X線透視装置 FLEX-M863

Ｘ線計測画像技術で地球に貢献 Contribute to the earth with X-ray imaging technology X線透視装置 FLEX-M863 2024 外形寸法図 Micro Focus Digital Figure of the dimensional-outline 800 X-ray Radioscope In accordance with the downsizing and high-density, maintenance and improvement of quality are increasing much importance. Then we developed and realized most suitable X-ray radioscope to meet with the needs at the site. That are “Easy to install in a small space and able to inspect even M size board”, “Simple to operate and easy to use for anybody” or “Possible to get high-resolution image of semiconductor mounted parts”. 安全に関するご注意　ご使用の際は、取扱説明書をよくお読みの上、正しくお使いください。 カタログの記載商品を安全に使用して頂くために、取扱いについては稼働時、停止時に拘わらず、設備付属の取扱説明書 および設備の警告表示をを十分に確認した上で、正しい作業を実施されますようにお願い致します。 本装置は、平成13年3月30日基発第253号第3-3第3条関係の（6）のアに記載される遮蔽ボックス付Ｘ線透視装置です。 設置1ヶ月前までに、管轄の労働基準監督署に、設備の届出を行うことが必要です。 Precaution ・Please read instruction manual carefully before using. ・Please check the local regulations for using this X-ray system. BSFM･JE-05 24 04 01 ●お問い合わせは… 開発・製造 株式会社 ビームセンス 〒564‐0041 大阪府吹田市泉町2--19 --16 Manufacturer: BEAMSENSE CO., LTD. ２-１９-１６ Izumi-cho, Suita City, Osaka ５６４-００４１, Japan URL http://www.beamsense.co.jp 523 645

“X線の拡大鏡” 機能と操作画面 メニューバー Menu Bar 撮影条件メニュー ツールバー Tool Bar Shooting Condition Menu 基本画面 見えないところを簡単に “見える化” ソフトが立ち上がった時にこの画面が メインフレーム 表示されます。 Main Frame 品質向上に強力サポート 静止画撮影を行います。 Basic dialog Starting this dialog, Shooting the “X-ray magnifier” shows easily what you can’t see. still image in manual. Supports the quality improvement strongly. テーブル位置操作部 ステータスバー Table position control Frame Status Bar 10倍拡大で2μｍの分解能、高精細150万画素でハイビジョン並みの高精細画像 1.5M pixels high resolution image sensor that is 2μm in 10 times of expansion. 20x20μｍの画素を横1500ｘ縦1000に並べた150万画素のCCDセンサと小型マイクロフォーカスX線源の組み合 わせにより、10倍拡大時に２μｍの分解能でハイビジョン並みの高精細画像で撮影。 Combined with a miniature CCD sensor that is 1500 x 1000 pixels and each sensor size is 20 x 20μm, and the small Micro Focus X-ray source, it has 2μm resolution of large machine level at 10 times magnification. It realized the high-resolution image in the large size screen like the HDTV. 遮蔽ガラスを除いて鉛フリーとするとともに、超低消費電力150Wで、地球に優しい装置を実現 It is kind to the earth in the lead free and the ultra-low power consumption（150W）. 準動画撮影 積算撮影 ティーチング撮影 遮蔽ガラス以外には鉛を使用していません。また、使用電力も150Wの超低消費量で、地球に優しい装置です。 １秒間に数枚の画像を連続的に撮影します。 より精細な画像を撮影するために複数回の画 撮影する位置と倍率等を設定すると自動的に It isn’t using the lead-metal except the shielding glass. サンプルの位置合わせなどを行います。 像を積算します。 撮影します。 Also, the using electric power is kind to the earth at the ultra-low consumption at 150W. Animation shooting Addition shooting Teaching shooting Using the inspection position, looking Add the multi-times image for more clear Shooting automatically at the pre-setted パソコンベースで、ジョイパッドとマウスによる簡単操作 shooting image. Doing the position-setting. image. position. Simple operation with Joy Pad and the mouse on PC basis. 