超高純度(UHP)ガス・液体・蒸気の供給システム　SVCS　会社案内

Page 1:イノベーションが未来を創る伝統とテクノロジーが出会うところ

Page 2:SVCSは、超高純度（UHP）ガス・液体・蒸気の供給システムに関する長年の経験と、熱処理用機器に関する深い知識を活かして、2000年6月に創業しました。以来、SVCSは世界中に大規模な設置基盤を構築し、大量生産に従事するクライアントだけでなく、実験室や小規模のパイロット工場で研究開発を手掛けるクライアントの両方にサービスを提供しています。当社のクライアントの皆様には、高品質でありながら適正な価格でプロフェッショナルなサポートを、チェコ共和国の本社や世界中の現地事務所から利用いただいています。当社が継続的に成功を収めている要因として、たゆまぬ改善が重要であると考えています。SVCSは主要な研究所や大学、科学学術機関と提携し、お客様やパートナーに新しい製品やソリューションを提供し続けています。会社概要認定書および監査書

Page 3:ソリューションプロセス機器システム構成機器設備システムLPCVD/PECVD拡散炉 特別仕様のソリューショントータルソリューション化学薬品供給バルブマニホールドボックスガスキャビネット制御システムガスパネルEBS（外部燃焼システム）バブラー

Page 4:拡散炉プロセスの概要特徴SVCSの常圧拡散炉の設計は、マルチプロセス機能とフル生産システムが求められる最大の生産能力を有するだけでなく、研究やパイロット生産で使用される小型モデルに求められる高い柔軟性を実現しています。また、メンテナンスが容易で、安全で信頼性が高い横型炉のプラットフォームとなっています。このSVCSの設計は、柔軟性の高い処理能力を有しながら、高効率、最小の環境負荷、低所有コストであるという点で非常に優れています 。• 半導体産業における長年の経験に基づく炉の建設• 半導体、MEMS（微小電気機械システム）、PV（太陽電池）の大規模製造向けフル生産モデル• 研究開発や小規模なパイロット工場向けの特別仕様の小型モデル• 社内設計により高度な特別仕様を施した社内製造の最新型モジュール式制御システム• 優れた性能を持ち、長期間故障なしで使用できる炉装置を実現するために、常に最高品質の部品を選定• さまざまな処理に対応できる最大5段の石英製またはSiC（炭化ケイ素）製チューブ反応炉チャンバ• チューブごとの高度水冷システムにより、隣接するチューブ間での熱干渉なし• 非接触かつ全自動でボートをチューブにロードするカンチレバーまたはソフトローディング構成• メンテナンスが容易な機械設計焼きなまし－焼成－焼結拡散－気体ソースドライ酸化拡散－液体ソースウエット酸化（EBSはオプション）拡散－固体ソース高圧酸化ドライブインMore information underhttp://www.svcs.cz/http://www.svcs.cz/letters

Page 5:LPCVD/PECVDプロセスの概要特徴多結晶シリコンシリコン窒化膜ドープした多結晶シリコン低温酸化膜（LTO）金属酸化膜高温酸化膜（HTO）炭素・グラフェンTEOS（テトラエトキシシラン）酸化膜SVCSの低圧化学蒸着炉とプラズマ強化化学蒸着炉（LPCVD／PECVD）の設計は、真空システムや真空ポンプの主要メーカーとの提携による独自設計の真空システムを土台としています。個々のプロセス要件に応じて、複数の真空制御方式を利用できます。サービスエンジニアの協力のもと、すべての真空システムはメンテナンスが容易な機械設計に最適化されています。• さまざまな処理に対応できる最大4段の石英製チューブ反応炉チャンバ• 加熱・非加熱を問わず複数の方法による真空制御 -スロットリングバタフライバルブ－TBV -N2（窒素）バラスト -周波数コンバータを用いた真空ポンプ制御• 主要な真空ポンプメーカーとの提携による真空ポンプシステムの組み込み• 独自設計の水冷フランジ• 独自設計の、社内で組み立てたグラファイトウェハーキャリア• 非接触かつ全自動でボートをチューブにロードする、独自のセラミック封入ツインロッドシステムによるカンチレバー• 独自設計による社内製造のRFジェネレータ• ご要望に応じて、主要メーカーとの提携によるRFジェネレータの組み込み• 非接触かつ全自動でボートをチューブにロードする、ソフトランディング機能付きSiC製パドルカンチレバーMore information underhttp://www.svcs.cz/http://www.svcs.cz/letters

