半導体製造用途の真空ソリューション

真空 半導体製造用途

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多様な真空、加圧技術を駆使した豊富な製品群をご 用意しております。 Busch 真空 半導体製造用途 3

当社は、どのような半導体プロセスにも対応で きる、豊富な製品群を揃えています。高信頼 性、低所有コスト、高性能な通信機能が必須の 産業はお任せください。

最適なソリューション。 どのようなアプリケーションでもお任せくだ さい。 • COBRA ドライスクリュー真空ポンプ • TORRI多段ルーツ真空ポンプ • VACTEST真空計 COBRA TORRI VACTEST ライトプロセス（ロードロックお よびトランスファーチャンバー、 メトロロジー、リソグラフィー） ● ● ● ミディアムプロセス (PVDプロセ ス、PVDプリクリーン、PTA、ス トリップ/アッシング、酸化エッ ● ● チング、シリコンエッチング) ハーシュプロセス (金属エッチン グ、インプラントソース、HDP、 CVD、RTP、エピタキシー、SA CVD、MO CVD、PE CVD、LP ● ● CVD、ALD) ● 最適 ◐ 適用可 Busch 真空 半導体製造用途 5

COBRA BA 0100 C ドライスクリュー真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、ベル型の構造、特許取得のセルフバランシングスクリ ュー、優れた運転品質、半導体および分析用途、殺菌、フリーズドライ、炉、薄膜 コーティング、ガス回収に最適 高効率性 所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイ ム、効率的な空冷方式 コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター COBRA BA 0100 C 設計排気速度 85 / 105 m³/h (50 / 60 Hz) 到達真空度 0.01 hPa (mbar) (50 / 60 Hz) 定格モーター出力 1.5 / 1.8 kW (50 / 60 Hz) 消費電力 (到達真空度時) 1.1 / 1.25 kW (50 / 60 Hz) 定格モーター回転数 3000 / 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 騒音値 (ISO 2151) 58 dB(A) (50 / 60 Hz) 窒素消費量 0 – 50 l/min 質量 120 kg 外形寸法 (L x W x H) 634 x 304 x 338 mm ガスインレット / アウトレット DN 50 KF / DN 40 KF • 空冷式 追加 • 横型ステンレス製サイレンサー 情報 • サイレントブロック内蔵キャスターホイール • PEPEオイルを充填済み 6 Busch 真空 半導体製造用途

アクセサリーとスペアパーツ – COBRA BA 0100 C COBRA BA 0100 C オイル量 0.12 l 0831800001 DN 40スプリング付き逆止弁、 SWPB素材 0973800028 Busch 真空 半導体製造用途 7

COBRA BC 0100/0200 F ドライスクリュー真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、ベル型の構造、特許取得のセルフバランシングスクリ ュー、優れた運転品質、ロードロック、トランスファーチャンバー、メトロロジ ー、リソグラフィー、PVD、ラピッドサーマルプロセスに最適 高効率性 所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイ ム、直接水冷方式、アイドリングモード機能 コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター COBRA BC 0100 F COBRA BC 0200 F 設計排気速度 100 m³/h 165 m³/h 到達真空度 0.01 hPa (mbar) 0.01 hPa (mbar) 定格モーター出力 1.5 kW 2.9 kW 消費電力 (到達真空時 / アイドル モード時) 1.3 kW 1.6 kW 定格モーター回転数 3600 min⁻¹ 4570 min⁻¹ 騒音値 (ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A) 使用水量 最小 1.0 l/min 最小 2.0 l/min 窒素消費量 0 – 50 l/min 0 – 50 l/min 質量 120 kg 130 kg 外形寸法 (L x W x H) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x 392 mm ガスインレット / アウトレット DN 50 KF / DN 40 KF DN 50 KF / DN 40 KF 8 Busch 真空 半導体製造用途

COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency ドライスクリュー真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、ベル型の構造、特許取得のセルフバランシングスクリ ュー、優れた運転品質、ロードロックおよびトランスファーチャンバー向けに最適 高効率性 最新のBusch VacBoostテクノロジー、所有コストの低さ、最低限のメンテナンス、 優れたアップタイム、直接水冷方式、インテリジェントなアイドリングモード コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター COBRA BC 0100 F Premium Efficiency COBRA BC 0200 F Premium Efficiency 設計排気速度 115 m³/h 175 m³/h 到達真空度 0.005 hPa (mbar) 0.005 hPa (mbar) 定格モーター出力 1.8 kW 2.9 kW 消費電力 (到達真空時 / アイドル モード時) 0.55 / 0.4 kW 0.7 / 0.5 kW 定格モーター回転数 3600 min⁻¹ 4570 min⁻¹ 騒音値 (ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A) 使用水量 1.0 l/min 2.0 l/min 圧縮された乾燥空気の消費量 25 l/min 25 l/min 質量 120 kg 130 kg 外形寸法 (L x W x H) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x 392 mm ガスインレット / アウトレット DN 50 KF / DN 40 KF DN 50 KF / DN 40 KF Busch 真空 半導体製造用途 9

COBRA BC 0101 F Premium Efficiency ドライスクリュー真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、ベル型の構造、特許取得のセルフバランシングスクリ ュー、優れた運転品質、ロードロックおよびトランスファーチャンバー向けに最適 高効率性 最新のBusch VacBoostテクノロジー、所有コストの低さ、最低限のメンテナンス、 優れたアップタイム、直接水冷方式、インテリジェントなアイドリングモード コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター COBRA BC 0101 F Premium Efficiency 設計排気速度 95 / 115 m³/h (50 / 60 Hz) 到達真空度 0.005 hPa (mbar) (50 / 60 Hz) 定格モーター出力 1.5 / 1.8 kW (50 / 60 Hz) 消費電力 (到達真空度時) 0.45 / 0.55 kW (50 / 60 Hz) 定格モーター回転数 3000 / 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 騒音値 (ISO 2151) 58 dB(A) (50 / 60 Hz) 使用水量 1.0 l/min 圧縮された乾燥空気の消費量 25 l/min 質量 115 kg 外形寸法 (L x W x H) 777 x 304 x 362 mm ガスインレット / アウトレット DN 50 KF / DN 40 KF 10 Busch 真空 半導体製造用途

COBRA BC 0101 G ドライスクリュー真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、ベル型の構造、特許取得のセルフバランシングスクリ ュー、優れた運転品質、ロードロック、トランスファーチャンバー、メトロロジ ー、リソグラフィー、PVD、ラピッドサーマルプロセスに最適 高効率性 インテリジェントな可変速ドライブ、所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、 優れたアップタイム、直接水冷方式 コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター、コントロールパネル搭載 COBRA BC 0101 G 設計排気速度 100 m³/h 到達真空度 0.01 hPa (mbar) 定格モーター出力 1.8 kW 消費電力 (到達真空度時) 1.1 kW 定格モーター回転数 3600 min⁻¹ 騒音値 (ISO 2151) 58 dB(A) 使用水量 1.0 l/min 質量 115 kg 外形寸法 (L x W x H) 520 x 300 x 340 mm ガスインレット / アウトレット DN 50 KF / DN 40 KF Busch 真空 半導体製造用途 11

COBRA BC 0600 F ドライスクリュー真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、ベル型の構造、特許取得のセルフバランシングスクリ ュー、優れた運転品質、メカニカルブースターポンプ搭載、ロードロックやトラン スファーチャンバー内のタスク、メトロロジー、リソグラフィー、PVD、ラピッド サーマルプロセスに最適 高効率性 所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイ ム、直接水冷方式 コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター COBRA BC 0600 F 設計排気速度 520 / 620 m³/h (50 / 60 Hz) 到達真空度 0.003 hPa (mbar) (50 / 60 Hz) 定格モーター出力 (バックポンプ) 1.5 / 1.8 kW (50 / 60 Hz) 定格モーター出力 (メカニカルブースタ ー) 4.0 / 4.4 kW (50 / 60 Hz) 消費電力 (到達真空時 / アイドルモード 時) 2.1 / 1.1 / 2.2 / 1.3 kW (50 / 60 Hz) 定格モーター回転数 (バックポンプ) 3000 / 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 定格モーター回転数 (メカニカルブースタ ー) 3000 / 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 騒音値 (ISO 2151) 62 dB(A) (50 / 60 Hz) 使用水量 3.0 l/min 窒素消費量 0 – 50 l/min 質量 315 kg 外形寸法 (L x W x H) 933 x 354 x 694 mm ガスインレット / アウトレット DN 63 ISO–K / DN 40 ISO–KF 12 Busch 真空 半導体製造用途

