・工程管理用測定装置及び検査装置 ・製造工程内の自動化、省力化装置など Siウェーハ以外に、SiCウェーハ等パワー半導体用の各種材料、 LED基板用サファイアウェーハ、太陽電池、MEMS等の分野へ市場を拡大し、 測定装置、検査装置の開発・納入を行っています。 ・医薬関係検査装置 ・自動車産業検査装置、部品加工機 ・その他専用機の開発・設計・製作・販売 シリコンウェーハはもちろん、SiC、サファイア等、各種材料の 厚さデモ測定等承ります。
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