PICOSUN JAPAN株式会社のカタログ一覧

アトミックレイヤーデポジション

アトミックレイヤーデポジションのアプリケーション例が掲載されたカタログのご案内です。

【掲載内容】 ■トレンチの成膜 ■光学薄膜 ■MEMSデバイス ■粉体の成膜/バッテリー ■腐食防止 ■バッテリー

Picosun社ALD成膜装置　Rシリーズ

ALD成膜装置 モデルRシリーズカタログのご案内です。

ALDは既存のPVD，CVD、蒸着等の成膜技術よりいくつかの点で優れているため、 急速に市場に浸透してきている。 それは段差被覆性に優れており、膜厚が１原子層レベルで制御でき、膜厚分布が良く、 バリア性が高く膜質が良く、低温（e.g.100℃）でも...

Picosun社ALD成膜装置

ALD成膜装置 モデルPシリーズカタログのご案内です。

ALDは既存のPVD，CVD、蒸着等の成膜技術よりいくつかの点で優れているため、 急速に市場に浸透してきている。 それは段差被覆性に優れており、膜厚が１原子層レベルで制御でき、膜厚分布が良く、 バリア性が高く膜質が良く、低温（e.g.100℃）でも...