振子式バルブコントロール Product Description
特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ
極めて短い制御応答と高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作が特長。
Main Usage
SEMI、FPDプロセスのダウンストリーム圧力制御および真空封止用バルブ。
振子式バルブコントロール Documents
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振子式バルブコントロール Details
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