ウェハー搬送用グリッパー SWGmシリーズ

ウェハーグリッパー ウェハーグリッパー SWGm 太陽電池用ウェハーやセルの搬送に最適なグリッパー SOLAR アプリケーション • 太陽電池のウェハーやセルをストレスなく高速で搬送 • ワークをハンド全面で把持するため高い保持力を得ることができ、 位置精度の優れた搬送が可能 • 低真空かつ大流量の吸引でワークを保持するため、ワークの変形や 傷を抑制 ウェハーグリッパー SWGm デザイン • オプションの真空パッドや各種センサ取付用のホルダー (1) • 排気管理用のホースコネクタとホースノズル (2) • ロボット取付用のフランジモジュール (3) • 垂直排気タイプ (A) または側面排気タイプ (S) の2種類から 排気方向 (4) を選択可能 • 125 mm (5インチ) および156 mm (6インチ) のセルサイズに対応 • 樹脂素材をメインに使用し、軽量化された真空発生器内蔵ボディ • 交換可能な吸着プレート ウェハーグリッパー SWGmの構成 製品特長 • 低真空での吸引および硬質プレートでワークを支持しながら 吸着搬送するため、ワークの変形や傷の発生を抑制 • 高吸込量の真空発生器を一体化し、穴の開いたウェハーなど 部分的なエア漏れがある場合も安定した把持が可能 • 高さを抑えた軽量設計により、サイクルタイムが1秒以下の 高速搬送でも安定した搬送が可能 ウェハーグリッパー SWGmを使用した太陽電池の搬送 スペアスパペスーアペツパ・アスー パペツ・ーアス パツペ・ーアテ ツパク・ーニテ ツカク・ルテニ デクカニテールカクタデルニーテデカタクールニタデカルーザデタイーンザタデイーンザタデイ・ンーザ タイデ・ンーザ デタイ・ーン タデ製・ー 品タ製・資 品料製資品料製資品料製資品料資料動画動画動画動画動画 WWWW.SWCHWM.SACLHZM.CAOLMZ./C O.JP/ 動画はこちら アクセアサクリアセクサセリアサクリセアアサククリセセササリリ CADデCAーDCCタデAAーDDCデタデAーーDデタCタAーDタデータ SWGM (YouTube) ECBPMI 262 WWW.SCHMALZ.CO.JP/SWGM 案内 技術情報 スペシャル フィルター バルブ 真空発生器 真空パッド用 真空パッド 製品概要 グリッパー / コネクタ / スイッチ 取付部品 / サービス

ウェハーグリッパー ウェハーグリッパー SWGm 太陽電池用ウェハーやセルの搬送に最適なグリッパー 形式表示方法 SWGm – 5 – A – 115x115x40 – 1xE100 1 2 3 4 5 A – PEEK 6 7 1 – 製品仕様 2 – 対応ウェハーサイズ 3 – 排気エア接続口 タイプ 種類 タイプ サイズ タイプ 種類 SWGm ウェハーグリッパー 5 5 インチ A 上部 (1箇所) 6 6 インチ S 側面 (2箇所) 4 – グリッパーサイズ 5 – 真空発生器 タイプ サイズ タイプ 種類 115x115x40 吸着プレート: 115 x 115 mm、グリッパー高さ: 40 mm 1xE100 1xE100 146x146x65 吸着プレート: 146 x 146 mm、グリッパー高さ: 65 mm 6 – 真空破壊機能 7 – 吸着プレートの材質 タイプ 有無 タイプ 材質 A あり PEEK PEEK 製品コード: 製品本体 タイプ 製品コード SWGm-5A-115x115x40-1xE100-A-PEEK 10.01.30.00135 SWGm-6A-146x146x40-1xE100-A-PEEK 10.01.30.00136 SWGm-5S-115x115x65-1xE100-A-PEEK 10.01.30.00137 SWGm-6S-146x146x65-1xE100-A-PEEK 10.01.30.00138 製品コード: スペアパーツ・アクセサリ タイプ 概要 製品コード SAUG-FL-SWGm-5-110x110-PEEK スペアパーツ：吸着プレート、SWGm-5向け 10.01.30.00125 SAUG-FL-SWGm-6-141x141-PEEK スペアパーツ：吸着プレート、SWGm-6向け 10.01.30.00126 ABL-SET-14-SWG/SCG アクセサリ: 排気エア接続コネクタ（2個入り）、SWGm-...-S向け 10.01.30.00059 ABL-FUEHR-19.5x46-SWGm/SCG アクセサリ: 排気エア接続コネクタ兼ブースター、SWGm-...A向け 10.01.30.00087 FLAN-PL-55x7.5-AB1(1) アクセサリ: ロボットフランジ: ABB (フレックスピッカー IRB 360)、ファナック (M-1iA、M-2iA) 10.01.30.00015 FLAN-PL-63x10.5-AD1(1) アクセサリ: ロボットフランジ: Adept (クアトロ S650) 10.01.30.00016 FLAN-PL-63x11.5-UNI(1) アクセサリ: ロボットフランジ: 未加工タイプ 10.01.30.00017 アクセサリ: ロボットフランジ: FLAN-PL-55x9.5-JP1(1) 10.01.30.00194 ファナック (M-3iA)、安川電機 (MPP3)、川崎重工業 (YF03N)、村田機械 (旧モデル: MPS-3、MPS-4) HTR-UNI-SWGm アクセサリ: ホルダー（ネジ穴なし） 10.01.30.00117 HTR-M8x1-IG-SWGm アクセサリ: ホルダー（M8 メネジ付き） 10.01.30.00118 HTR-M12x1-IG-SWGm アクセサリ: ホルダー（M12 メネジ付き） 10.01.30.00119 アクセサリ: ホルダー SD-MOD-4x-32x15x35-FG-9-SWGm 10.01.30.00121 （緩衝用 2.5段ベローズパッド付き、パッド径: Ø 9 mm、パッド材質：マークレスゴム HT1) EMV-2.5-24V-DC-3/2-NC-K-2P アクセサリ: 吸着用ソレノイドバルブ 10.05.01.00289 EMV-1.5-24V-DC-3/2-NC-K-2P アクセサリ: 真空破壊用ソレノイドバルブ 10.05.01.00288 SBSm-14-90-3-4/2-0(2) アクセサリ: 非接触パッド (1台のSWGmにつき4個要) 10.01.01.12912 ( 1) 排気エア接続コネクタ ABL-FUEHR-19.5x46-SWGm/SCG とロボットフランジを併用することはできません。 (2)テクニカルデータとデザインデータについてはお問い合わせください。 WWW.SCHMALZ.CO.JP/SWGM 263 案内 技術情報 スペシャル フィルター バルブ 真空発生器 真空パッド用 真空パッド 製品概要 グリッパー / コネクタ / スイッチ 取付部品 / サービス

