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コンダクタンス大の真空遮断バルブ
頑丈でコンパクトなポンプ用真空遮断バルブで、ゲートバルブの代替品として使用可能。長いライフサイクルを持ち、差圧での動作が出来る。
Main Usage
太陽電池製造装置など
バタフライバルブ SERIES 21.0 (662.9 KB | ja)