卓上除振台シリーズ

PORTABLE VIBRATION ISOLATION PLATES　　No.E-1134 卓上エアー除振台 RoHS対応 材　質 ボディ：SPHC　　 表面処理 塗装 ●自動レべリング機能が付いており、偏荷重に対応できる除 振台です。 ●対象となる振動にあわせて仕様をお選び頂けます。 ●測定ジグとの組合せもできます。 W ■仕様・価格表 許容荷重 オーダーNo. No. Ｄ Ｗ Ｈ 高さ調整量 固有振動数 [Hz] 質量kg 価格 N kgf 127491 VAS4148H 2.5 15 212,000 414 482 58.5 ±3 0～1170 0～120 127492 VAS4148E 6 10 152,000 ※固有振動数は最大の許容荷重を加えた時の値（計算値）です。 ■特性データ ※防振機能による振動の増減を表します。 ※例えば振動伝達率が0.1倍の場合、振動が0.1倍に減衰、2倍の場合、振動が２倍に増減します。 ※実測に基づく計算値です。 1 H D

■オプション　専用アルミテーブル 材　質 本体：A5052　インサートスクリュー：SUS304　 表面処理 アルマイト ●卓上エアー除振台専用のアルミテーブルです。 ●タップ穴を利用してジグパーツなどを取付けできます。 (▽▽） Ｄ K L K φ９ E ピッチF×G E A ■仕様・価格表 オーダーNo. No. A B C D E F G H I 128697 VAS4148-SB 482 414 15 M8 15 50 10 30 50 No. J K L M N 質量kg 価格 VAS4148-SB 8 90 300 55 300 8.0 157,000 ■使用例 測定ジグのベースとして利用できます。 2 B H ピッチI×J H M N M C

LOW-FLOOR TYPE VIBRATION ISOLATED PLATES　　No.E-9272 低床除振台VLS RoHS対応 材　質 除振マウント部：ABS樹脂　 除振台：SPCC 表面処理 除振台：黒色電着塗装 ●機器の設置面高さは約16mmです。 ●振動を嫌う精密機器に最適です。 床やテーブルから伝わる振動を減衰することにより、高倍率 の顕微鏡、表面粗さ計など精密検査機器の性能が発揮でき ます。 ●高さ調整ダイヤルの操作で水平調整が簡単にできます。 注意事項 ・ 除振台は水平な場所に設置してください。 ・ 許容荷重を外れますと、除振性能が発揮できません。 ・ 天面に垂直に荷重が掛かるように設置してください。 ・ 防振マウントに均等に荷重がかかるように設置してください。 偏荷重対応に関しましては、別途相談ください。 C D 高さ調整ダイヤル ■サイズ・仕様表 No. A B C D E F 固有振動数[Hz] 質量kg VLS3045-***L 8.6 450 466 300 463 VLS3045-***HD 8.8 16～26 VLS3858-***L 13.6 580 596 380 543 66～76 6 VLS3858-***HD 13.8 VLS4560-***L 17.5 600 616 450 613 17～27 VLS4560-***HD 17.7 ■ミツトヨ様適合機種表 低床除振台No. 適合機種 型番 VLS3045-SJ401 ※1 SJ-411 VLS3045HD-SJ411※1 小型表面粗さ測定機 SJ-412 SJ-410シリーズ用簡易スタンド(178-039) VLS3858-070HDM ※2 微小硬さ試験機 HM-100シリーズ： HM101,102,103 HM-200シリーズ： HM210,220 SV-3200S4,H4,S8,H8 表面粗さ測定機 SV-C3200S4,H4,S8,H8 SVC4500S4,H4,S8,H8 SJ500用据え置きスタンド(178-085) VLS4560-SH CV-3200S4,H4,S8,H8 輪郭形状測定器 CV-4500S4,H4,S8,H8 CV-2100N4用据え置きスタンド(218-042) ※1　振動をより小さくしたい場合は除振性能が優れるVLS3045-SJ401を選定してください。測定物を頻繁に交換する場合は、交換後の装 置の揺れが早く収まるVLS3045-HD-SJ411タイプを選定してください。 ※2　VLS3858-070HDMは転倒防止用に取付け穴が加工してあります。 3 E A F B

