VAT株式会社のカタログ一覧

研究開発から量産装置まで、真空～極高真空の多種多様な装置・設備にてご使用頂けるバルブ...

世界・日本シェア圧倒的No.1!　※VLSI Research 2021より研究開発から量産装置まで、真空～極高真空の多種多様な装置・設備にてご使用頂けるバルブ製品を、この1冊にすべて集約！コマースでもお気軽にご購入いただけます→https:...

UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ

◆潤滑材不要 ◆パーティクル発生が少ない ◆ショック低減 ◆Vulcanizedシール ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

極めて少ないアウトガス量が要求されるUHVアプリケーションの排気およびベント用

◆極めて少ないアウトガス量 ◆大きな差圧対応 ◆CF回転フランジ ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

研究開発および産業のUHVアプリケーションの標準バルブ

◆潤滑剤不要 ◆DN 63-200用 Vulcanizedシール ◆メンテナンスが容易 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

研究開発および産業のUHVアプリケーションの標準バルブ

【特徴】・潤滑剤が不要・Vulcanizedゲートシール付き　DN63−200 ・メンテナンスが簡単 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

半導体や表面分析アプリケーションに最適

◆LゲートバルブSERIES 92.0Lゲートバルブ半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプチャンバー用真空遮断バルブ ◆低コスト ◆メンテナンスが容易 ◆パーティクル発生が少ない ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

ダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ

◆優れた圧力制御能力 ◆サービス用のアクセスが簡単 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

SEMI、FPDプロセスのダウンストリーム圧力制御および真空封止用バルブ

特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適 ◆高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作 ◆極めて短い制御応答時間 ◆サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX2接続用） ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

最大300x3800mmの開口を備えたFPD製造装置用の軽量バルブ

◆軽量コンポーネントによる高速動作速度 ◆メンテナンス中のシステム停止時間なし ◆3つの異なるサービスポジション ◆メンテナンス中の安全モード ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

高真空アプリケーションの排気、ベント用

◆アングルおよびインラインボディ ◆ベローズ ◆大きな差圧対応 ◆長いサイクルライフ ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。