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超高真空搬送システム PML-100/PML-200 カタログのご案内です。
情報通信研究機構（NICT）にて世界に先駆けて開発された市販の乾電池で茶道するモバイルイオンポンプを搭載し、小型軽量な搬送機構及び基板収納部を備えた超高真空搬送システム（UHV Mobile Load Lock System）です。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 超高真空搬送システム PML-100/PML-200 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 665.5Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | PVR (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
