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【Patricle-PLUS解析事例】3D計算 DCマグネトロンスパッタリング解析事例

事例紹介

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です
また、ソフト販売だけではなく、受託解析も実施しております

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽お問い合わせください
HPhttp://www.wavefront.co.jp
MAIL:information@wavefront.co.jp

このカタログについて

ドキュメント名 【Patricle-PLUS解析事例】3D計算 DCマグネトロンスパッタリング解析事例
ドキュメント種別 事例紹介
ファイルサイズ 1.1Mb
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このカタログの内容

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Particle-PLUS計算事例 DCマグネトロンスパッタリング(3D計算)
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モデル概要 DCマグネトロンスパッタリング(3D計算) ArプラズマのスパッタリングによるCu膜生成 3次元モデル ガス流入 Ar 1.0 Pa ガス流出 0.4 Pa 永久磁石 フェライト 標的 材質 Cu 電圧 DC -400 V 2次電子放出 係数 0.1 標的-基板間距離 60 mm ➢ 黒線で示される直方体の上面に基 板、下面に標的、側面に壁がある とする ➢ 基板と壁は接地されている Copyright © 2020 Wave Front Co., Ltd. All Rights Reserved. 2
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中性ガス圧力 DCマグネトロンスパッタリング(3D計算) 空間中 [ 断面表示 ] 流入口 流出口 標的表面 流入口 [Pa] 流出口 Copyright © 2020 Wave Front Co., Ltd. All Rights Reserved. 3
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磁場と電子数密度 DCマグネトロンスパッタリング(3D計算) 電子数密度 (横断面) 磁束密度 (縦断面) [T] 電子数密度 (縦断面) [/m3] ✓ クロスコーナー効果などの特徴的な現象の模擬 が可能です。 [Q. H. Fan et. al., 2003] Copyright © 2020 Wave Front Co., Ltd. All Rights Reserved. 4
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エロージョン DCマグネトロンスパッタリング(3D計算) 標的表面の入射Ar+イオンフラックス 標的表面のCuエロージョンレート [/(m2 s)] [ 値の押し上げ表示 ] B A [m/s] A B Copyright © 2020 Wave Front Co., Ltd. All Rights Reserved. 5
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デポジション DCマグネトロンスパッタリング(3D計算) 各表面のCuデポジションレート 流入口 D C D 流出口 C [m/s] Copyright © 2020 Wave Front Co., Ltd. All Rights Reserved. 6
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お問い合わせ先 DCマグネトロンスパッタリング(3D計算) Particle-PLUS 開発元 : 株式会社ウェーブフロント 神奈川県横浜市西区みなとみらい 2-3-3 クイーンズタワーB 12階 TEL : 045-682-7070 (代) E-mail: sales@wavefront.co.jp Web : http://www.wavefront.co.jp/ 弊社取り扱いの製品に関するお問い合わせや、 受託業務に関するご相談などは、上記の連絡先へ お気軽にお問い合わせください。 Copyright © 2019 Wave Fr7ont Co.,Ltd All Rights Reserved.