操作はパソコンベースで、ジョイパッドとマウスで容易に出来ます。また、撮影されたデータはパソコンのハード ディスクに蓄積できるため、情報の共有化やトレーサビリティ制度への適用も容易となります。 It is possible to operate it easily with the joy-pad and the mouse on PC. Also the image data can be stored in the hard disk of PC which enable easy information sharing and retrieval. 使 い 易 さと安全性を追求したオープン設計 O p e n design concept allow for maximum sample handling. カラー表示 拡 大 タイリング撮影 各画素の輝度信号値を白黒濃淡からカラー表 幾何倍率で10倍、デジタル拡大で4倍の拡大。 面積の大きなサンプルを分割して撮影し、張 大型の特殊X線遮蔽ガラスを上面と前面扉に配置し、内蔵された十字レーザラインマーカにより、内部のサンプルの 示にします。 LCD画面上で約500倍となります。 り合わせて1枚の画像にします。 確認と撮影の位置合わせが容易に出来るようにしました。 Pseudo-color Expansion Tileing shooting Designed with a large special cover glasses on the top window and the front door, for full view of sample to be It makes a signal value a color-display It can expand up-to 10 times, and 4 times Shooting the each position of the divided analyzed. It incorporated a built-in cross laser line marker to ease manipulation samples. from the black to white shade. by digital. It is about 500 times on LCD. large area, and paste to each position. 左右約17度の傾斜テーブル Tilting table about 17degrees for both right and left side.　 Ｚ軸の左右の高さを変えることによりテーブルの角度を±約17度 可変させることが出来　上下に重なり合った部分の情報を得ること が出来ます。 Capability to change the Z-axis height of right and left side, thus ability to get information of overlapping positions. The table angle can be varied plus or minus 17degrees. 計 測 面積・ボイド率計測 ラインプロファイル 画面上の2点、多点間等の距離を測定すること 画面上で対象物の面積とそれに対するボイド 画面の直線状に指定した画素の信号出力値を ☆ 電動ズームとチルト機構内蔵 が出来ます。 等の比率を計算します。 表示します。 Measurement Area calculation Line profile 　 Built-in electric zoom and tilting function The distance of the points on the screen It computes the area on the screen of the It displays the signal output value of the can be measured. object and the it's ratio of voids. pixel.

“X線の拡大鏡” 機能と操作画面 メニューバー Menu Bar 撮影条件メニュー ツールバー Tool Bar Shooting Condition Menu 基本画面 見えないところを簡単に “見える化” ソフトが立ち上がった時にこの画面が メインフレーム 表示されます。 Main Frame 品質向上に強力サポート 静止画撮影を行います。 Basic dialog Starting this dialog, Shooting the “X-ray magnifier” shows easily what you can’t see. still image in manual. Supports the quality improvement strongly. テーブル位置操作部 ステータスバー Table position control Frame Status Bar 10倍拡大で2μｍの分解能、高精細150万画素でハイビジョン並みの高精細画像 1.5M pixels high resolution image sensor that is 2μm in 10 times of expansion. 20x20μｍの画素を横1500ｘ縦1000に並べた150万画素のCCDセンサと小型マイクロフォーカスX線源の組み合 わせにより、10倍拡大時に２μｍの分解能でハイビジョン並みの高精細画像で撮影。 Combined with a miniature CCD sensor that is 1500 x 1000 pixels and each sensor size is 20 x 20μm, and the small Micro Focus X-ray source, it has 2μm resolution of large machine level at 10 times magnification. It realized the high-resolution image in the large size screen like the HDTV. 遮蔽ガラスを除いて鉛フリーとするとともに、超低消費電力150Wで、地球に優しい装置を実現 It is kind to the earth in the lead free and the ultra-low power consumption（150W）. 準動画撮影 積算撮影 ティーチング撮影 遮蔽ガラス以外には鉛を使用していません。