高性能τリニアステージ

高性能τリニアステージ Product Description

リニアモータを搭載した高精度ステージ。速度変動率性能・位置決め精度保証

X/XY/Xθ/XYθリニアステージをラインアップ。θ軸には、高性能ダイレクトドライブモータを搭載可能。 多ヘッドステージ、XYZ軸ステージなどのカスタムメイド対応も可能。 SSCNETⅢ/H・SSCNETⅢ・MECHATROLINK-Ⅲ・EtherCAT（予定）・CC-Link対応。