nanoPVD-T15A 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置

nanoPVD-T15A 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置の製品概要

限られたラボスペースを有効活用できる小型卓上ベンチトップサイズ装置に、最新の真空蒸着技術の全てを収納しました。

OLED, OPV, OTFT等の有機薄膜蒸着用途に好適。温度応答性/安定性に優れた低温有機蒸着源、金属膜用高温蒸着源を採用。

卓上小型サイズにも関わらず、基本性能・膜質・均一性・操作性の全てを犠牲にせず、スタンドアローン大型機と同様の性能を実現しました。
更に簡単タッチパネル操作でPLC全自動制御。
難しい操作手順を必要とせずどなたでも直感的に操作ができる分かりやすいHMI。
USBケーブルでWindows PCに接続し、ログを保存、自動成膜レシピを作成保存。
◉コンパクトサイズ：804(W) x 530(D) x 600(H)mm
◉重量：40kg〜70kg（装置構成による）
◉優れた基本性能
・到達真空度 5x10-5Pascal
・高性能ターボ分子ポンプ搭載
・Φ2inchもしくはΦ4inch基板
◉蒸着源
・金属蒸着源 TE x 最大2基
・有機蒸着源 LTE x 最大4基（抵抗加熱TEと混在の場合、2基まで）
◉7"タッチパネル
◉連続成膜
・成膜プログラム自動制御
・30種類のレシピ登録
・高精度ワイドレンジ真空ゲージ
◉豊富なオプション
・基板回転
・上下昇降 300mmストローク
・基板シャッター
・ドライポンプ（RP標準）
・USBでWindows PCに接続、ログの保存管理

この製品の利用用途

・OLED, OPV, OTFT等の液晶 有機物薄膜開発
・光学薄膜、装飾膜等の産業用途
・電子基板、半導体基板等の薄膜開発
・コーティング材料、薄膜材料の開発