PVRのカタログ一覧

超高真空搬送システム PML-100/PML-200

超高真空搬送システム PML-100/PML-200 カタログのご案内です。

情報通信研究機構（NICT）にて世界に先駆けて開発された市販の乾電池で茶道するモバイルイオンポンプを搭載し、小型軽量な搬送機構及び基板収納部を備えた超高真空搬送システム（UHV Mobile Load Lock System）です。