片手で簡単圧力調整が出来るレギュレータ!
「VSRVV」は、プッシュロックタイプの小形真空レギュレータです。
【ワンプッシュロック】 圧力調整は片手で簡単調整。ロックはワンプッシュ。
【50%の軽量化を実現】
本体を樹脂に、金属部材質はアルミニウムを使用。当社従来品より最大50%の軽量化を実現。
【銅を不使用】
流路部にSUS、アルミ合金を使用、銅イオンを嫌う用途に最適。
【耐オゾン材料を標準使用】
特殊ニトリルゴムを採用。弁部、ダイヤフラム部には劣化防止用の耐オゾン材料を標準採用。
この製品の利用用途
搬送
組立
ハンドリング
検査
実装
半導体製造工程(後工程)
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