■仕様･価格表 許容荷重 オーダーNo. No. 価格 オーダーNo. No. 価格 kg N 998090 VLS3045-010L 77,500 116911 VLS3045-010HD 92,000 5～ 12 49～ 117 998091 VLS3045-020L 78,000 116912 VLS3045-020HD 92,500 10～ 25 98～ 245 998092 VLS3045-030L 78,500 116913 VLS3045-030HD 93,000 22～ 48 216～ 470 998093 VLS3045-070L 79,000 116914 VLS3045-070HD 94,000 47～ 95 460～ 931 998094 VLS3045-100L 80,000 116915 VLS3045-100HD 94,500 70～135 686～1323 998095 VLS3858-003L 81,000 116916 VLS3858-003HD 95,500 0～ 7 0～ 68 998096 VLS3858-010L 82,000 116918 VLS3858-010HD 96,500 5～ 20 49～ 196 998097 VLS3858-030L 82,500 116919 VLS3858-030HD 97,000 16～ 42 157～ 412 998098 VLS3858-070L 83,000 116920 VLS3858-070HD 97,500 40～ 90 392～ 882 998099 VLS3858-100L 83,500 116921 VLS3858-100HD 98,000 60～130 588～1274 105825 VLS4560-030L 103,000 116922 VLS4560-030HD 118,000 11～ 38 108～ 372 105826 VLS4560-070L 103,000 116923 VLS4560-070HD 118,000 37～ 89 363～ 872 105827 VLS4560-100L 104,000 116924 VLS4560-100HD 119,000 55～126 539～1234 ※ 末尾Ｌは標準タイプ、HDは高減衰タイプになります。 ■ミツトヨ様仕様 オーダーNo. No. A B C D E F※1 許容荷重Ｎ 質量kg 価格 100927 VLS3045-SJ401 450 466 300 458 16～26 66～76 258～ 590 8.6 79,000 120298 VLS3045HD-SJ411 450 466 300 458 16～26 66～76 258～ 590 8.8 94,000 119033 VLS3858-070HDM 580 596 380 543 16～26 66～76 392～ 882 13.8 99,000 102931 VLS4560-SH 600 616 450 613 17～27 66～76 863～1881 18.0 119,000 ※１　高さ調整ダイヤル下限時での使用高さとなります。（高さ調整範囲＋5㎜） ■（L 標準）タイプとHD（高減衰）タイプの違い ■振動波形 Lタイプ HDタイプ 振動減衰効果 ◎ 〇 VLS-HD 揺れの収束時間の短さ 〇 ◎ VLS-L 固有振動数での振動増幅の小ささ 〇 ◎ 振動をより小さくしたい場合は除振性能が優れるLタイプを選定して ください。 搭載する装置を頻繁に操作する場合は、操作後の装置の揺れが早 く収まるHDタイプを選定してください。 ■振動伝達率 VLS-L VLS-L VLS-HD VLS-HD 4

