大型角型ゲートバルブ SOLVAT

大型角型ゲートバルブ SOLVAT Product Description

過酷なプロセスおよび高温に対応した設計

お客様指定のデザインに柔軟に対応し、水冷・過熱プロセスからも保護。短い開閉時間による高いスループットが実現。バルブのフランジ面間距離が小さいことによりパーティクル発生を抑えられる。

Main Usage

PVセルおよび大型成膜装置用。