角型ゲート/インサート MONOVAT

角型ゲート/インサート MONOVATの製品概要

低ショックでメンテナンスフリーのアクチュエータ

200、300、450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用。ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護。ゲートの自己調整機能によりアクチュエータはメンテナンスフリー、簡単なゲート交換のみとなる。

この製品の利用用途

ウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用