また、使用電力も150Wの超低消費量で、地球に優しい装置です。 １秒間に数枚の画像を連続的に撮影します。 より精細な画像を撮影するために複数回の画 撮影する位置と倍率等を設定すると自動的に It isn’t using the lead-metal except the shielding glass. サンプルの位置合わせなどを行います。 像を積算します。 撮影します。 Also, the using electric power is kind to the earth at the ultra-low consumption at 150W. Animation shooting Addition shooting Teaching shooting Using the inspection position, looking Add the multi-times image for more clear Shooting automatically at the pre-setted パソコンベースで、ジョイパッドとマウスによる簡単操作 shooting image. Doing the position-setting. image. position. Simple operation with Joy Pad and the mouse on PC basis. 操作はパソコンベースで、ジョイパッドとマウスで容易に出来ます。また、撮影されたデータはパソコンのハード ディスクに蓄積できるため、情報の共有化やトレーサビリティ制度への適用も容易となります。 It is possible to operate it easily with the joy-pad and the mouse on PC. Also the image data can be stored in the hard disk of PC which enable easy information sharing and retrieval. 使 い 易 さと安全性を追求したオープン設計 O p e n design concept allow for maximum sample handling. カラー表示 拡 大 タイリング撮影 各画素の輝度信号値を白黒濃淡からカラー表 幾何倍率で10倍、デジタル拡大で4倍の拡大。 面積の大きなサンプルを分割して撮影し、張 大型の特殊X線遮蔽ガラスを上面と前面扉に配置し、内蔵された十字レーザラインマーカにより、内部のサンプルの 示にします。 LCD画面上で約500倍となります。 り合わせて1枚の画像にします。 確認と撮影の位置合わせが容易に出来るようにしました。 Pseudo-color Expansion Tileing shooting Designed with a large special cover glasses on the top window and the front door, for full view of sample to be It makes a signal value a color-display It can expand up-to 10 times, and 4 times Shooting the each position of the divided analyzed. It incorporated a built-in cross laser line marker to ease manipulation samples. from the black to white shade. by digital. It is about 500 times on LCD. large area, and paste to each position. 左右約17度の傾斜テーブル Tilting table about 17degrees for both right and left side.　 Ｚ軸の左右の高さを変えることによりテーブルの角度を±約17度 可変させることが出来　上下に重なり合った部分の情報を得ること が出来ます。 Capability to change the Z-axis height of right and left side, thus ability to get information of overlapping positions. The table angle can be varied plus or minus 17degrees. 計 測 面積・ボイド率計測 ラインプロファイル 画面上の2点、多点間等の距離を測定すること 画面上で対象物の面積とそれに対するボイド 画面の直線状に指定した画素の信号出力値を ☆ 電動ズームとチルト機構内蔵 が出来ます。 等の比率を計算します。 表示します。 Measurement Area calculation Line profile 　 Built-in electric zoom and tilting function The distance of the points on the screen It computes the area on the screen of the It displays the signal output value of the can be measured. object and the it's ratio of voids. pixel.

撮影例1 面実装　Sample1 Surface mount Jisso 撮影例3 基板 Sample3 PC Boards CSP（LGA） シールドケース付基板 フィルム基板 セラミック基板 Chip Size Package PCB with a metal shield Film PC Board Ceramics PC Board チップ部品（1005） SOP（右下：一部拡大） スルーホール積層基板（左下：一部傾斜観察） IVH基板（右下：一部傾斜観察） Chip Size Parts（1005size） Small Outline Package（Right down: Expands a part） Multilayer PC Board with the through-halls Inner via-hole PC Board 撮影例2 半導体実装　Sample2 Semiconductor Jisso 撮影例4 部品 Sample4 Parts QFPワイヤボンド（右上：一部拡大） マイクロSDカードの多積層ワイヤボンド 小型マイクロスイッチ 電解コンデンサ（右下：傾斜観察） Au wire-bond of the Quad Flat Package Multi-stack Wire-Bond for micro-SD Card Small size micro-switch Electrolytic capasita（r Right down: Tilting observe a part） フォトカプラー SBB接続（右上：一部拡大） リール部品（チップ・トランジスター） 小型パワートランジスター Photo-Coupler Stad Bump Bonding（Right up: Expand a part） Real packaged Parts（Chip Transistor） Small-size Power Transistor