ウェハーグリッパー ウェハーグリッパー SWGm 太陽電池用ウェハーやセルの搬送に最適なグリッパー テクニカルデータ タイプ 作動圧 保持力 吸込量 真空圧 エア消費量 ノイズレベル 作動温度 本体質量 (未吸着時) [MPa] [N](3)(4) [l/min](3)(4)(5) [kPa](3)(4) [l/min](3)(4) [dB(A)](3)(4) [°C] [g] SWGm-5A-... 0.1 ～ 0.3 10 ～ 35 190 ～ 350 -2 ～ -6.5 60 ～ 120 66 ～ 79 5 ～ 75 210 SWGm-6A-... 0.1 ～ 0.3 12 ～ 43 190 ～ 350 -2 ～ -6.5 60 ～ 120 66 ～ 79 5 ～ 75 275 SWGm-5S-... 0.1 ～ 0.3 10 ～ 35 160 ～ 235 -2 ～ -6.5 60 ～ 120 72 ～ 82 5 ～ 75 235 SWGm-6S-... 0.1 ～ 0.3 12 ～ 43 160 ～ 235 -2 ～ -6.5 60 ～ 120 72 ～ 82 5 ～ 75 300 ※本カタログに記載している流量はすべて、参照基準大気 [ANR] (温度20°C、湿度65%、絶対圧101.3 kPa) に準拠しています。 ※推奨供給エア品質: ISO 8573-1、クラス 7-4-4、フィルターでろ過済み (40 µm)、非含油 (3) ワークにグリッパー全面が吸着した時の値です。 保持力はワークの特性に影響されるため、実際のワークを用いたテストが必要です。 値は上記作動圧の範囲に基づきます。 (4)各作動圧における値の公差は+/-10%です。 (5)排気ホースが長くなるほど、吸込量は減少します。 しわ・変形対策 SWGm / STGGは局所的に真空状態を作る事で把持力を生むのではなく、 保持力 [N] 吸着プレートによってワーク全体を低真空かつ大流量で吸込む事によっ て把持力を生みます。その結果、一般的な真空機器と比較してワーク表 SWGm / STGG 一般的な真空機器 面への負荷や変形を抑えながらも非常に優れたグリップ力を発揮しま (真空パッド、ベルヌーイ式パ す。 ッド等) ワーク表面への負荷 [N/cm2 真空パッドを使用した場合 ] SWGm / STGGを使用した場合 ワークへの負荷 コンタミネーション (異物) 対策 SWGm / STGGは、吸着プレートの材質としてPEEK樹脂を選択することが 塵埃量 (< 50 µm) できます。PEEK樹脂は耐摩耗性に優れ、発塵を抑えることが可能です。静 電気の除電に有効なESD (静電気放電)対策の吸着プレートもラインアッ プしています。また、大流量の吸込みによって電極材上の塵埃を除去し、 真空パッド 排気ポートを介して回収することが可能です。 SWGm / STGG 吸着前 吸着後 真空パッドを使用した場合 SWGm / STGGを使用した場合 空気中の塵埃量 標準仕様の SWGm / STGGのほか、お客様のワークサイズに合わせた 特注プレートも製作が可能です。詳しくはお問い合わせください。 264 WWW.SCHMALZ.CO.JP/SWGM 案内 技術情報 スペシャル フィルター バルブ 真空発生器 真空パッド用 真空パッド 製品概要 グリッパー / コネクタ / スイッチ 取付部品 / サービス