Page 6:技術仕様寸法例More information underhttp://www.svcs.cz/http://www.svcs.cz/letters ウェハーの大きさ 150 mm、200 mm、300 mm、または、あらゆる特別仕様のサイズウェハー搭載数ウェハー搭載フル生産時：100＋＋（太陽電池用は最大1,000／チューブ）研究開発用：10～25枚（標準例）)加熱システム 3または5ゾーンフラットゾーン フル生産時：最大1,067 mm（42“）研究開発用：最小300 mm（12“）フラットゾーン内で±0.5 °C処理温度 200～1,300 °C消費電力 95～165 kW（チューブ構成による）電源 150 mm：3相、交流400または480 V、140 A、50または60 Hz200 mm：3相、交流400または480 V、160 A、50または60 Hz（ システムは必ず各国固有の電力網に合わせて調整）クリーンドライエア 70～110 psig（4,8～7,6バール）冷却水 40～60 LPM排気 1チューブ当たり毎時210 m3オプション ボートエレベーターおよびウェハーハンドリングの自動化寸法は構成によって異なります。工場までお問い合わせください。研究開発用モデルは、すべてカスタム設計となります。チューブ 2チューブ 3チューブ 1チューブ 4ソースキャビネット 炉 ロードステーションスカベンジャー1300(D)800 (C) 2310 (B) 2500 (A)700(E)1000(F)1169 (G)1572 (H)2525(I)2620(J)2670(K)5610 (L)2643)M)

Page 7:バブラーEBS技術仕様技術仕様EBS（別名Ex-Torch）は、パイロジェニック酸化プロセスで使用する拡散炉の付属装置です。酸素中で水素を燃やすことにより、高純度の水蒸気を生成します。燃焼プロセスは外部の石英チャンバ内で行われるので、プロセスチューブのソースゾーンが水素炎の影響を受けることはありません。半導体や太陽電池の製造プロセスに用いられる最新の反応成分の多くは、液相でしか入手することができません。これを技術的に利用可能な状態にするために、適切な供給システムが採用されています。その方式の1つとして、ガス状媒質を液体に通すことで液体蒸気を捕捉する仕組みがあります。寸法（幅ⅹ高さⅹ奥行） 320 x 240 x 320 mm液体容器の直径 145～155 mm重量 15 kg最大消費電力 150 W最大加熱／冷却温度（周囲との差） ＋50 °C／－20 °C温度制御の安定性 ＋／－0.1 °C冷却能力 30 W特徴このシステムは、さまざまなサプライヤーが提供する一般的に使用されているすべての化学薬品容器に対応しています。さらに、特別な用途に合わせて製造された希少な型に合わせて調節することも可能です。特徴水素の自然発火温度までの加熱は、電気抵抗ヒーターによって行います。寸法（幅ⅹ高さⅹ奥行） 135 x 130 x 270 mm重量 3,5 kg供給電圧 230 V/50 Hz, 4,5 A使用温度範囲 0～50 °C先進的温度調節器外部燃焼システムMore information underhttp://www.svcs.cz/http://www.svcs.cz/letters

Page 8:ガスキャビネットSVCSは、さまざまなウェハー生産技術を対象とする特別仕様のガスパネルやガスシステム、さらには、さまざまな研究開発用カスタムパネルの製造において長年の経験を有しています。高水準の技術的設計、世界の主要メーカーから調達した部品、および、独立した安全機能を備えた自社開発の全自動制御システムを用いたSVCSのガスシステムは、市場屈指の優れた製品です。パネルはすべてクラス10／100のクリーンルームで製造され、溶接と組立ての後にはヘリウム漏れ試験を実施しています。専門的な設計と併せて、オービタル溶接システムに特殊な小型溶接ヘッドを使用することにより、パネルの内部体積を極めて小さくすることができます。特徴制御システムの特徴• タッチスクリーン表示を備えた全自動制御システム• 自動サイクルパージ• シリンダ圧力またはシリンダ重量の監視• 出力圧力監視用の圧力変換器• 過流防止スイッチ• 自動切り替えに用いるプログラム可能なシリンダ圧・重量の極限値• 外部デジタル入出力• さまざまな稼働モードに対応した複数のレベルのパスワード保護• LAN接続用のイーサネットインターフェイスオプション内容• 有毒ガスの存在の監視• 同軸チューブの外壁内の圧力の監視More information underhttp://www.svcs.cz/http://www.svcs.cz/letters シングルシリンダ用GC（ガスキャビネット）デュアルシリンダ用GC 3本シリンダ用GCバルブマニホールドボックス（VMB）製品構成

