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半導体製造装置日本エアークラフトサプライカタログ

製品カタログ

超過酷な環境下でも「壊れない・長寿命」

循環式液冷システムやファンアッセンブリをワンストップで!

このカタログについて

ドキュメント名 半導体製造装置日本エアークラフトサプライカタログ
ドキュメント種別 製品カタログ
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登録カテゴリ
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このカタログ(半導体製造装置日本エアークラフトサプライカタログ)の内容


Page 1:AMETEK Aerospace & Defense・・半導体製造装置、航空宇宙分野で高い評価と使用実績 ・・静圧/風量:~821kPa(41 IWG) /~ 93,000ℓ/min (3,300CFM)・・入力電圧:115/200/416VAC, 50-60Hz/400Hz、 24/28VDC・・サイズ:直径 9cm~23cmまでの製品ラインナップ・・重量 :最小 1.37kg~・  ・ ① 超過酷な環境下でも「壊れない・長寿命」・    ⇒ 海外の大手半導体製造装置メーカーにも採用され、性能を実証済み・    ⇒ 航空宇宙機器への採用実績も世界屈指・    ⇒ 稼動環境は-54℃~125℃・    ⇒ 低ライフサイクルコスト(標準MTBF=100,000時間~装置の寿命まで)・ ② 従来ファンよりも格段に「高静圧・大風量・コンパクト」・    ⇒ 冷却性能を拡大させ、設置スペース、重量の削減が実現可能・    ⇒ 50/60Hzファンから、400Hz+パワーコンバータ+コントローラ付きファンへ・ ROTRON - El CajonROTRON - Woodstock圧倒的な耐久性・信頼性を持つコンパクト高性能ファン!循環式液冷システムやファンアッセンブリをワンストップで!・ ① ファン 可変速度コントローラ 熱交換器の複合冷却システム・   ⇒ 静圧/風量:20,000ℓ/min (800 CFM)~ / 2kPa~ (8.0 IWG)・・ ② 循環式液冷システム(Vapor Cycle System)・   ⇒ 500W-5kWクラス/液体蒸発・圧縮・気体凝縮を活用した・     外気を取込まない冷却方式)・・  【用途】・   半導体製造分野:・     露光装置・     エピタキシャル成膜/真空蒸着/熱処理成膜装置・     温度コントロール・電子機器の熱除去・     エッチング装置・     ウェハー製造プロセス・     スパッタリング装置・   ・   防衛分野: ・     航空機搭載の電子機器冷却、地上機材冷却