COBRA BC 0600 F Premium Efficiency ドライスクリュー真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、ベル型の構造、特許取得のセルフバランシングスクリ ュー、優れた運転品質、メカニカルブースターポンプ搭載、ロードロックおよびト ランスファーチャンバー向けに最適 高効率性 最新のBusch VacBoostテクノロジー、所有コストの低さ、最低限のメンテナンス、 優れたアップタイム、直接水冷方式、インテリジェントなアイドリングモード コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター COBRA BC 0600 F Premium Efficiency 設計排気速度 530 / 635 m³/h (50 / 60 Hz) 到達真空度 0.001 hPa (mbar) (50 / 60 Hz) 定格モーター出力 (バックポンプ) 1.5 / 1.8 kW (50 / 60 Hz) 定格モーター出力 (メカニカルブースタ ー) 4.0 / 4.4 kW (50 / 60 Hz) 消費電力 (到達真空時 / アイドルモード 時) 1.3 / 0.45 / 1.4 / 0.55 kW (50 / 60 Hz) 定格モーター回転数 (バックポンプ) 3000 / 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 定格モーター回転数 (メカニカルブースタ ー) 3000 / 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 騒音値 (ISO 2151) 62 dB(A) (50 / 60 Hz) 使用水量 3.0 l/min 圧縮された乾燥空気の消費量 25 l/min 質量 315 kg 外形寸法 (L x W x H) 933 x 354 x 694 mm ガスインレット / アウトレット DN 63 ISO–K / DN 40 ISO–KF Busch 真空 半導体製造用途 13

COBRA BC 1000 F Premium Efficiency ドライスクリュー真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、ベル型の構造、特許取得のセルフバランシングスクリ ュー、優れた運転品質、メカニカルブースターポンプ搭載、ロードロックおよびト ランスファーチャンバー向けに最適 高効率性 最新のBusch VacBoostテクノロジー、所有コストの低さ、最低限のメンテナンス、 優れたアップタイム、直接水冷方式、インテリジェントなアイドリングモード コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター COBRA BC 1000 F Premium Efficiency 設計排気速度 955 m³/h 到達真空度 0.001 hPa (mbar) 定格モーター出力 (バックポンプ) 1.8 kW 定格モーター出力 (メカニカルブースタ ー) 2.9 kW 消費電力 (到達真空時 / アイドルモード 時) 1.5 / 0.4 kW 定格モーター回転数 (バックポンプ) 3600 min⁻¹ 定格モーター回転数 (メカニカルブースタ ー) 5400 min⁻¹ 騒音値 (ISO 2151) 62 dB(A) 使用水量 3.0 l/min 圧縮された乾燥空気の消費量 25 l/min 質量 310 kg 外形寸法 (L x W x H) 1054 x 425 x 615 mm ガスインレット / アウトレット DN 100 ISO–K / DN 40 ISO–KF 14 Busch 真空 半導体製造用途

COBRA BC 1000/2000 F ドライスクリュー真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、ベル型の構造、特許取得のセルフバランシングスクリ ュー、優れた運転品質、メカニカルブースターポンプ搭載、ロードロック、トラン スファーチャンバー、メトロロジー、リソグラフィー、PVD、ラピッドサーマルプ ロセスに最適 高効率性 所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイ ム、直接水冷方式 コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター、バックポンプ、メカニカルブ ースターポンプをコンパクトなベースフレーム上に設置 COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F 設計排気速度 930 m³/h 1580 m³/h 到達真空度 0.003 hPa (mbar) 0.003 hPa (mbar) 定格モーター出力 (バックポンプ) 1.5 kW 2.9 kW 定格モーター出力 (メカニカルブ ースター) 2.9 kW 4.0 kW 消費電力 (到達真空時 / アイドル モード時) 2.1 / 1.5 kW 3.0 / 1.9 kW 定格モーター回転数 (バックポン プ) 3000 min⁻¹ 4800 min⁻¹ 定格モーター回転数 (メカニカル ブースター) 5400 min⁻¹ 5400 min⁻¹ 騒音値 (ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A) 使用水量 3.0 l/min 3.0 l/min 窒素消費量 0 – 50 l/min 0 – 50 l/min 質量 310 kg 360 kg 外形寸法 (L x W x H) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm ガスインレット / アウトレット DN 100 ISO–K / DN 40 ISO–KF DN 160 ISO–K / DN 40 ISO–KF Busch 真空 半導体製造用途 15

