VAT メーカー公式情報

大型ドアー L-VAT

優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ

大型ドアー L-VATの製品概要

優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ

ショックフリーなL字動作によりパーティクルフリー、バイブレーションフリーを実現。コストも低いため、保有しやすい。

この製品の利用用途

FPDおよびPV製造装置用

大型ドアー L-VATの関連ドキュメント

製品カタログ

大型ドアー L-VAT SERIES 07.8 (951.4 KB | 日本語)

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大型ドアー L-VATの詳細情報

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