10nm 2.83L/min、半導体工場でISOクラス1～2 の環境測定に最適！AERO TRAK ナノ粒子カウンタ（CPC/凝縮粒子）
製品カタログ
Model 9001
■10nmの微粒子測定器をご検討の方
■圧縮空気内の10nm微粒子の管理をご検討の方
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 10nm 2.83L/min、半導体工場でISOクラス1～2 の環境測定に最適！AERO TRAK ナノ粒子カウンタ（CPC/凝縮粒子） |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1.4Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | ニッタ株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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9001
1
10nm 1µm
2.83L/min 0.1CFM
57,000,000 /ft³ @10%
0.07 /28.3L
DI
1m 10nm
5.7 Windows CE /
246 W 218 D 569 H mm
13.0kg
AC100-240V
15-35 0-90%
HEPA
USB / Ethernet Modbus TCP
10,000
USB / /
10,000
/ft³ /m³
1 99
1 9999
85d B @1m
x1 AC/DC 0-60V 1.5A
/ 2
PC USB TrakProLiteSecure WEB DL
WEB DL WEB DL
3m model 7950
FMS5