VAT メーカー公式情報
コンダクタンス大の真空遮断バルブ
頑丈でコンパクトなポンプ用真空遮断バルブで、ゲートバルブの代替品として使用可能。長いライフサイクルを持ち、差圧での動作が出来る。
この製品の利用用途
太陽電池製造装置など
バタフライバルブ SERIES 21.0 (662.9 KB | 日本語)