Page 9:使用例液体供給化学薬品制御パネル全体がプラスチックでできた専用の液体・気化ガス取扱供給システムは、流体を安全かつ清浄に取り扱うために、プロセス反応炉と媒質ソースの間のインターフェースとして開発されました。このパネルの重要な機能は、容器内の圧力の監視と、過圧時の自動排気です。使用点で用いる容器には、経済的な大容量の化学薬品ソースから詰め替えを行います。このような大容量の液体供給システムを用いることにより、膨大な数の小容量容器を取り扱う必要がなくなり、化学媒質を安全に、かつ自動で連続的に使用できるようになります。More information underhttp://www.svcs.cz/http://www.svcs.cz/letters SVCSは、UHP（超高純度）液体化学物質を安全かつ全自動でプロセスに供給するための、高度なソーシング・供給システムを開発してきました。液体ソーシングシステムにはさまざまな構成のものがありますが、一般的には、さまざまな液体化学物質が使用するあらゆる型のキャニスターに合うようにカスタマイズした単独または二層コンテナキャビネット型になっています。ソーシングシステムは、容器内の液体の上部の空間に適切なプッシュガスを充填して加圧した液体を供給します。用途によっては、液体から希釈されたプッシュガスを取り除くために、オプションの脱気が必要な場合もあります。製造ニーズに合わせて液体を供給するために、緩衝タンクと液体VMB（バルブマニホールドボックス）を装着することもできます。POU 1 液体ラインPOU 2 液体ラインPOU n 液体ライン液体ソースシステム液体VMB（バルブマニホールドボックス）脱気システム（オプション）TMATETPOCl3BBr3TEOSTCSDMZ TEPOTMBTMPDEZ

Page 10:最新化More information underhttp://www.svcs.cz/http://www.svcs.cz/letters 最新化の範囲制御システムSVCSはサードパーティー製の機器の改修と最新化を手掛けています。専門は高温反応炉ですが、エピタキシー、乾式エッチング、イオン注入、各種の物理的・化学的蒸着などの処理に用いる、そのほかのウェハー処理工程用ツールの大半が作業対象となります。SVCSのモジュール式制御システムは、横型と縦型の両方の熱反応炉として構成することができるハードウェア、ソフトウェア、入出力インターフェースと、さらには、半導体産業で用いられるその他の機器を組み合わせたものです。このシステムは、SVCS製の新しい機器だけでなく、他メーカーの製品を改修したツールにもすぐに取り付けることができます。プロセス制御アプリケーション用の安定的で信頼性が高いプラットフォームとしてLinuxのオペレーションシステム（OS）が選択されており、オペレーターは複数のパスワード構成を通じて利用することができます。レシピ開発やプロセスデータ処理など、多様な業務を遂行するための強力なツールを工場管理者やプロセスエンジニアに提供する目的で、Windowsを用いた追加のソフトウェアパッケージを開発済みです。システムとの通信はTCP／IPネットワークに基づいているので、ユーザーはこのプログラムを遠隔アクセスなど、さまざまな方法で使うことが可能です。主な特徴の1つは、これをSECSプロトコルによる通信をはじめ、さまざまな高度の製造管理システムに組み込めることです。制御システム 機械部品 ガス供給 真空システム

Page 11:トータルソリューションMore information underhttp://www.svcs.cz/http://www.svcs.cz/letters SVCSは、単なる熱反応炉と超高純度供給システムのメーカーではありません。経験豊富なサービス技術者のチームが、世界中で設置・接続サービスを提供しています。UHP（超高純度）部品－チューブ材料、取付器具、バルブ、圧力調整器、フィルター・清浄器、MFC（マスフローコントローラ）など－の各分野の優良メーカーと提携して、SVCSのお客様に真の総合ソリューションを提供します。さらに、SVCSは高純度ガス・液体の配管に加えて、すべての機器を単一の監視ソフトの下に組み入れることも行っています。状態に関する複合的な情報をユーザーに提供するため、単一のソフトウェアパッケージ内でガスキャビネット、液体供給システム、プロセス機器、および洗浄装置を監視します。最後になりますが大切なこととして、SVCSは市場で入手できるほとんどのマスフローコントローラ（MFC）について、修理サービスと併せて認定キャリブレーションも提供しています。信号伝達／データ通信プロセスガスライン真空プロセス排気ポンプ排気排気／パージガスラインGAS CABINET GAS PANELS GAS ABATEMENTPROCESS TOOLSUPERVISORUHP（超高純度）取付器具 バルブと圧力調整器 清浄器フィルター UHP（超高純度）チューブ材料 マスフローコントローラ

Page 12:オーストラリアマレーシア台湾中国韓国日本ロシアトルコエジプトアメリカ合衆国ドイツインドチェコ共和国欧州連合（EU）欧州地域開発基金実施プログラム：競争力向上のための事業とイノベーションプロセスイノベーション Инновационные ПроцессыSVCS Process Innovation s.r.o.本社：Optátova 37, 637 00 Brno, チェコ共和国電話：＋420 541 423 211・ファックス：＋420 541 221 580電子メール：info@svcs.eu, www.svcs.eu生産工場：Zámecká 133, 757 01 Valašské Meziříčí, チェコ共和国電話：＋420 517 070 010・ファックス：＋420 577 700 009