In-Sight 1740シリーズウェハーリーダ

In-Sight 1740シリーズ ウェハーリーダ 優れたウェハートレーサビリティーを 実現する自動認識機能 競争の激しいグローバルな半導体業界では、生産装置を最大限活用して最高の歩留まり率（＝不良品ゼ ロ）を達成するために、ますます複雑になるプロセスをより厳しく管理することが求められています。製造 の全工程にわたるウェハー追跡に対するニーズは、採算面を考慮した場合、非常に重要なことと認識され てきています。 In-Sight®1740シリーズのウェハーリーダは、きわめて高い信頼性でウェハーの自動認識を実行し、人手による作業を 最小限にして、生産装置が待機状態になることを防ぎます。新しい装置にインストールされている場合でも、既存の装置 に組み込む場合でも、100%の精度のウェハートレーサビリティーを実現することができます。

優れた読み取り性能 CognexのウェハーIDシステムは、20年以上にわたって、高い読み取り 率、そして高い信頼性の基準となってきました。In-Sight 1740シリー ズも例外ではありません。In-Sight 1740シリーズのウェハーリーダ は、小型でありながら、最高の性能を実現する製品です。信頼性を犠牲 にせずに高い読み取り率を達成するために必要なすべての機能が、コン パクトなオールインワンタイプの筺体に搭載されています。従来のシリ コンウェハーだけでなくLEDに使われるサファイアウェハーにも対応し ます。 先進の照明システム In-Sight 1740シリーズの照明システムは、ソフトウェアで制御される12の 明視野照明 モードを備えた明視野照明と暗視野照明が内蔵され、ほぼすべてのIDマーク を画像処理することができます。In-Sight 1740シリーズの照明システム は、非常にコントラストが低いマークや超薄膜コーティング、サファイア基板、 その他の課題にも対応しています。さらに、新しいウェハープロセスやコー ティングが開発された場合にも、In-Sight 1740シリーズリーダの外部照明 拡張ポートに適切な照明を接続することにより、新たな画像取り込みの要望に 暗視野照明 対応することができます。赤外の照明を備えたモデルもラインナップされてお り、きわめて特殊なプロセス処理ウェハーにも対応します。 実績のある読み取りアルゴリズム きわめて効果的な照明が設定されている場合でも、画像取り込みが困難な ウェハー上のOCR、T7データマトリックス、バーコードを正常に読み取るため には、高度な読み取りアルゴリズムが必要です。In-Sight 1740シリーズの 心臓部には、31,000を超えるウェハーIDシステムを設置した実績に基づい て開発された、Cognex独自の読み取りアルゴリズムが搭載されています。 このアルゴリズムは、エッジビード、CMP、ダイパターンなどの各種条件によっ て劣化したIDマークに関しても、世界で最も確実で信頼できる読み取りを提 SEMI T7 供するアルゴリズムであることが証明されています。 画像改善フィルタ ウェハー処理の結果、IDマークの品質が低下して、高度な照明システムやソフト ウェアアルゴリズムを使用しても読み取りが困難になることがあります。In- Sight 1740シリーズリーダでは、自動画像改善フィルタを使用して、こうした 画像劣化に関する問題を解決することができます。このフィルタを使用すると、 非常に難しいケースでも、読み取りの誤りを減らして正常な読み取りが実行で き、信頼性が向上します。さらに、この機能によりオペレータの調整作業も不要 OCRフィルタなし となり、作業効率を大幅に向上させることができます。 高速読み取り性能 In-Sight 1740シリーズは、好評を得たIn-Sight 1720シリーズに比べ、読 み取り速度が40%も向上しています。処理スピードが向上したことにより、総 読み取り時間を増加させずにプロセッサ負荷の高い画像解析を実行して、信 OCRフィルタあり 頼性の高い結果を出すことができます。

