大型化するFPD基板(G11)に対応します!
・低振動
独自のバルブモーションにより、開閉速度を落とすことなく低振動化を実現
従来機種比40%低減
・低パーティクル
弁体のガイド機構は全て大気側に配置縦搬送、横搬送共に無摺動を実現
・低価格
バルブサイズを超えた部品の共通化により、低価格を実現
従来機種比20%低減
・あらゆる世代にBEST Match
バルブサイズ(幅×高さ)の制約無く装置設計者の思いのままに設定可能
◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧ください。
このカタログについて
| ドキュメント名 | ゲートバルブ Gate valve T-Motion |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 829.2Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社ブイテックス (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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