VAT メーカー公式情報
優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ
ショックフリーなL字動作によりパーティクルフリー、バイブレーションフリーを実現。コストも低いため、保有しやすい。
この製品の利用用途
FPDおよびPV製造装置用
大型ドアー L-VAT SERIES 07.8 (951.4 KB | 日本語)