究極の簡素化と人手を必要としない運用 直感的なユーザインタフェースにより、製造現場の内外のPCから、In-Sight 1740シリーズリーダの全ネット ワークを簡単に構成、操作、保守できます。また、強力な各種機能が備わっており、最高の読み取り率と信頼性が 保証されるほか、人手を必要とせずに運用できます。 設定の自動最適化 調整可能なフォーカス。 リーダは5～80mmの In-Sight 1740シリーズソフトウェアには、「チューニング」機能 ワーキングディスタンス が備わっており、憶測による設定を回避できます。チューニング機 で取り付け可能です。 能によって、設定が自動的に最適化され、最も難しいウェハーマー クの読み取りも可能になります。オペレータに対する高度なトレー ニングは必要ありません。さらに、単一のジョブファイル内に最大 50個の読み取り設定を含めることができるため、IDマーク特性の まったく異なるウェハーが多数混在している場合でも読み取ること が可能です。 Ethernet経由のリモート制御 RS-232シリアル通信 設定の自己学習 ネットワーク機器は、広範なコマン ネットワークに対応してドセットを使用してリモートでリーダ いない装置への組み込 IDマークでは、ウェハー間およびロット間で外観にばらつきが発生 を制御し、結果をログに記録するこ みが可能です。 する場合がありますが、必ずしもこれらのすべてを予測できるとは とができます。プロトコルは、従来のすべてのCognex製ウェハーリーダ 限りません。ジョブ内のいずれかの設定で読み取りに失敗した場 と互換性があります。 合、In-Sight 1740シリーズリーダは、照明および画像改善フィル タを動的に最適化することができます。 最適化に成功すると、結果が次回の読み取りを行う際の設定として 保存されます。これを利用することで、リーダは様々な状況に適切 に対応でき、オペレータが手動で調整する必要もなくなります。 外部暗視野照明 下位互換性のある取り付け 暗視野モードを追加して、低 1700/1701/1720シ 完全な読み取り履歴のログ 角度の照明を必要とするID リーズおよびLKx5リーダ 必要に応じて、読み取った文字、読み取りスコア、読み取り時間など マークを取り込みます。 と互換性があります。 すべてのIn-Sight 1740シリーズリーダから得られた結果は、ネッ トワーク上のログファイルに保存することができます。画像を保存 して、オフラインで解析することも可能です。 究極の柔軟性と容易なインテグレーション In-Sight 1740シリーズウェハーリーダは、あらゆるタイプの自動 ウェハー処理および搬送機器へ簡単に組み込むことができます。 In-Sight 1740シリーズには、以下のモデルがあります。 ◦In-Sight 1740（752×480）リーダ（簡単なOCRおよびバー コード読み取りアプリケーション用）。 ◦In-Sight 1741（1024×768）リーダ（標準モデル。OCR、T7 データマトリックス、バーコード読み取りアプリケーション用）。 外部照明拡張ポート ◦In-Sight 1742（1024×768）リーダ（きわめて薄い酸化物被 特殊な処理をされたウェ ハーでIDマークを取り込む 膜、窒化物被膜、ポリミド被膜に対応する赤外線照明を搭載）。 必要がある場合は、適切な 照明を使用することができ ます。 水平または垂直方向での取り付け オプションのミラーアタッチメントを 使用すると、水平方向での取り付け が可能です。

仕　様 互換性 オペレーティングシステム In-Sight 1740シリーズ設定インタフェース PCソフトウェア Windows 7（32/64ビット）。.NET Framework 2.0が必要 In-Sight Explorer、スタンドアローンアプリケーション、またはWebブラウザ（IE8以降） Windows XP（32ビット）。.NET Framework 2.0が必要 In-Sight Explorer、スタンドアローンアプリケーション、またはWebブラウザ（IE7以降） Windows 2000。.NET Framework 2.0が必要 Webブラウザのみ（IE6 SP1以降） ファームウェア 