P-518 ｜ Z・チップ・チルト開口付ピエゾステージ

Z・チップ・チルト開口付ピエゾステージの製品概要

多軸・精密制御に最適！１～３軸タイプあり・開口付ピエゾステージ

P-5x8シリーズ、Z／チップ／チルトナノポジショニングステージは、開口型の高分解能ピエゾ駆動ステージで、最大200μmおよび2.4mradの動作範囲と、最大0.5nmおよび50nradの分解能を実現します。また、66×
66mmのセンター開口部は、光透過式アプリケーションに最適です。同じ形のXYおよびXYZ多軸バージョンとして、モデルP-517およびP-527が、また、最大6軸のP-587.6CDがあります。