高速汎用プラズマ解析ソフトウェア『VizGlow』
VizGlowの特徴は、圧縮性流体モデルを採用しているため、様々な条件のプラズマ解析を行う事が可能な点にあります。
シミュレート可能なプラズマの種類
容量結合プラズマ (CCP)
誘導結合プラズマ (ICP)
マイクロ波プラズマ (MWP)
直流 (DC) プラズマ
大気圧プラズマ (APP)
微小放電 (MD)
<実用例>
・直流、誘導結合、容量結合および電磁波加熱の放電
・大気圧グロー放電
・マイクロ放電、PDP、照明用プラズマ
・燃焼着火（スパークプラグ、ナノセカンド パルス）
・プラズマ アクチュエータ(DBD)
・化学プロセスにおける非平衡プラズマ
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MAIL:sales@wavefront.co.jp
このカタログについて
| ドキュメント名 | 高速汎用プラズマ解析ソフトウェア『VizGlow』 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 773.8Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社ウェーブフロント (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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プラズマシミュレーションソフトウェア
VizGlowのご紹介
1301 South Capital of Texas Highway, Suite B-122
Austin, Texas 78746
www.esgeetech.com
contact:
(info@esgeetech.com)
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VizGlowが適する業界
▪ 半導体装置メーカー
▪ 半導体集積回路(IC)製造
▪ 太陽電池製造
▪ フラットパネルディスプレイ製造
▪ 自動車
▪ 航空宇宙システム
▪ 電子デバイス製造
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プラズマ放電の応用
VizGlow が使用可能な分野
▪ 薄膜のエッチング、成膜
▪ 照明、ディスプレイ
▪ ガス流れプロセス
▪ 空気力学的流れの制御
▪ 化学プロセス
▪ 燃焼点火 / 安定化
▪ 回路ブレーカー
▪ 生体医療 (滅菌, 外科手術)
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VizGlow でシミュレート可能なプラズマの種類
プラズマ放電の種類:
▪ 容量結合プラズマ (CCP)
▪ 誘導結合プラズマ (ICP)
▪ マイクロ波プラズマ (MWP)
▪ 直流 (DC) プラズマ
▪ 大気圧プラズマ (APP)
容量結合プラズマ (CCP)
▪ 微小放電 (MD)
波動現象 誘導結合プラズマ 中性ガスの流れを伴うICP
(マイクロ波プラズマ) (ICP)
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Physics representations in VizGlow
VizGlowで考慮される物理現象、化学現象
Wave Physics (ICP
coils/Microwave)
電磁波
Gas Flow Physics （ICPコイル、
気体の流れ マイクロ波）
Non-equilibrium Plasma Magnetic
非平衡プラズマ Field
Gas Effects
磁場の効果
Chemistry
気相反応
Surface External Circuit
Chemistry Dynamics
表面反応 外部回路
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VizGlowの特長
物理
▪ プラズマ形成:
▪ 電位と荷電粒子の分布を自己無撞着に決定 / 準中性条件
▪ 複数粒子種 / 多重温度
▪ 全粒子種のドリフト拡散輸送 / イオンの運動量方程式
▪ 気相と表面の素反応
▪ 電磁場計算との連成
▪ 周波数領域 / 時間領域
▪ 圧縮性流体計算との連成
▪ 粒子モデル計算との連成
▪ 磁化プラズマ
▪ 光電離モデル (現バージョンでは空気のみに対応)
▪ 適用できる圧力範囲: 数mTorrから30気圧まで
数値計算手法
▪ 形状再現のためのハイブリッド非構造混合格子
▪ 安定していてかつ大規模化が可能な、最先端のソルバー技術
▪ 大規模並列計算 (100プロセスまで適用可能)
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計算例
• ストリーマー放電 大気圧、空気
• マグネトロンプラズマ 66.6 Pa, 水素, 静磁場
• 誘導結合プラズマ 6.66 Pa, 窒素, コイル
• マイクロ波プラズマ 0.66 Pa から 24 Pa, アルゴン, 2.45 GHz
• ３次元直流スパッタとTiのデポジション
2.67 Pa, アルゴン, チタン
• 誘電体バリア放電
大気圧、空気
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お問い合わせ先
株式会社ウェーブフロント
E-mail: sales@wavefront.co.jp
Tel: 045-682-7070 (代)
FAX : 045-682-7071
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〒220-6112
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