4.5.0以降（In-Sight 1720シリーズリーダとも互換性あり） 読み取り機能 マークタイプ EMI M12、M13 SEMI M1.15 SEMI T1-95 SEMI規格以外 OCR SEMIフォント SEMIフォント なし Triple、OCR-A、IBM、Charteredの各フォント 二次元コード なし T7データマトリックス なし データマトリックス、QRコード バーコード なし なし BC 412 IBM 412 画像取り込み モデル 1740 1741 1742 センサタイプ 1/3インチCMOS 1/3インチCCD 1/3インチCCD 解像度 752×480 1024×768 1024×768 階調 256グレーレベル（8ビット） 露光時間 0.10～127.00ms 画像ゲイン ソフトウェアによる制御 画像取り込み ラピッドリセット、プログレッシブスキャン（パーシャルスキャンをサポート）、フルフレーム統合 照明と光学系 モデル 1740 1741 1742 照明領域 29×19mm 31×19mm 31×19mm LED 赤、633nm 赤、622nm 赤外線、880nm 照明モード 内部11種類（明視野および暗視野）、外部暗視野1種類。外部照明拡張ポートを通じて、外部カスタム暗視野照明制御用の電源を供給 照明強度 可変（ソフトウェアによる制御） フォーカス深度 +/- 3mm メモリ ジョブ/プログラム保存 128MB不揮発性フラッシュメモリ。ネットワーク接続されたデバイスの場合は容量制限なし 画像処理 128MB SDRAM 通信とI/O ネットワーク 10/100Base-T Ethernetポート×1、TCP/IPプロトコル。DHCP（デフォルト）および固定IPアドレスをサポート シリアル RS-232Cポート×1（1200～115,200ボー） プロトコル In-Sight、In-Sightネイティブモード、LKx5、東京エレクトロン（TEL）、東京精密（TSK）、Electroglas（EG） ソフトウェアトリガ（EthernetおよびRS-232経由） 光絶縁型画像取り込みトリガ入力×1 遅延 6ms遅延（トリガの立ち上がりエッジと画像取り込みの開始点との間）。最小1ms幅の入力パルス トリガ 電圧 オン時20～28V（標準24V）、オフ時0～3V（標準12V） 電流 オフ時150mA未満、オン時2.0～2.9mA（高電流が必要な場合は外部抵抗を追加） 抵抗 最大10,000Ω ディスクリート入出力 最大8入力および8出力が使用可能（CIO-1400 I/Oモジュール使用時。個別に使用可能） ステータスインジケータ 電源LED、ネットワーク接続/データLED、ユーザ定義可能LED×2 電源 電圧 24VDC +/- 10% 電流 140（照明オフ時）～200mA（照明オン時） 機械的仕様 取り付け 垂直および水平（ミラーアタッチメントが必要）方向。M4ネジ穴×4（各側面） ワーキングディスタンス 調整可能。最大80mm（垂直）または56mm（水平） 材質 陽極酸化処理を施した黒色アルミニウムケース（黒塗装のエンドキャップ付き） 重量 381.0g（13.4オンス） 寸法（高さ×幅×奥行き） 38×72×124mm（1.5×2.8×4.9インチ） 環境 動作時 温度0～45°C（32～114°F）、湿度10～90%（結露しないこと） 保管時 温度-10～65℃（14～149°F）、湿度10～90%（結露しないこと） 振動 EN61373（IEC 60068-2-6、IEC 60068-2-64 6.4、IEC 60068-2-27を含む） 規格認証 準拠規制 CE、UL、CUL、RoHS、FCC、IEC 60825-1/A2:2001、EN 60825-1/A1:2002、CAN/CSA-E60825-1:2003、Class 1 LED製品 SEMI安全規格 SEMI S2-0709 記載内容は予告なく変更する場合があります。 その他記載されている会社名、製品名は、各社の商標または登録商標です。 　c 2011 Cognex Corporation 08/11, PDF（Ｙ）