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振動・変位測定及び表面形状計測装置 MicroMap 5000

製品カタログ

MEMS設計解析ツール

MEMS構造のモデリングや設計はその微細構造物の挙動が大きい構造物と異なるために難しくなります。例えば、ダイナミックデバイスでは振動モードが熱影響により、突然ある周波数から別の周波数に変化することがあります。研究経験では静的変形(例えば熱影響によるもの)と振動の両方に関する面全体でリアルタイムの情報が必要となります。また表面プロファイルについての情報を得ることで、マイクロストラクチャーの研究開発に非常に強力な解析ツールとなります。

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このカタログについて

ドキュメント名 振動・変位測定及び表面形状計測装置 MicroMap 5000
ドキュメント種別 製品カタログ
登録カテゴリ
取り扱い企業 有限会社シスコム (この企業の取り扱いカタログ一覧)

このカタログの内容

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MicroMap 5000 The all-in-one system for R&D and testing of MEMS 振動・変位測定及び表面形状計測装置 MEMS設計解析ツール MEMS構造のモデリングや設計はその微細構造物の挙動が大き い構造物と異なるために難しくなります。例えば、ダイナミック デバイスでは振動モードが熱影響により、突然ある周波数から別 の周波数に変化することがあります。研究経験では静的変形(例 えば熱影響によるもの)と振動の両方に関する面全体でリアルタ イムの情報が必要となります。また表面プロファイルについての 情報を得ることで、マイクロストラクチャーの研究開発に非常に 強力な解析ツールとなります。  30Hz~1GHzまでの振動測定  静的変形の測定  表面プロファイリング  非接触  全フィールド -リアルタイム  高周波対応1GHzまで  高感度測定  ズームレンズ  ビューポートからでも測定可能(高温測定)  荒れた表面や鏡面でも測定可能  In-plane(面内)測定モジュール How it works MicroMap 5000は数ミクロンサイズのMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)や他の微小構 造物の振動、変形や表面形状を測定することができます。レーザービームを測定物に照射して、測定物より反 射されたレーザーと内部リファレンスビームで毎秒30フレームの高品質な干渉パターンが得られます。これ らの干渉パターンが最新のコンピューターシステムで解析されます。 MicroMap5000はシングル周波数で、振動と静的変形をリアルタイムモード及び位相変調法(数値記録ア ルゴリズム)によって測定することができます。リアルタイムモードでは、振動と変形量を測定物イメージ上 にフリンジパターン(等高線図)でオーバーラップさせて表示します。周波数をスイープすることで、共振点 の振動モードを容易に観察することができます。また位相変調法を用いると、振動及び変位モードをアニメー ションや3Dプロットで表示させることができるので、非常に優れた定量的及び定性的な振動・変位解析を行 うことができます。 Deformation of silicon membrane
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振動 静的変形  測定領域全面での振動振幅  表面の全てのポイントで変 のデータマップ 位データが得られます  30Hzから1GHz  ラインプロット、2Dデー  リアルタイム測定(周波数 タ・イメージ、3Dプロット 無制限)  連続記録及びムービー表示  リアルタイム位相変調  フリンジ表示をリアルタイ  サブナノでの変位振幅分解 ムで記録 能  荒れた表面や鏡面でも測定 可能 高周波数で振動するMEMS構造の一部 アニメーション表示がホームページで参照 できます。www.optonor.com MEMS圧力センサーの静的変形 表面プロファイリング  ナノメーター分解能  MicroMap5000は鏡面 の表面プロファイリングの み測定可能  連続するエリア表面のプロ ファイリング(高さステッ プがある表面形状は測定で 金属ボールベアリングの疵深さ140nm きません) ■技術仕様(標準モデル) レ ー ザ ー ヘ ッ ド 寸 法 50×27×27 cm(HXWXL)* 光 学 ヘ ッ ド の 重 量 7Kg* 30Hz~無制限(リアルタイム測定) 測 定 周 波 数 範 囲 位相変調測定には標準モデルで50KHzまで、オプションで1GHzまで拡張可 能 レ ー ザ ー ユ ニ ッ ト 寸 法 27×17×63 cm(WxHxL)* ズ ー ム レ ン ズ 1.8X ~ 10X* レ ー ザ ー ク ラ ス  最 小 測 定 対 象 物 寸 法 > 0.1 ⦆ フルフィールド* 最 大 測 定 対 象 物 寸 法 < 3 * 動 作 距 離 標準40~65 * 振 動 振 幅 分 解 能 1nm 静 的 変 位 分 解 能 1nm 表 面 形 状 分 解 能 1nm 測 定 対 象 物 表 面 荒れた表面、鏡面でも測定可能 標準ラボ環境にて測定でき、除振は特に必要ありません。 測 定 環 境 回転機器や他のノイズ源はテストサイトから遠ざけて下さい。 * カスタム仕様にも対応することができますのでご相談下さい。 有限会社シスコム 〒171-0014 東京都豊島区池袋4-27- 5 和田ビル TEL:03-6907-9105 FAX:03-6715-8740 Email:syscom@tokyo.email.ne.jp Web Site:www.syscom-inc.co.jp