振子式バルブコントロールの製品概要
特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ
極めて短い制御応答と高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作が特長。
この製品の利用用途
SEMI、FPDプロセスのダウンストリーム圧力制御および真空封止用バルブ。
振子式バルブコントロールの関連ドキュメント
| 製品カタログ | ダウンロード |
|---|
このページのトップへ
特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ
極めて短い制御応答と高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作が特長。
この製品の利用用途
SEMI、FPDプロセスのダウンストリーム圧力制御および真空封止用バルブ。
| 製品カタログ | ダウンロード |
|---|