撮影例1 面実装　Sample1 Surface mount Jisso 撮影例3 基板 Sample3 PC Boards CSP（LGA） シールドケース付基板 フィルム基板 セラミック基板 Chip Size Package PCB with a metal shield Film PC Board Ceramics PC Board チップ部品（1005） SOP（右下：一部拡大） スルーホール積層基板（左下：一部傾斜観察） IVH基板（右下：一部傾斜観察） Chip Size Parts（1005size） Small Outline Package（Right down: Expands a part） Multilayer PC Board with the through-halls Inner via-hole PC Board 撮影例2 半導体実装　Sample2 Semiconductor Jisso 撮影例4 部品 Sample4 Parts QFPワイヤボンド（右上：一部拡大） マイクロSDカードの多積層ワイヤボンド 小型マイクロスイッチ 電解コンデンサ（右下：傾斜観察） Au wire-bond of the Quad Flat Package Multi-stack Wire-Bond for micro-SD Card Small size micro-switch Electrolytic capasita（r Right down: Tilting observe a part） フォトカプラー SBB接続（右上：一部拡大） リール部品（チップ・トランジスター） 小型パワートランジスター Photo-Coupler Stad Bump Bonding（Right up: Expand a part） Real packaged Parts（Chip Transistor） Small-size Power Transistor

一軸回転テーブルユニット（FLEX-U1RT） OPTION 1 ■ FLEX-M863 主要仕様 赤文字は新仕様 The table unit of the 1 axis rotation 項　目 内　容 Ｘ線発生器 管電圧：10～70kV　管電流：10～140μA　焦点サイズ：約7μm　密閉管方式 Ｘ軸と平行な軸を回転中心として、サンプルを回転する CCDセンサ 画素サイズ：20×20μm　画素数：1500×1000画素　USB3.0　AD精度 16bits ためのテーブルユニットです。 テーブルサイズ：350×270mm　パソコン電動制御 360度回転出来るサイズは幅40ｍｍｘ長さ200ｍｍ です。オプションのCTソフトを使用することにより、 テーブル ストローク：Ｘ軸：325mm、Ｙ軸：245mm、Ｚ軸：200mm 検査物重量：最大1.5kg　測定物高さ制限：10倍拡大時7mm　8倍拡大時34mm 直径1mmから10mmのサンプルの3次元立体CT画像 （制限を超えると装置天板と接触し、検査物が破損することがあります。） の撮影も可能になります。 本　体 寸法：約800W×645D×523H mm　質量：約 115kg 漏洩線量 0.5μSv／h以下　電離箱式サーベイメータ（ICS-321）にて測定 This is the table unit to turn a sample, making the axis which is parallel to the X-axis. 電　源 AC 100～240V、単相 50Hz／60Hz　150VA以下「グローバルスペック」 The size which can turn 360degrees is 40mm（width) x 照射時間 0.1s～10s／積算回数：最大100回 200mm(Length). By using the CT software, it can take 静止画撮影 画像サイズ／分解能（10倍拡大時）：1500×1000画素／2μm　750× 500画素／4μm　 the 3D-CT images. (Option) 375× 250画素／8μm 準動画撮影 時間：5～180s　表示：画像サイズ MAX1500×1000画素　5フレーム／s 画像保存 静止画像：bmp（8、16bit）、JPEG、TIFF、tmp（16, 32bits選択可） 画像読込み ファイル形式：bmp、JPEG、tmpファイル 実装基板固定テーブルユニット（FLEX-U2PS） OPTION 2 CCD補正 補正点数：明画像、暗画像の2点補正　補正回数：1～99回（10回推奨） The table unit of the PCB Set 画像補正 明るさ補正、コントラスト補正、γ補正、白黒反転、2値化、カラー表示（疑似カラー） 画質フィルター アンシャープマスク、シャープマスク 50ｍｍｘ50ｍｍから240ｍｍｘ320ｍｍの実装され 測長機能 スケール登録：等倍撮影時に基準スケール測定にて設定　計測パターン：直線及び折れ線、平行線間隔　他 たプリント基板を、装置のサンプルテーブルに再現性 表示単位：mm及び画素（pxl）（計測値は参考です。） 良くセットするためのユニットです。 面積測定 面積、面積率、輝度面積平均　他　 基板の傾斜操作などにおいても、基板がずれることは 拡　大 幾何拡大率：1.18～10倍　連続電動可変　デジタル拡大：10～400％ ありません。 （サンプル厚で倍率が変わります。） 表示画面数 9画面（最大25画面） This is the unit to set the printed circuit board from 傾斜撮影機能 幾何倍率2倍位置で最大±約17度傾斜 50mm x 50mm to 320mm x 240mm in the sample table. ※仕様および外観の一部を改良のため予告なく変更することがありますのでご了承ください。 