エアオペレイトバルブ「AGDシリーズ」

エアオペレイトバルブ「AGDシリーズ」の製品概要

メタルダイアフラムを採用したプロセスガス用バルブです 3方弁、2連3方弁など多種多様なバリエーションに対応をしております。

【スタンダードタイプ】
耐久性：100万回（実績値400万回）
集積化ガス供給システムに対応（1.5inch、1.125inch）

【内部シールの性能アップ】
最適なシール構造と面粗度の向上によるパーティクルの発生を削減。

この製品の利用用途

半導体、FPD、太陽電池、ELなどの業界で利用されています