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【Patricle-PLUS解析事例】CCPを用いた基板表面クリーニング解析事例

事例紹介

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です
また、ソフト販売だけではなく、受託解析も実施しております

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽お問い合わせください
HPhttp://www.wavefront.co.jp
MAIL:information@wavefront.co.jp

このカタログについて

ドキュメント名 【Patricle-PLUS解析事例】CCPを用いた基板表面クリーニング解析事例
ドキュメント種別 事例紹介
ファイルサイズ 1019.3Kb
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このカタログの内容

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Particle-PLUS計算事例 CCPを用いた基板表面クリーニング
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モデル概要 CCPを用いた基板表面クリーニング Arプラズマによる表面ダスト金属(Ru)除去 軸対称モデル シミュレーション領域 誘電体 (誘電率:石英相当) Arガス 4 Pa 基板 ターゲット:不要なRu膜 40 mm ~ 交流 電圧: 500 V 振幅: 13.56 MHz 誘電体 コンデンサ: 100 pF (誘電率:石英相当) Copyright © 2020 Wave Front Co., Ltd. All Rights Reserved. 2 20 mm
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電位 CCPを用いた基板表面クリーニング 電位(周期平均) 基板側電位の時間変化 (基盤側) [V] 時間 [s] ✓ 自己バイアス効果により、基盤側の電位が負に偏って いることが分かる。(※ 印加電圧は交流500 V) Copyright © 2020 Wave Front Co., Ltd. All Rights Reserved. 3 電位 [V]
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粒子数密度 CCPを用いた基板表面クリーニング 電子数密度(周期平均) Arイオン数密度(周期平均) [/m3] [/m3] Copyright © 2020 Wave Front Co., Ltd. All Rights Reserved. 4
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エネルギー分布 CCPを用いた基板表面クリーニング 電子エネルギー Arイオンエネルギー (1個当たり、周期平均) (1個当たり、周期平均) [eV] [eV] Copyright © 2020 Wave Front Co., Ltd. All Rights Reserved. 5
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電子流束 CCPを用いた基板表面クリーニング 電子数流束(周期平均) 電子エネルギー流束(周期平均) ※ 値の押上表示 ※ 値の押上表示 (基盤側) (基盤側) [/ m2 ⋅ s ] [W/m2] Copyright © 2020 Wave Front Co., Ltd. All Rights Reserved. 6
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Arイオン流束 CCPを用いた基板表面クリーニング Arイオン数流束(周期平均) Arイオンエネルギー流束(周期平均) ※ 値の押上表示 ※ 値の押上表示 (基盤側) (基盤側) [/ m2 ⋅ s ] [W/m2] Copyright © 2020 Wave Front Co., Ltd. All Rights Reserved. 7
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基板表面のクリーニング CCPを用いた基板表面クリーニング Ruエロージョン率 ※ 値の押上表示 (基盤側) ✓ ダストによる再汚染まで考慮 した正味のクリーニング量を 評価できます。 [m/s] ※ レジスト(基盤の部分保護材)は考慮していません。 基板上の距離 [m] Copyright © 2020 Wave Front Co., Ltd. All Rights Reserved. 8 エロージョン率 [m/s]
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お問い合わせ先 CCPを用いた基板表面クリーニング Particle-PLUS 開発元 : 株式会社ウェーブフロント 神奈川県横浜市西区みなとみらい 2-3-3 クイーンズタワーB 12階 TEL : 045-682-7070 (代) E-mail: sales@wavefront.co.jp Web : http://www.wavefront.co.jp/ 弊社取り扱いの製品に関するお問い合わせや、 受託業務に関するご相談などは、上記の連絡先へ お気軽にお問い合わせください。 Copyright © 2019 Wave Fr9ont Co.,Ltd All Rights Reserved.