SIC3 ｜ SiC3コーティング グラファイト部品

SiC3コーティング グラファイト部品の製品概要

立方晶炭化珪素CVD-cubic coat【SiC3コーティング】カーボン

短納期！ 長寿命、密着性・均一性に優れたSiCコート部材
高純度・高耐熱性・熱伝導性等の基本性能に優れたCVD-Cubic SiC（立方晶炭化珪素）コーティングカーボン部品。
MOCVD, Epitaxialプロセス等でのウエハートレー・サセプターなど。
※長寿命、密着性・均一性に優れたウエハートレーを短納期で販売致します。

※ 母材は高純度グラファイトのみとなります。
※ ご支給材料へのコーティングは行っておりませんのでご了承下さい。
【特長】
■『短納期！』 最短納期（形状・数量・ご要望仕様協議の上納期回答申し上げます）
■高純度・耐熱性・耐食性・耐摩耗性に優れる
■脱ガス量、発塵量や不純物量を低減
■密着性にすぐれ、クラック・剥離などが起こりにくい
■コーティング厚（*ご要望承ります）：最薄20μm〜最厚120μm
■膜厚均一性（*100μmの場合）：最小誤差：±5μm 〜 最大誤差：±10μm
■微細形状にもコートが可能：*例）Φ1mmホール x 深さ5mmブラインドホールへのコートも可能
■粗い表面処理から鏡面処理まで、ご要望により多彩な仕上り調整が可能です。

この製品の利用用途

エピタキシャル成長用サセプター、単結晶引き上げ装置用部品、MOCVD用サセプター・ウエハートレー・ホルダー、SiCコーティングヒーター、など。