COBRA DS 0080/0160 G ドライスクリュー真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、優れた運転品質、CVD、ラピッドサーマルプロセス、ALD に最適 高効率性 所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイ ム、効率的な間接水冷方式、優れた水素処理能力 コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター COBRA DS 0080 G COBRA DS 0160 G 設計排気速度 70 / 85 m³/h (50 / 60 Hz) 140 / 160 m³/h (50 / 60 Hz) 到達真空度 0.03 hPa (mbar) (50 / 60 Hz) 0.03 hPa (mbar) (50 / 60 Hz) 定格モーター出力 4.0 / 4.4 kW (50 / 60 Hz) 5.5 / 6.6 kW (50 / 60 Hz) 消費電力 (到達真空度時) 2.6 / 3.2 kW (50 / 60 Hz) 4.3 / 5.2 kW (50 / 60 Hz) 定格モーター回転数 3000 / 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 3000 / 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 騒音値 (ISO 2151) < 62 dB(A) (50 / 60 Hz) < 68 dB(A) (50 / 60 Hz) 使用水量 4.0 l/min (50 / 60 Hz) 4.0 l/min (50 / 60 Hz) 窒素消費量 0 – 75 l/min (50 / 60 Hz) 0 – 75 l/min (50 / 60 Hz) 質量 276 kg 338 kg 外形寸法 (L x W x H) 865 x 385 x 667 mm 975 x 425 x 697 mm ガスインレット / アウトレット DN 40 / DN 40 DN 50 / DN 40 16 Busch 真空 半導体製造用途

COBRA DS 0600 E ドライスクリュー真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、優れた運転品質、CVD、ラピッドサーマルプロセス、ALD に最適 高効率性 所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイ ム、効率的な間接水冷方式、優れた水素処理能力 コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター COBRA DS 0600 E 設計排気速度 600 m³/h (50 / 60 Hz) 到達真空度 0.01 hPa (mbar) (50 / 60 Hz) 定格モーター出力 15 kW (50 / 60 Hz) 消費電力 (到達真空度時) 9 kW (50 / 60 Hz) 定格モーター回転数 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 騒音値 (ISO 2151) < 70 dB(A) (50 / 60 Hz) 使用水量 最小 6 l/min (50 / 60 Hz) 窒素消費量 0 – 200 l/min (50 / 60 Hz) 質量 745 kg 外形寸法 (L x W x H) 1654 x 600 x 747 mm ガスインレット / アウトレット DN 100 / DN 63 Busch 真空 半導体製造用途 17

COBRA DS 0700–2000 G ドライスクリュー真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、優れた運転品質、メカニカルブースターポンプ搭載、 CVD、ラピッドサーマルプロセス、ALDに最適 高効率性 所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイ ム、効率的な間接水冷方式、優れた水素処理能力 コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター、バックポンプ、メカニカルブ ースターポンプをコンパクトなベースフレーム上に設置 COBRA DS 0700 G COBRA DS 1000 G COBRA DS 2000 G 設計排気速度 500 / 610 m³/h (50 / 60 Hz) 775 / 960 m³/h (50 / 60 Hz) 1365 / 1640 m³/h (50 / 60 Hz) 到達真空度 0.003 hPa (mbar) (50 / 60 Hz) 0.003 hPa (mbar) (50 / 60 Hz) 0.003 hPa (mbar) (50 / 60 Hz) 定格モーター出力 (バックポンプ) 4.0 / 4.4 kW (50 / 60 Hz) 4.0 / 4.4 kW (50 / 60 Hz) 5.5 / 6.6 kW (50 / 60 Hz) 定格モーター出力 (メカニカルブ ースター) 4.0 / 4.4 kW (50 / 60 Hz) 4.0 / 4.4 kW (50 / 60 Hz) 5.5 / 6.6 kW (50 / 60 Hz) 消費電力 (到達真空時 / アイドル モード時) 3.0 / 3.6 kW (50 / 60 Hz) 3.3 / 4.0 kW (50 / 60 Hz) 5.6 / 6.8 kW (50 / 60 Hz) 定格モーター回転数 (バックポン プ) 3000 / 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 3000 / 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 3000 / 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 定格モーター回転数 (メカニカル ブースター) 3000 / 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 3000 / 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 3000 / 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 騒音値 (ISO 2151) < 62 dB(A) (50 / 60 Hz) < 62 dB(A) (50 / 60 Hz) < 68 dB(A) (50 / 60 Hz) 使用水量 5.0 l/min 5.0 l/min 5.0 l/min 窒素消費量 0 – 75 l/min 0 – 75 l/min 0 – 75 l/min 質量 445 kg 576 kg 668 kg 外形寸法 (L x W x H) 865 x 385 x 917 mm 1034 x 425 x 1017 mm 1063 x 465 x 1069 mm ガスインレット / アウトレット DN 63 / DN 40 DN 100 / DN 40 DN 160 / DN 40 18 Busch 真空 半導体製造用途

