低ショックでメンテナンスフリーのアクチュエータ
200、300、450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用。ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護。ゲートの自己調整機能によりアクチュエータはメンテナンスフリー、簡単なゲート交換のみとなる。
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ウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用
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