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センサチップ  HM シリーズ

製品カタログ

過酷な流体向け

低/中圧 (活性薬液/ガス用)

圧力レンジ: 100~500 psi / 689,5~3,447 kPa
チップ種別: 絶対圧、ゲージ圧、差圧、負圧
チップサイズ: 2.2x1.9 mm
動作温度: -40~150℃
オフセット: ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性: ±0.2( %FSO) @25℃
圧力ヒステリシス: ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性: ゼロポイント ±25 (μV/V/℃) @-40~150℃
抵抗値 2300(min)~3300(max) (ppm/℃))
@-40~150℃
感度 -1500(min)~-2500(max) (ppm/℃))
@-40~150℃
温度ヒステリシス: ±012 (%FSO) @無負荷
検出対象: 浄/乾燥空気、非腐食性ガス
仕様オプション 感度レンジ: 100psi / 300psi / 500psi
ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
出荷オプション: 伸縮テープ / ワッフルパック

このカタログについて

ドキュメント名 センサチップ  HM シリーズ
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 356.9Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 ファインセンシング株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログ(センサチップ  HM シリーズ)の内容


Page 1:DATA SHEETHM SeriesHMseriesDS.006Sales 1 801.208.4722 · Customer Service 1 801.208.4700 · Fax 1 801.208.4798 · sensors@merit.com · www.MeritSensor.com1600 W. Merit Parkway · South Jordan, Utah · 84095 · USAFEATURESRange 15 to 500 psi (1 to 34.5 bar; 103 to 3,447 KPa)Type Absolute; pressurized from cavity sideMedia Air, gases and liquids that are compatible with silicon and glassShipping Wafers on tape, waffle packFlexibility Sensitivity, resistance, bridge, constraint, etc.BENEFITSPerformance Enjoy best-in-class performance due to Merit’s proprietary Sentium technologyCost Save money over time with high-performing dieSecurity Feel confident doing business with an experienced company backed by a solid parent company (NASDAQ: MMSI)Speed Get to market quickly with creative and flexible solutionsService Experience prompt, personal, and professional supportThe HM Series is ideal for high-volume, low and medium pressure,harsh-media applications.COMPANY: Merit Sensor is a leader in piezoresistivepressure sensing and partners with clients to create highperforming solutions for a variety of applications and industries.SENTIUM: Merit Sensor products incorporate a proprietarySentium®technology, developed to provide a best-in-classoperating temperature range (-40°C to 150°C) and superior stability.TECHNOLOGY: Merit Sensor utilizes a piezoresistiveWheatstone bridge in a design that anodically bonds glassto a chemically etched silicon diaphragm. All productsare RoHS compliant.CAPABILITIES: Merit Sensor designs, engineers, fabricates,dices, assembles, and tests products from a state-of-the-artfacility near Salt Lake City, Utah.HM Series Part Number ConfiguratorPackingT = Sawn waferon tape inmetal frameW=Die inwaffle packConstraintL2 = AbsoluteHXX-XXXX-L2XHM Series Standard Part NumbersH1T-0300-L2TH1C-0300-L2TH1T-0090-L2TH1C-0090-L2TH1T-0070-L2TH1C-0070-L2TH1C-1000-L2TH1T-1000-L2TImpedance1 = 5kohmBridge2 = 3.5kohmBridgeBridgeC = ClosedT = Closed withtemp diode** OptionalSensitivity μV/V/psi1000 = 15 psi0300 = 100 psi0090 = 300 psi0070 = 500 psi

Page 2:0.510.380.51 GlassGlassSilicon2.081.01.00.50.510.380.51 GlassGlassSilicon2.081.01.00.5HM SeriesSales 1 801.208.4722 · Customer Service 1 801.208.4700 · Fax 1 801.208.4798 · sensors@merit.com · www.MeritSensor.com1600 W. Merit Parkway · South Jordan, Utah · 84095 · USASPECIFICATIONSParameter Minimum Typical Maximum Units NotesElectrical & EnvironmentalExcitation (In) 5 15 V Maximum: 3 mAImpedance 4000 5000 6000 Ω Optional: 3,500 /- 500Operating Temperature -40 150 °C Sentium®technologyStorage Temperature -55 160 °CPerformanceOffset -10 0 10 mV/V Zero pressure; gage only; @25°CNon-linearity -0.2 0 0.2 % FSO Best Fit Straight Line; @25°CPressure Hysteresis -0.1 0 0.1 % FSO @25°CTemp Coeff – Zero -25 0 25 μV/V/°C -40°C to 150°CTemp Coeff – Resistance 2300 2800 3300 PPM/°C -40°C to 150°CTemp Coeff – Sensitivity -1500 -2200 -2500 PPM/°C -40°C to 150°CUdiode @ Is = 40uA 460 530 600 mVTC of Udiode -2.5 -2.2 -2.0 mV/°CLong-Term Stability -0.2 0 0.2 % FSOLong-Term Stability(15psi only)-0.4 0 0.4 % FSOBurst Pressure 5X Full scale pressureBurst Pressure (500 psi part) 1500 psiFull-Scale Output (@ 5 volts excitation)15 psi (1 bar; 103 KPa) 60 75 90 mV100 psi (6.9 bar; 689.5 KPa) 120 150 180 mVOther outputs availableupon request300 psi (20.7 bar; 2,068 KPa) 110 135 160 mV500 psi (34.5 bar; 3,447 KPa) 140 175 210 mVDIMENSIONS (millimeters, post cut) ELECTRICALV-INV-OUT V OUTVTEMPOptional INP0.510.380.510.25GlassGlassSilicon2.082.080.891.01.00.50.360.15 IN -IN-O OTemp0.71Top View Bottom ViewSide View