In case of operation to incline a table, the PC board 　 doesn't shift. ■ FLEX-M863 Equipment specifications Red is New Spec. Item Description X-ray generator Tube voltage: 10 to 70kV　Tube current: 10 to 140μA　Focal spot size: about 7μm　Sealed tube system CCD censor Pixel size: 20×20μm　Pixels: 1500 x 1000　USB3.0　AD 16bits Table size: 350×270mm Electrical control by PC.　Stroke: X-axis: 325mm, Y-axis: 245mm, Z-axis: 200mm, Table Object weight: Maximum 1.5kg 45度・60度基板傾斜台ユニット（FLEX-U3DS） OPTION 3 Object height limit: 7mm at 10-fold magnification and 34mm at 8-fold magnification. The desk unit for the PC board sloping at 60deg of 45deg. (If it over the limit, the objrct may hit the top board and may be damaged.) Main body Dimensions: About W800 x D645 x H523mm　 Weight: About 115kg BGAの実装状態を観察するためのPCB固定台です。 Leakage dosage Under 0.5μSv/h 　Measured by ionztion chamber type survey meter (ICS-321). 基板を45度回転させ、60度斜めにした状態の位置に Power supply AC100～240V Single phase 50Hz/60Hz 150VA セットできます。 Hours 0.1s to 10s / Adding times: Max. 100 This unit is the PC board anchor-block to observe the Still image shooting Exposed time: 0.1s to 10s Quantity survey: Maximum 100times　Image size/resoluton (at 10-fold magnification) implementing condition of BGA. The PC substrate can 1500 x 1000 pixels/2μm 750 x 500 pixels/4μm 375 x 250 pixels/8μm be set in the position of the condition to have made Animation shooting Time: 5s to 180s Display: Imagesize MAX1500 ｘ 1000 pixels　5 frames/s that 60deg, were more diagonal by turning it by 45deg. Image saving Still image: bmp (8bit, 16bit), JPEG, TIFF, tmp file(16, 32bits） Image reading File format: bmp, JPEG, and tmp files CCD correction Correction point: 2 points of bright and dark Corretion times: 1 to 99 times (recommend 10 times) Image correction Brightness, Contrast, gamma, Reversible, Binarization, Color display (false color), Image quality filter Unsharp mask, Sharp mask Length measuring Scale register: Sets standard scale measurement for same magnification shooting., function Measurement pattern: Straight and broken lines, Distanse of the parallel lines etc. Area Measurement Area, Area ratio, Area brightness average, etc. Magnification Geometric magnification: 1.18 to 10-fold, continuous electrical movement. Digital magnification: 10 to 400%, BGAの半田状態の観察 variable each 10% step(Magnification will be changed due to thickness of samples). 半田ボールの上部に、ボイドが観察される。 Images on a Screen 9 images (Max. 25 images) Observving of the air void on the top of the solder ball in the BGA. Tilt table function Tilts maximum about puls and minus 17degrees at the position of double geometric magnification. ※This specification and an outward appearance are sometimes changed without the previous announcement to improve. Plesase understand.

