プロセスガス用マニュアルバルブ「MGDシリーズ」の製品概要
マニュアル式メタルダイアフラムバルブ。270°回転方式のハンドル開閉タイプです。
【内部シールの性能アップ】
最適なシール構造と面粗度の向上によるパーティクルの発生を削減。
最適な内部シール力が発生するハンドル形状。
締め込みすぎによるダイアフラム破損防止のストッパ機構。
この製品の利用用途
薬ガス供給設備向け機器
薬液供給設備向け機器
半導体製造工程（前工程）
N2パージ関連機器
プロセスガス用マニュアルバルブ「MGDシリーズ」の関連ドキュメント
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