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【展示会レポート】SEMICON Japan 2017

ホワイトペーパー

2017年12月13日~12月15日に東京ビッグサイトで開催された「SEMICON Japan 2017」。

エレクトロデバイス製造の設計からウェーハ製造、ウェーハプロセスまでの製品・サービス、製造の後工程、製造に関連する部品・材料などが集まる、半導体製造サプライチェーンの総合展示会です。

今回も各ブースで伺った話を、写真とともにまとめました。ぜひダウンロードして、報告書や同僚との情報共有、振返りなどにご活用ください!

【掲載企業】
株式会社ディスコ、Levitronix Japan株式会社、ミニマルファブ、横河ソリューションサービス株式会社、株式会社三友製作所、CKD株式会社、株式会社ジェーイーエル、株式会社堀場製作所 / 株式会社堀場エステック / 株式会社堀場アドバンスドテクノ、日本分光株式会社、株式会社巴商会、バンドー化学株式会社、日本電子株式会社、株式会社高田工業所、パナソニック株式会社、JSR株式会社

このカタログについて

ドキュメント名 【展示会レポート】SEMICON Japan 2017
ドキュメント種別 ホワイトペーパー
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登録カテゴリ
取り扱い企業 株式会社アペルザ (この企業の取り扱いカタログ一覧)

