【低価格で生産性向上！】装置エンジニアリングシステム構築パッケージ　LPT-EES

低価格!! LPT-EES ● 概要 本製品は、低価格でＥＥＳ（装置エンジニアリングシステム）を構築し、装置の生産性向上を実現するための パッケージです。 ● 特徴 ユーザーによる通信プログラム作成は不要です。（必要なパラメータ設定のみでＯＫです。） 既設システムにも、導入・接続が容易です。 メタデータ定義 (パラメータリスト／イベント収集／トレース収集) パラメータ値の変化をトリガーとしたイベントを定義可能です。 過去半年のデータの保存が可能。（過去にさかのぼって、データ確認ができます。） 装置１台に対して、１パッケージです。 ● 接続イメージ（HSMSの場合） 装置 HOST HSMS通信 HSMS(S1F3/4ﾎﾟｰﾘﾝｸﾞ) Factory EES A/Dｺﾝﾊﾞｰﾀ Ethernet(FTP) PIO/AIO入力 Ethernet(E-Mail) EESﾊﾟｯｹｰｼﾞ ※S1F3/F4のﾎﾟｰﾘﾝｸﾞは、装置と EES ｼｽﾃﾑ間のみです。(他のｽﾄﾘｰﾑﾌｧﾝｸｼｮﾝはﾊﾟｽｽﾙｰです。) ※A/D ｺﾝﾊﾞｰﾀは、最速 50ms周期で EES ﾃﾞｰﾀを収集します。 ※EES ﾊﾟｯｹｰｼﾞをｲﾝｽﾄｰﾙする PCは、お客様にてご用意頂きます。 ※ﾃﾞｰﾀの FTP送信・E-Mail送信出来ます(ｵﾌﾟｼｮﾝ)。 ● 導入メリット エンジニアリング効率の向上。 スクラップ低減。 歩留向上。 装置稼働率向上。 ● 動作環境 ・動作ＯＳ： ＷｉｎｄｏｗｓＸＰ／７

● 機能例 ・サンプリングしたデータの棒グラフ表示。 ※上下限のリミット範囲を越えた場合、メール・アラーム送信可(オプション)。 ・選択された入力信号のON/OFF表示。 ・サンプリングしたデータの折れ線グラフ表示。 ※上下限のリミット範囲を越えた場合、メール・アラーム送信可(オプション)。 ・選択された項目の、生データ表示。 ・検索＆選択画面から選択した項目のデータを計算し、 ウェハ情報と共にデータの最大値、最小値、平均値、 標準偏差及びレンジを表示。 全ての名称ならびに製品及びサービスについての標章はそれぞれの所有者の商標または登録商標です。 仕様は予告なく変更することがありますので予めご了承下さい。 製品に関する詳しいお問い合わせは 計測・制御・通信の 〒101-0021 東京都千代田区外神田2-16-2 千代田中央ビル TEL 03-3253-6000 FAX 03-3253-5444 ﾎｰﾑﾍﾟｰｼﾞ http://www.lapole.co.jp