日本エバテック株式会社のカタログ一覧

超高速枚葉式スパッタ装置　SOLARISファミリー

『SOLARISファミリー』は、１枚当たり最速３秒の成膜を可能としたインライン式生産プラットフォームです。 5000台を超える高速光ディスク用システムを納入したノウハウと、 3000台を超える半導体用PVD装置から得られた経験を組み合わせて、 ...

CLUSTERLINEファミリー　ウェハーからパネルまで対応

『CLUSTERLINE』は、基板サイズに応じて名前が付けられたプラットフォームのファミリーです。すべてのプラットフォームは、カセットからカセットへの処理と完全に自動化された処理を備えたクラスターアーキテクチャを共有。生産ソリューションは、ア...

大型パネル向け成膜装置　CLUSTERLINE 600

「CLUSTERLINE600」は、大型パネル向けに特化したPVD成膜装置。すべてのプラットフォームは、カセットからカセットへの処理と完全に自動化された処理を備えたクラスターアーキテクチャを共有。【チャンバー構成】 ■脱ガスチャンバ...

縦型スパッタリング装置『LLS EVO II』

『LLS EVO II』は、縦型で動的なコンセプトを備えた多用途のバッチ式スパッタリングシステムで、最大5つの異なる材料に対応し、基板ロードチャンバーとプロセスチャンバー(LC、PC)を分離した装置です。 200×230mmまでの様々な基板サイズと...

高速ウェハー成膜装置　HEXAGON

『HEXAGON』は、FOWLPなどの用途で非常に低いコストオブオーナーシップで大気圧の脱ガス、エッチング、メタル成膜を提供する量産専用のウェーハレベルパッケージングのプラットフォームです。同期インデクサーによるウェーハ搬送により高速ウェーハ処理...

BAKファミリー　全自動蒸着機能搭載

新しいレベルの柔軟性とプロセス制御を備えた蒸着機である『BAKファミリー』は、パワーデバイス、ワイヤレス、LED、MEMS、およびフォトニクス向けに単に蒸着作業を提供するだけでなく、基板の自動交換と高スループットを実現する新世代蒸着装置です。 ...