一軸回転テーブルユニット（FLEX-U1RT） OPTION 1 ■ FLEX-M863 主要仕様 赤文字は新仕様 The table unit of the 1 axis rotation 項　目 内　容 Ｘ線発生器 管電圧：10～70kV　管電流：10～140μA　焦点サイズ：約7μm　密閉管方式 Ｘ軸と平行な軸を回転中心として、サンプルを回転する CCDセンサ 画素サイズ：20×20μm　画素数：1500×1000画素　USB3.0　AD精度 16bits ためのテーブルユニットです。 テーブルサイズ：350×270mm　パソコン電動制御 360度回転出来るサイズは幅40ｍｍｘ長さ200ｍｍ です。オプションのCTソフトを使用することにより、 テーブル ストローク：Ｘ軸：325mm、Ｙ軸：245mm、Ｚ軸：200mm 検査物重量：最大1.5kg　測定物高さ制限：10倍拡大時7mm　8倍拡大時34mm 直径1mmから10mmのサンプルの3次元立体CT画像 （制限を超えると装置天板と接触し、検査物が破損することがあります。） の撮影も可能になります。 本　体 寸法：約800W×645D×523H mm　質量：約 115kg 漏洩線量 0.5μSv／h以下　電離箱式サーベイメータ（ICS-321）にて測定 This is the table unit to turn a sample, making the axis which is parallel to the X-axis. 電　源 AC 100～240V、単相 50Hz／60Hz　150VA以下「グローバルスペック」 The size which can turn 360degrees is 40mm（width) x 照射時間 0.1s～10s／積算回数：最大100回 200mm(Length). By using the CT software, it can take 静止画撮影 画像サイズ／分解能（10倍拡大時）：1500×1000画素／2μm　750× 500画素／4μm　 the 3D-CT images. (Option) 375× 250画素／8μm 準動画撮影 時間：5～180s　表示：画像サイズ MAX1500×1000画素　5フレーム／s 画像保存 静止画像：bmp（8、16bit）、JPEG、TIFF、tmp（16, 32bits選択可） 画像読込み ファイル形式：bmp、JPEG、tmpファイル 実装基板固定テーブルユニット（FLEX-U2PS） OPTION 2 CCD補正 補正点数：明画像、暗画像の2点補正　補正回数：1～99回（10回推奨） The table unit of the PCB Set 画像補正 明るさ補正、コントラスト補正、γ補正、白黒反転、2値化、カラー表示（疑似カラー） 画質フィルター アンシャープマスク、シャープマスク 50ｍｍｘ50ｍｍから240ｍｍｘ320ｍｍの実装され 測長機能 スケール登録：等倍撮影時に基準スケール測定にて設定　計測パターン：直線及び折れ線、平行線間隔　他 たプリント基板を、装置のサンプルテーブルに再現性 表示単位：mm及び画素（pxl）（計測値は参考です。） 良くセットするためのユニットです。 面積測定 面積、面積率、輝度面積平均　他　 基板の傾斜操作などにおいても、基板がずれることは 拡　大 幾何拡大率：1.18～10倍　連続電動可変　デジタル拡大：10～400％ ありません。 （サンプル厚で倍率が変わります。） 表示画面数 9画面（最大25画面） This is the unit to set the printed circuit board from 傾斜撮影機能 幾何倍率2倍位置で最大±約17度傾斜 50mm x 50mm to 320mm x 240mm in the sample table. ※仕様および外観の一部を改良のため予告なく変更することがありますのでご了承ください。 In case of operation to incline a table, the PC board 　 doesn't shift. ■ FLEX-M863 Equipment specifications Red is New Spec. Item Description X-ray generator Tube voltage: 10 to 70kV　Tube current: 10 to 140μA　Focal spot size: about 7μm　Sealed tube system CCD censor Pixel size: 20×20μm　Pixels: 1500 x 1000　USB3.0　AD 16bits Table size: 350×270mm Electrical control by PC.　Stroke: X-axis: 325mm, Y-axis: 245mm, Z-axis: 200mm, Table Object weight: Maximum 1.5kg 45度・60度基板傾斜台ユニット（FLEX-U3DS） OPTION 3 Object height limit: 7mm at 10-fold magnification and 34mm at 8-fold magnification. The desk unit for the PC board sloping at 60deg of 45deg. (If it over the limit, the objrct may hit the top board and may be damaged.) Main body Dimensions: About W800 x D645 x H523mm　 Weight: About 115kg BGAの実装状態を観察するためのPCB固定台です。 Leakage dosage Under 0.5μSv/h 　Measured by ionztion chamber type survey meter (ICS-321). 基板を45度回転させ、60度斜めにした状態の位置に Power supply AC100～240V Single phase 50Hz/60Hz 150VA セットできます。 