このカタログの内容

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SEMICON Japan 2017 展示会レポート 2017/12/13 (水)~ 2017/12/15(金) 2017年12月22日発行 株式会社アペルザ
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SEMICON Japan 2017 / 掲載企業 株式会社ディスコ Levitronix Japan株式会社 ミニマルファブ 横河ソリューションサービス株式会社 株式会社三友製作所 CKD株式会社 株式会社ジェーイーエル 堀場製作所 / 堀場エステック / 堀場アドバンスドテクノ 日本分光株式会社 株式会社巴商会 バンドー化学株式会社 日本電子株式会社 株式会社高田工業所 パナソニック株式会社 JSR株式会社 2
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SEMICON Japan 2017 / 概要 SEMICON Japanとは エレクトロデバイス製造の設計からウェーハ 製造、ウェーハプロセスまでの製品・サービ ス、製造の後工程、製造に関連する部品・材 料などが集まる、半導体製造サプライチェー に ンの総合展示会です。 名称 SEMICON Japan 2017 公式サイト http://www.semiconjapan.org/jp/ Aperza Catalog 特集ページ 2018年1月5日公開予定 会期 平成29年12月13日(水)~15日(金)3日間 会場 東京ビッグサイト 主催 SEMI 出展社数 752社・団体 12月13日(水)21,579名 12月14日(木)23,616名 来場者数 12月15日(金)22,418名 合計67,613名 3
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SEMICON Japan 2017|後工程・総合ゾーン スループット約50%向上! 「KABRA」プロセスの完全自動化『KABRA!zen』 株式会社ディスコ ディスコは、作業者によるワークの置き換えが必要な工程搬送を完全自動化したシステム 『KABRA!zen』を披露。自動化によりスループットが約50%向上するという。その他、 1カセット内のウェハーを自動で振り分けて並列加工を行う「並列加工搬送システム」や、 省スペースレイアウトを実現するフルオートマチックダイシングソーなどを出展した。 出展内容 ■「KABRA(カブラ)」プロセス全自動化システム『KABRA!Zen(ゼン)』(参考出展) ■並列加工搬送システム(参考出展) ■フルオートマチックダイシングソー『DFD6561』(参考出展) など 企業の公式サイトはこちら↓ Aperza Catalogで企業の詳細をチェック↓ http://www.disco.co.jp/jp/index.html https://www.aperza.jp/company/page/7121/ 4
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ディスコ / 注目の製品 「KABRA(カブラ)」プロセス全自動化システム 『KABRA!zen(ゼン)』 レーザ加工によるインゴットスライス手法「KABRA(カブラ)」プロセスに必要なレーザ照射、ウェーハ剥離、 指定厚仕上げ研削、インゴット上面研削の一連の工程を完全フルオートメーション化する『KABRA!zen』。 加工時間の大幅な短縮と素材ロスの低減が可能になるという。諸条件に応じて各工程の装置数をカス タマイズすることができ、マニュアルタイプを導入している場合でも後付けによる全自動化が可能。 総合カタログの詳細はこちら↓utm_campaign=cluez_ex134_132_20170309&utm_source=ex_report&utm_medium=pdf&utm_content=praaaaaaaaaaaoduct01 https://www.aperza.jp/catalog/page/7121/19025/z?utm_campaign=cluez_ex371_20171225&utm_source=ex_report&utm_medium=pdf&utm_content=general01 総合カタログ 5
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ディスコ / 注目の製品 「並列加工搬送システム」 1カセット内のウェハーを専用トレイに収納し自動で振りz分けて、並列加工を行う搬送システムの提案。加工後は再びカセットへ戻る。カセット単位でのスループットと稼働率の向上、人的ミスの低減が見込まれる。 フルオートマチックダイシングソー 『DFD6561』 側面ではなく、前面から全てのメンテナンスを行える省スペースレイアウトのフルオートマチックダイシングソー。 従来モデルと比べ、フットプリントが16%削減できるとzいう。新型高剛性スピンドル採用で加工の安定性も向上。 6
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注目の製品:1ページに製品写真が2枚、製品名が2行、URL2つのとき SEMICON Japan 2017|前工程ゾーン 磁気浮上技術を採用する画期的なポンプ Levitronix Japan株式会社 磁気浮上の原理によってロータが浮上し、モータの磁 モータの回転磁界により駆動する遠心ポンプ。電子的 界で非接触のまま回転するスピンシステム。 に回転数のコントロールが可能。最高吐出量280L/分。 機械的接触部分がないため微粒子発生がなく、モー 磨耗の恐れがある軸受がなく、液漏れの可能性が タ・磁気軸受一体型デザインなので汚染リスクもない。 ある軸封も使用しない活気的な小型の遠心ポンプ。 企業の公式サイトはこちら↓ Aperza Catalogで企業の詳細をチェック↓ https://www.levitronix.com/ja/ z https://www.aperza.jp/company/page/2344/ 7
