角型ゲート/インサート MONOVAT

角型ゲート/インサート MONOVAT Product Description

低ショックでメンテナンスフリーのアクチュエータ

200、300、450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用。ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護。ゲートの自己調整機能によりアクチュエータはメンテナンスフリー、簡単なゲート交換のみとなる。

Main Usage

ウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用