【導入事例：半導体工場(プロセス遅延を低減)】ターミナルサーバ NPort 6650-8

製造：半導体工場　プロセス遅延を低減 導 入 事 例 半導体製造装置における プロセスの遅延時間を低減する シリアル・ツー・イーサネット 導入の狙い 導入業界 ・WinCEプラットフォーム上のデバイスを管理するWinCEドライバ 製造：半導体工場 ・極めて時刻に対して厳密で、ミリ秒単位での時刻演算が 求められるため、超低遅延で運用パラメータの取得と プロセスレシピの配置を行う必要がある ・半導体ウエハの製造工程では、デバイス接続に 導入目的 わずかでも中断が起こると巨額の損失が発生 してしまうため、高いMTBFが必要 プロセス遅延を低減 導入製品 半導体ウエハの製造は、高精度なプロセスです。フォトレジ スト、薄膜、エッチング、および CMP（化学機械研磨）といっ たさまざまな主要なプロセスグループに分類され、300 以 上の製造工程を必要とします。典型的な薄膜またはエッチ ングデバイスは、真空ターボポンプ、RF 発生器および RF 整 合といった多くのシリアルデバイスを内蔵し、すべてが内部 PC によって制御されています。薄膜とエッチングプロセス NPort 6650-8 機器を製造する日本企業は、新世代のデバイス通信ソ 8ポートRS-232C/422/485ラックマウントターミナルサーバ リューションを開発しました。このソリューションは、シリア ルデバイスおよび精度の高い制御を可能にするために、シ リアルデバイスが半導体工場のコントロールアイランドに位 置するリモートPCにより制御することが可能となりました。 導入効果 この新しいソリューションにより、半導体メーカは機器の運 用パラメータを簡単に取得でき、遠隔で生産装置へプロセ ・WinCE のためのMoxa の ready-to-use Real COMモードを スレシピを適用することができます。現在、主要な半導体 使用することで、シリアルデバイスとリモートPC間の強固な 製造工場は、バックボーンネットワークの一部としてイーサ 接続を確立するために要する時間を大きく短縮しました。 ネット通信を使用しています。その理由として次の要件に見 ・市場で最も短い遅延時間を実現するNPort6650-8 により、 合った、シリアル／イーサネット変換ソリューションを選択し パラメータおよびプロセスレシピがプロセス障害を最小限に ました。 する精密な時間を設定することができます。

システム構成図 イーサネット シリアル 導入製品の仕様 NPort 6650-8 筐体 メタル、IP30保護等級 メカニカル サイズ 耳なし： 440×195×44 mm 耳 付： 480×195×44 mm 設置 DINレールマウンティング、ウォールマウンティング(オプショナルキット) 動作温度 標準モデル：0～55℃　ワイド温度モデル：-40～75℃ 環境 保管温度 -40～75℃ 相対湿度 5～95% (結露なきこと) 入力電圧 ACモデル： 100～240 VAC 　DCモデル： ±48 VDC (20～72 VDC) 電力消費量 ACモデル： 285 mA @ 100 VAC、190 mA @ 240 VAC 電源 DCモデル： 293 mA @ 48 VDC 警報接点 リレイ出力、電流容量f 1 A @ 24 VDC 電源ライン保護 1 kVバースト(EN61000-4-4： EFT/B)、0.5 kVサージ(EN61000-4-5) ■ 厚木センター 詳細については「IBS Japan」で検索！ 〒243-0432　神奈川県海老名市中央2-9-50　海老名プライムタワー12F TEL：046-234-9200　FAX：046-234-7861 IBS Japan 検 索 ■ 東京システムセンター お問い合わせはお気軽に info@ibsjapan.co.jp までお願いいたします。 〒151-0053　東京都渋谷区代々木2-4-9　NMF新宿南口ビル２F ※ 掲載されているイラスト・画像についての著作権は各社メーカに帰属します。 TEL：03-5308-1177　FAX：03-5308-1188 ※ 記事内容（日本語翻訳分）についての著作権はアイ・ビー・エス・ジャパン株式会社に帰属します。 ■ 大阪営業所 ※ 製品内容・製品仕様は、予告なく変更いたします。最新情報については、お問い合わせください。 〒541-0052　大阪府大阪市中央区安土町2-3-13　大阪国際ビルディング31F IBS-201704-Moxa-48 TEL：06-4708-6126　FAX：06-4708-6127