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注目の製品:1ページに製品写真が2枚、製品名が2行、URL2つのとき SEMICON Japan 2017|前工程ゾーン 設備投資はメガファブの1/1000、ミニマルファブ構想 ミニマルファブ 既存の半導体工場に必要な巨大な設備投資額を、そ 超小型、半導体製造生産システムのミニマル装置。 の1/1000程度に抑えることを目指すミニマルファブ。 少量生産、低コスト、短期間生産を実現する。 φ12.5mmのウェハ1枚を密閉搬送するミニマルシャト ミニマル装置の組み立てを一通り行うデモ。電気系・ ルと、シャトルを開閉するマニュアルオープナー。 空気圧系の組み付けを実施中。 公式サイトはこちら↓ http://www.minimalfab.com/ z 8
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注目の製品:1ページに製品写真が2枚、製品名が2行、URL2つのとき SEMICON Japan 2017|前工程ゾーン コントローラ部を標準化した、ミニマル製造装置の『μFIXコントローラ』 ミニマルファブ 展示会用にスケルトンで構成されたミニマル装置 産業用パネルPCをベースに、ミニマル装置のコント (集光加熱炉)。 ロール用に開発された『μFIXコントローラ』。 ミニマルシャトルの下側容器に載ったハーフインチ コントローラ部を標準化した『μFIXコントローラ』は、表示、 ウェハに加熱を行うデモ。 操作、多軸同期モーション制御、画像処理など可能。 公式サイトはこちら↓ http://www.minimalfab.com/ z 9
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注目の製品:1ページに製品写真が2枚、製品名が2行、URL2つのとき SEMICON Japan 2017|ミニマルファブパビリオン トータルサポート「ミニマルファブまるごとソリューション」 横河ソリューションサービス株式会社 多品種少量生産を可能にする、超小型装置群による ミニマルファブの導入準備から導入、運用・保守まで 半導体のミニマルファブ。 トータルでサポートする「まるごとソリューション」。 横河電機本社内にある横河ミニマルアプリケーショ ミニマル装置(RCA洗浄装置〔両面〕)。合計21機種 ンラボでは、ミニマル装置やデモの見学が可能。 (2018年)のミニマル装置をラボ内に設置。 企業の公式サイトはこちら↓ Aperza Catalogで企業の詳細をチェック↓ https://www.yokogawa.co.jp/yjp/corporate/ z https://www.aperza.jp/company/page/5852/ 10
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注目の製品:1ページに製品写真が2枚、製品名が2行、URL2つのとき SEMICON Japan 2017|ミニマルファブパビリオン 高速・局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置 株式会社三友製作所 Si基板10μm/分以上の高速加工を実現する卓上プ 洗浄液が不要な環境負荷の少ないドライクリーニン ラズマエッチング装置。独自技術で局所加工が可能。 グ法を採用した卓上サンプルクリーナー。 半導体故障解析試料の前処理(配線の露出)から各 電子顕微鏡観察時に試料表面に付着したハイドロカー 種プラズマ加工に幅広く対応するという。 ボンを除去し、コンタミネーションの生成を低減する。 企業の公式サイトはこちら↓ http://www.sunyou-ss.co.jp/ z 11
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注目の製品:1ページに製品写真が2枚、製品名が2行、URL2つのとき SEMICON Japan 2017|前工程ゾーン どこでも圧縮空気、キャリアブルエアサプライユニット CKD株式会社 圧縮空気が必要な所に持ち運びできるユニット。フィル 積み木を吸着し搬送するデモ。同社のエアハンド、電動 タ、レギュレータ、圧力センサ、サイレンサなどが1つに。 シリンダー、ダイレクトドライブモーターなどを使用。 プロセスガス供給ラインを標準化されたパーツでコンパ エアーを使用した助力装置のパワフルアーム。先端 クトに集積する、集積化ガス供給システム。 のロードセルで重量を感知する。 企業の公式サイトはこちら↓ z Aperza Catalogで企業の詳細をチェック↓http://www.ckd.co.jp/ https://www.aperza.jp/company/page/51/ 12
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注目の製品:1ページに製品写真が2枚、製品名が2行、URL2つのとき SEMICON Japan 2017|前工程ゾーン テープフレーム搬送ロボットなど 株式会社ジェーイーエル カセットスロットに収納されたテープフレームへラン ウェーハの微細化に伴い、低振動、高クリーン度を実 ダムにアクセスする、テープフレーム搬送ロボット。 現する真空搬送ロボット。参考出展。 モールド角基板をチャック上でアライメントし高精度 プロストキャリア対応自動移載システム。薄物ウェー に搬送する、アライメント機能付きロボット。 ハを自動で搬送する。 企業の公式サイトはこちら↓ z Aperza Catalogで企業の詳細をチェック↓https://www.jel-robot.co.jp/ https://www.aperza.jp/company/page/2335/ 13
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注目の製品:1ページに製品写真が2枚、製品名が2行、URL2つのとき SEMICON Japan 2017|前工程ゾーン 8成分をリアルタイムに測定、薬液濃度モニタ 堀場製作所 / 堀場エステック / 堀場アドバンスドテクノ 半導体製造工程で使用される混合液の各成分濃度 濃度換算機能搭載、スラリー濃度の管理に適したフ を測定。最大8成分をリアルタイムに測定できる。 ラットカーボン導電率計。 独自の光学システムを改良し、混酸中の成分濃度 手持ちの電子顕微鏡に搭載するだけで、半導体な に対して従来比5倍の高精度測定を実現するという。 どの不純物や欠陥評価が可能なシステム。 堀場グループの公式サイトはこちら↓ z Aperza Catalogで堀場製作所の詳細をチェック↓http://www.horiba.com/jp/ https://www.aperza.jp/company/page/410/ 14
