振子式コントロールバルブの製品概要
過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適
正確な圧力制御、高速でパーティクルフリーな動作が特長。メンテナンスが容易で使いやすいデザイン。
この製品の利用用途
SEMI、FPDプロセスの圧力制御、および真空封止用
振子式コントロールバルブの関連ドキュメント
| 製品カタログ | ダウンロード |
|---|
このページのトップへ
過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適
正確な圧力制御、高速でパーティクルフリーな動作が特長。メンテナンスが容易で使いやすいデザイン。
この製品の利用用途
SEMI、FPDプロセスの圧力制御、および真空封止用
| 製品カタログ | ダウンロード |
|---|