INSULATED BASE　　No.E-9272 除振台VPG RoHS対応 材　質 除振マウント部：ABS樹脂　 除振台：白御影石 表面処理 除振台：磨き仕上 ●振動を嫌う精密機器に最適です。 床やテーブルから伝わる振動を減衰することにより、電子天 秤や粘度計や表面粗さ計など精密検査機器の性能が発揮 できます。 ●高さ調整ダイヤル操作で水平調整が簡単にできます。 ■使用例 A 高さ調整ダイヤル ■（L 標準）タイプとHD（高減衰）タイプの違い Lタイプ HDタイプ 振動減衰効果 ◎ 〇 注意事項 揺れの収束時間の短さ 〇 ◎ ・ 除振台は水平な場所に設置してください。 固有振動数での振動増幅の小ささ 〇 ◎ ・ 許容荷重を外れますと、除振性能が発揮できません。 振動をより小さくしたい場合は除振性能が優れるLタイプを選定して ・ 天面に垂直に荷重が掛かるように設置してください。 ください。 ・ 防振マウントに均等に荷重がかかるように設置してください。 搭載する装置を頻繁に操作する場合は、操作後の装置の揺れが早 偏荷重対応に関しましては、別途相談ください。 く収まるHDタイプを選定してください。 ■サイズ・仕様表 No. A B C D 固有振動数[Hz] 質量kg VPG2836-***L 8.5 280 360 VPG2836-***HD 8.7 VPG3545-***L 13.6 350 30 69～79 6 VPG3545-***HD 13.8 450 VPG4045-***L 15.1 400 VPG4045-***HD 15.2 ■仕様･価格表 許容荷量 オーダーNo. No. 価格 オーダーNo. No. 価格 kg N 117847 VPG2836-007L 66,500 118217 VPG2836-007HD 81,000 2.5 ～ 12 25 ～ 118 117848 VPG2836-020L 67,000 118218 VPG2836-020HD 82,000 9 ～ 25 88 ～ 245 998100 VPG3545-003L 73,500 116925 VPG3545-003HD 88,500 0 ～ 7 0 ～ 69 998101 VPG3545-010L 74,500 116926 VPG3545-010HD 89,000 5 ～ 20 49 ～ 196 998102 VPG3545-030L 75,000 116927 VPG3545-030HD 89,500 16 ～ 42 157 ～ 412 998103 VPG3545-070L 76,000 116928 VPG3545-070HD 90,000 40 ～ 90 392 ～ 882 998104 VPG3545-100L 76,500 116929 VPG3545-100HD 91,000 60 ～ 130 588 ～ 1274 998105 VPG4045-003L 76,500 116930 VPG4045-003HD 91,000 0 ～ 6 0 ～ 59 998106 VPG4045-010L 77,000 116931 VPG4045-010HD 91,500 5 ～ 18 49 ～ 179 998107 VPG4045-030L 77,500 116932 VPG4045-030HD 92,000 15 ～ 40 147 ～ 392 998108 VPG4045-070L 78,000 116933 VPG4045-070HD 92,500 40 ～ 90 392 ～ 882 998109 VPG4045-100L 78,500 116934 VPG4045-100HD 93,000 60 ～ 125 588 ～ 1225 ※末尾Ｌは標準タイプ、HDは高減衰タイプになります。 D:レベリング下限時での使用高さとなります。（高さ調整範囲＋5mm） 5 C B D

VIBRATION ISOLATION MOUNT　　PAT.P No.E-9923 中量マウント RoHS対応 材　質 ケース：黒色ABS樹脂　スプリング：ステンレス　 ネジ部：真鍮　防振材：粘弾性材 ●エアー源不要／メンテナンス不要 ●軽荷重領域26～352N（1マウント当り）に対応。 ●水平8Hz／鉛直9Hzからの周波数領域の防振・除振ができ ます。 ●扱いやすい高さ調整ダイヤル付（調整高さ5mm） ●積載荷重に関係なくマウントサイズは同一です。 はめ込み 0.5 凸 φ56 ■（L 標準）タイプとHD（高減衰）タイプの違い φ41 M6 Lタイプ HDタイプ 振動減衰効果 ◎ 〇 揺れの収束時間の短さ 〇 ◎ P.C.D φ57 高さ調整 固有振動数での振動増幅の小ささ 〇 ◎ ダイヤル 3-φ4.2 振動をより小さくしたい場合は除振性能が優れるLタイプを選定して 120°等配 ください。 φ66 極低頭ボルト M4×6L （付属品） 搭載する装置を頻繁に操作する場合は、操作後の装置の揺れが早 ※高さ調整ダイヤル下限時 く収まるHDタイプを選定してください。 ■仕様･価格表 積載可能荷重 オーダーNo. No. シール色 価格 kg N 998085 BMM040L 10,300 灰色 2.6～ 5.2 26～ 51 116906 BMM040HD 14,100 998086 BMM060L 10,400 黄色 4.2～ 8.4 42～ 82 116907 BMM060HD 14,200 998087 BMM100L 10,500 青色 7.0～14.0 69～137 116908 BMM100HD 14,300 998088 BMM200L 10,700 赤色 13.4～26.8 132～262 116909 BMM200HD 14,400 998089 BMM270L 10,800 緑色 18.0～36.0 177～352 116910 BMM270HD 14,500 注意：BMM＊＊＊HDが高減衰タイプとなります。 ■使用例 ■振動波形 波動波形（鉛直方向） 加 速 度 （cm/s2） 時間（sec） ■振動伝達率 伝達率（水平方向） 伝達率（鉛直方向） 振 動 振 伝 動 達 伝 率 達 （dB） 率 （dB） 周波数（Hz） 周波数（Hz） 6 4 21 6.5 59.5 ～ 69.5 ※使用高さ

