ファインレベルスイッチ「KMLシリーズ」の製品概要
KMLシリーズは、純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。
薬液槽の液面検出に適したエア方式で
薬液雰囲気による腐食や引火の心配がなく、
半導体製造、化学プロセスに最適です
■腐食・防爆対策が容易
接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できます。
■ 腐食・防爆対策が容易
接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できます。
■ コンパクト
槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません
■メンテナンスフリー
常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。
この製品の利用用途
ウェハ洗浄装置
ファインレベルスイッチ「KMLシリーズ」の製品特長
KML502
●100万回動作保証
●ダイアフラム耐久性向上
●25％軽量化
●RoHS2対応
KML703
●目視できない槽内の水深が数値でわかる
●環境圧力変動影響をキャンセル（差圧方式：Dタイプ）
●チューブ1本で最大8点の検出が可能
●遠隔操作可能で通信機能（RS485）も内蔵
●省スペースと堅牢性を考慮し、表示器とセンサ本体を分離
ファインレベルスイッチ「KMLシリーズ」の関連ドキュメント
| 製品カタログ | ダウンロード |
|---|
このページのトップへ