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注目の製品:1ページに製品写真が2枚、製品名が2行、URL2つのとき SEMICON Japan 2017|前工程ゾーン 高空間分解・高拡張性を実現するラマン分光光度計 日本分光株式会社 同社では汎用分析機器をベースに、ユーザーが抱え 非破壊・非接触で、Siウェーハの網膜測定やSi中の る問題をカスタムメイドで解決するという。 不純物軽元素濃度の自動測定が可能。 幅広いアプリケーションに対応する焦点距離300mmの FTIRと『AYT12-4000』(写真)、専用ソフトウェアでマッ 高性能モノクロメーターを採用したラマン分光光度計。 ピング測定が自動で行える。 企業の公式サイトはこちら↓ Aperza Catalogで企業の詳細をチェック↓ https://www.jasco.co.jp/ z https://www.aperza.jp/company/page/3776/ 15
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注目の製品:1ページに製品写真が2枚、製品名が2行、URL2つのとき SEMICON Japan 2017|前工程ゾーン 容器元弁遮断装置、バルブシャターシリーズ 株式会社巴商会 地震やガス漏洩が発生した際に、キャビネットを開け 日常の「開閉」動作に適したオートバルブシャッター。 なくてもすぐに容器の元弁を「閉」にできる遮断装置。 「開、閉、取付不良」の状態信号の外部出力が可能。 緊急時に閉めたい場合に適したバルブシャッター。元 LEDバックライト搭載のLCDを採用した、シンプルでス 弁遮断駆動力にゼンマイバネを使用。 マートな『スマキャビ』(左)と『スリム型スマキャビ』(右)。 企業の公式サイトはこちら↓ http://www.tomoeshokai.co.jp/ 16
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注目の製品:1ページに製品写真が2枚、製品名が2行、URL2つのとき SEMICON Japan 2017|部品・材料ゾーン 低温焼結性能、高電導性に優れた金属ナノ粒子インク バンドー化学株式会社 室温〜120℃の低温焼結が可能な金属ナノ粒子イン 高研磨レートと低仕上粗さを両立した、ラッピング工 ク。プリンテッドエレクトロニクスに最適。 程用の研磨パッド。スマホのカバーガラスなどに。 L=3μm、オフセット印刷例。水系、有機溶剤系のライ 独自設計が施された固定砥粒型のダイヤモンドパッド。 ンアップでインクジェット、フレキソなど各種対応可能。 ガラス基板研磨用(左)とサファイア基板研磨用(右)。 企業の公式サイトはこちら↓ z Aperza Catalogで企業の詳細をチェック↓http://www.bandogrp.com/ https://www.aperza.jp/company/page/4909/ 17
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注目の製品:1ページに製品写真が2枚、製品名が2行、URL2つのとき SEMICON Japan 2017|部品・材料ゾーン 40.5pmを達成! 超高分解能電子顕微鏡 日本電子株式会社 自社開発の収差補正装置を組み込んだ原子分解能 視野セットからレポート作成まで、分析業務のため 電子顕微鏡。高分解能な観察・分析が可能。 のソフトが一つになった最新鋭の走査電子顕微鏡。 顕微鏡世界最高という40.5pm(ピコメートル)の分解 超高空間分解能、マルチパーパスに加え、使い勝手 能を達成。 が向上したショットキー電界放出形走査電子顕微鏡。 企業の公式サイトはこちら↓ Aperza Catalogで企業の詳細をチェック↓ https://www.jeol.co.jp/ z https://www.aperza.jp/company/page/413/ 18
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注目の製品:1ページに製品写真が2枚、製品名が2行、URL2つのとき SEMICON Japan 2017|後工程・総合ゾーン 丸ごと精密切断が可能、断面観察用超音波カッティング装置 株式会社高田工業所 超音波カッティングの切断面研磨効果で、切断面が 上下どちらでも照射可能な、卓上型UV照射器。マイ 研磨断面のように。難切材も1度でカットする。 コン制御、液晶画面で使いやすい操作性。 最新スマホなどのカッティングサンプル。不良箇所の 低発熱で人体にも優しいブラックランプを使用。低ラ 解析や、量産製品の品質改善、工程内品質管理に。 ンニングコストを実現するという。 企業の公式サイトはこちら↓ Aperza Catalogで企業の詳細をチェック↓ http://www.takada.co.jp/ z https://www.aperza.jp/company/page/2392/ 19
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注目の製品:1ページに製品写真が2枚、製品名が2行、URL2つのとき SEMICON Japan 2017|WORLD OF IOT 超音波で検知する流量計など、水素デバイスソリューション パナソニック株式会社 3つの水素デバイスの内の1つ、水素を含む気体の 超低消費電力によりワイヤレス通信とバッテリ駆動 流量を計測する超音波気体流量計(開発中)。 が可能な、IoT対応水素検知センサ(開発中)。 流れにより変化する超音波伝送時間を測定。気体の平 燃えても目に見えない水素炎を可視化する、紫外光 均分子量の推定、気体成分・種類の変化を検知する。 検知水素炎可視化カメラ(開発中)。新材料使用。 企業の公式サイトはこちら↓ z Aperza Catalogで企業の詳細をチェック↓https://www.panasonic.com/jp/business.html https://www.aperza.jp/company/page/578/ 20