半導体製造装置日本エアークラフトサプライカタログ

Page 1:AMETEK Aerospace & Defense・・半導体製造装置、航空宇宙分野で高い評価と使用実績　・・静圧／風量：～821kPa（41 IWG） ／～ 93,000ℓ/min (3,300CFM)・・入力電圧：115／200／416VAC, 50-60Hz／400Hz､ 24／28VDC・・サイズ：直径 9cm～23cmまでの製品ラインナップ・・重量 ：最小 1.37kg～・　　・　① 超過酷な環境下でも「壊れない・長寿命」・　　 　⇒ 海外の大手半導体製造装置メーカーにも採用され、性能を実証済み・　　　 ⇒ 航空宇宙機器への採用実績も世界屈指・　　　 ⇒ 稼動環境は－54℃～125℃・　　　 ⇒ 低ライフサイクルコスト（標準MTBF＝100,000時間～装置の寿命まで）・　② 従来ファンよりも格段に「高静圧・大風量・コンパクト」・　　　 ⇒ 冷却性能を拡大させ、設置スペース、重量の削減が実現可能・　　　 ⇒ 50/60Hzファンから、400Hz＋パワーコンバータ＋コントローラ付きファンへ・　ROTRON - El CajonROTRON - Woodstock圧倒的な耐久性・信頼性を持つコンパクト高性能ファン！循環式液冷システムやファンアッセンブリをワンストップで！・ ① ファン 可変速度コントローラ 熱交換器の複合冷却システム・ 　 ⇒ 静圧／風量：20,000ℓ/min (800 CFM)～ ／ 2kPa～ (8.0 IWG)・・ ② 循環式液冷システム（Vapor Cycle System）・ 　　⇒ 500W-5kWクラス／液体蒸発・圧縮・気体凝縮を活用した・ 　　　　外気を取込まない冷却方式)・・ 　【用途】・ 　　半導体製造分野：・ 　　　　露光装置・ 　　　　エピタキシャル成膜/真空蒸着/熱処理成膜装置・ 　　　　温度コントロール・電子機器の熱除去・ 　　　　エッチング装置・ 　　　 ウェハー製造プロセス・ 　　　　スパッタリング装置・ 　　・ 　　防衛分野：　・ 　　　　航空機搭載の電子機器冷却、地上機材冷却