シロキサン・オゾンリムーバ 「SFXシリーズ」

シロキサン・オゾンリムーバ 「SFXシリーズ」の製品概要

1台で シロキサン・オゾン 2種類の汚染物質除去

■1台で2種類の汚染物質除去
活性炭エレメントを採用し、シロキサンとオゾンを1台で除去

■高圧・大流量対応可能
圧縮空気・窒素ガスを加圧状態のまま、大流量で使用可能

■高い除去率
99％以上のシロキサン吸着性能・オゾン分解性能

■省スペース
当社調質機器とモジュール接続が可能で省配管を実現

詳しくはカタログをご覧ください。

この製品の利用用途

ライン・システムのクリーンエア化
＞電子部品・光学部品製造ライン
＞半導体製造システム
＞二次電池製造システム　などおすすめ