角型ゲートバルブ / インサート L-MOTION

角型ゲートバルブ / インサート L-MOTION Product Description

閉動作を圧空シリンダーで行うことでショックもゴミも低減し、サービスライフも向上！

-real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化が可能
-ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護
-パーティクルフリー、ショックフリー
-高速でスムーズな開閉動作
-シール材に合わせてシール力を調整可能
-開または閉位置での圧空ロック機構
-サービスカバーからの簡単なメンテナンス

Main Usage

半導体製造装置のロードロックチャンバーおよびプロセスチャンバーの真空封止用。エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。