INSULATED BASE　　No.E-9272 除振台VLS・VPGによる改善事例 RoHS対応 ■粗さ計の測定値が安定しない 振動源：コンプレッサー ●対策前 ●対策後 【テストピース測定データ】 【テストピース測定データ】 使用写真 ●対策前 ●対策後 テストピース：Ra　2.94μm テストピース設置台上の テストピース設置台上の 振動測定データ（時間軸波形） 振動測定データ（時間軸波形） 5gal 振 振 動 加300gal 動 加300gal 速 速 度 度 時間 時間 ■マイクロスコープのモニター画像がぶれる 振動源：プレス加工機 ●対策前 ●対策後 【モニター画像】 【モニター画像】 ●振動の影響を受けて焦点の合 ●振動が除去された鮮明な画像 使用写真 わない画像 7

■装置マイクロビッカ－ズ（高減衰タイプ事例） 問題：ステージ位置だし後の揺れが収まりにくい 除振台： VPG-L使用時 操作後の揺れが収まりにくい。 使用除振台型式：VLS3858-070HD 推奨装置 除振台： VPG-HD使用時 操作後の収束時間が短縮できた。 ●電子天秤 ●顕微鏡 ●硬さ試験機 装置が移動し制定性を要求される装置に最適です。 （揺れを早く収束させたい） VPG VLS BMM ■（L 標準）タイプとHD（高減衰）タイプの違い Lタイプ HDタイプ 振動減衰効果 ◎ 〇 揺れの収束時間の短さ 〇 ◎ 固有振動数での振動増幅の小ささ 〇 ◎ 振動をより小さくしたい場合は除振性能が優れるLタイプを選定してください。 搭載する装置を頻繁に操作する場合は、操作後の装置の揺れが早く収まるHDタイプを選定してください。 8

INSULATED BASE　　No.E-9272 パッド式除振台 RoHS対応 NEW ●電子天秤専用の除振台です。 ●本体の揺れを少なくする高減衰パッドを使用しています。 ●薄型設計採用。 ●エアー源不要/メンテナンス不要。 ●床やテーブルから伝わる振動を減衰することにより精密検 査機器の性能が発揮できます。 A ■仕様･価格表 オーダー№ № A B C D 許容荷重N 質量kg 価格 148752 VPG2836-GSP050 360 280 30 69 130 8.5 60,500 ■使用例 注意事項 ・ 除振台は水平な場所に設置してください。 ・ 許容荷重を外れますと、除振性能が発揮できません。 ・ 防振マウントに均等に荷重がかかるように設置してください。 9 C B D

ACTIVE BENCHTOP ISOLATOR　　No.E-9272 卓上型アクティブ除振台 RoHS対応 NEW ●0.7Hzから除振ができるアクティブ式除振台で小型超精密測 定機器に最適です。 ●3パターンのゲイン設定から調整できます。 ●自動レベリング機能搭載で偏荷重に対応できます。 ●除振方式：直列方式（アクチュエーターばね） ●アクティブ制御範囲：0.7～100Hz ●パッシブ制御範囲：最大1000Hz ●供給電源：90～220V 50/60Hz ■用途 ・ 干渉計システム ・ 操作プローブ顕微鏡（ＳＰＭ） ・ レーザー変位計システム ・ その他ナノレベルの各種分析・測定システム 522 260.4 504 538 ■仕様･価格表 許容荷重 オーダーNo. No. 固有振動数 N kgf Hz 搭載板仕様 質量kg 価格 139442 K-400 穴なし 都度見積 225～1470 23～150 0.6 25 139443 K-400M M6タップ25mmピッチ 都度見積 10 103 422 240 404 438