﾙ通信制御 from higher level 電源 AC100V，240Ｗ Power supply AC100V，240Ｗ 質量 30kg以下 mass 30 kg or less

システム構成 System configuration 傾斜 Tilting 旋回 ⾃転 Turning 上位 コントローラ rotation Host controller シリアル通信 Serial communication ⽬視外観検査⽤ステージ Visual inspection stage IO信号 コントローラ IO signal controller スイッチ / ジョイステック Switch / Joystick 外形⼨法図 Dimensional drawing 安全カバーが装備された図⾯です。 単位︓㎜ It is a drawing equipped with a safety cover. Unit：㎜ ※本カタログに記載されている商品の外観・仕様などは、商品改良などのために予告なく変更する場合がありますので、あらかじめご了承ください。 The appearance, specifications, price etc. of the products may be changed without prior notice. 技術担当 花巻分室 〒025-0312 岩⼿県花巻市⼆枚橋5-6-38 F棟 Technical Section Hanamaki Workshop Customer Service Center 5-6-38 F, Nimaibashi, Hanamaki, Iwate Pref.025-0312, Japan TEL︓0198-29-6041 FAX︓0198-29-6042 http://www.shibaura.co.jp/eletec/ SME160A01H1812