Hours 0.1s to 10s / Adding times: Max. 100 This unit is the PC board anchor-block to observe the Still image shooting Exposed time: 0.1s to 10s Quantity survey: Maximum 100times　Image size/resoluton (at 10-fold magnification) implementing condition of BGA. The PC substrate can 1500 x 1000 pixels/2μm 750 x 500 pixels/4μm 375 x 250 pixels/8μm be set in the position of the condition to have made Animation shooting Time: 5s to 180s Display: Imagesize MAX1500 ｘ 1000 pixels　5 frames/s that 60deg, were more diagonal by turning it by 45deg. Image saving Still image: bmp (8bit, 16bit), JPEG, TIFF, tmp file(16, 32bits） Image reading File format: bmp, JPEG, and tmp files CCD correction Correction point: 2 points of bright and dark Corretion times: 1 to 99 times (recommend 10 times) Image correction Brightness, Contrast, gamma, Reversible, Binarization, Color display (false color), Image quality filter Unsharp mask, Sharp mask Length measuring Scale register: Sets standard scale measurement for same magnification shooting., function Measurement pattern: Straight and broken lines, Distanse of the parallel lines etc. Area Measurement Area, Area ratio, Area brightness average, etc. Magnification Geometric magnification: 1.18 to 10-fold, continuous electrical movement. Digital magnification: 10 to 400%, BGAの半田状態の観察 variable each 10% step(Magnification will be changed due to thickness of samples). 半田ボールの上部に、ボイドが観察される。 Images on a Screen 9 images (Max. 25 images) Observving of the air void on the top of the solder ball in the BGA. Tilt table function Tilts maximum about puls and minus 17degrees at the position of double geometric magnification. ※This specification and an outward appearance are sometimes changed without the previous announcement to improve. Plesase understand.

Ｘ線計測画像技術で地球に貢献 Contribute to the earth with X-ray imaging technology X線透視装置 FLEX-M863 2024 外形寸法図 Micro Focus Digital Figure of the dimensional-outline 800 X-ray Radioscope In accordance with the downsizing and high-density, maintenance and improvement of quality are increasing much importance. Then we developed and realized most suitable X-ray radioscope to meet with the needs at the site. That are “Easy to install in a small space and able to inspect even M size board”, “Simple to operate and easy to use for anybody” or “Possible to get high-resolution image of semiconductor mounted parts”. 安全に関するご注意　ご使用の際は、取扱説明書をよくお読みの上、正しくお使いください。 カタログの記載商品を安全に使用して頂くために、取扱いについては稼働時、停止時に拘わらず、設備付属の取扱説明書 および設備の警告表示をを十分に確認した上で、正しい作業を実施されますようにお願い致します。 本装置は、平成13年3月30日基発第253号第3-3第3条関係の（6）のアに記載される遮蔽ボックス付Ｘ線透視装置です。 設置1ヶ月前までに、管轄の労働基準監督署に、設備の届出を行うことが必要です。 Precaution ・Please read instruction manual carefully before using. ・Please check the local regulations for using this X-ray system. BSFM･JE-05 24 04 01 ●お問い合わせは… 開発・製造 株式会社 ビームセンス 〒564‐0041 大阪府吹田市泉町2--19 --16 Manufacturer: BEAMSENSE CO., LTD. ２-１９-１６ Izumi-cho, Suita City, Osaka ５６４-００４１, Japan URL http://www.beamsense.co.jp 523 645