COBRA DS 2610–3161 A/E ドライスクリュー真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、優れた運転品質、メカニカルブースターポンプ搭載、 CVD、ラピッドサーマルプロセス、ALDに最適 高効率性 所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイ ム、効率的な間接水冷方式、優れた水素処理能力 コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター、バックポンプ、メカニカルブ ースターポンプをコンパクトなベースフレーム上に設置 COBRA DS 2610 E COBRA DS 3010 E COBRA DS 3161 A 設計排気速度 1830 / 2130 m³/h (50 / 60 Hz) 3200 m³/h (50 / 60 Hz) 3200 m³/h (50 / 60 Hz) 到達真空度 0.001 hPa (mbar) (50 / 60 Hz) 0.001 hPa (mbar) (50 / 60 Hz) 0.001 hPa (mbar) (50 / 60 Hz) 定格モーター出力 (バックポンプ) 15 kW (50 / 60 Hz) 15 kW (50 / 60 Hz) 15 kW (50 / 60 Hz) 定格モーター出力 (メカニカルブ ースター) 5.5 / 6.6 kW (50 / 60 Hz) 15 kW (50 / 60 Hz) 15 kW (50 / 60 Hz) 消費電力 (到達真空時 / アイドル モード時) 10 / 11 kW (50 / 60 Hz) 11.8 / 9.9 kW (50 / 60 Hz) 11.8 / 9.9 kW (50 / 60 Hz) 定格モーター回転数 (バックポン プ) 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 定格モーター回転数 (メカニカル ブースター) 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 5400 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 5400 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 騒音値 (ISO 2151) < 75 dB(A) (50 / 60 Hz) < 75 dB(A) (50 / 60 Hz) < 75 dB(A) (50 / 60 Hz) 使用水量 最小 10 l/min 最小 10 l/min 最小 10 l/min 窒素消費量 0 – 200 l/min (50 / 60 Hz) 0 – 200 l/min (50 / 60 Hz) 0 – 200 l/min (50 / 60 Hz) 質量 1300 kg 1380 kg 1360 kg 外形寸法 (L x W x H) 1420 x 722 x 1525 mm 1420 x 722 x 1525 mm 1316 x 627 x 1310 mm ガスインレット / アウトレット DN 160 / DN 63 DN 160 / DN 63 DN 160 / DN 63 Busch 真空 半導体製造用途 19

COBRA DS 5161–9161 A/B/F ドライスクリュー真空ポンプ 高い性能 高度なスクリュー設計、優れた運転品質、メカニカルブースターポンプ搭載、 CVD、ラピッドサーマルプロセス、ALDに最適 高効率性 所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイ ム、効率的な間接水冷方式、優れた水素処理能力 コンパクト 設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター COBRA DS 5161 A COBRA DS 8161 F COBRA DS 9161 B 設計排気速度 4200 m³/h (50 / 60 Hz) 6000 m³/h (50 / 60 Hz) 6160 m³/h (50 / 60 Hz) 到達真空度 0.001 hPa (mbar) (50 / 60 Hz) 0.001 hPa (mbar) (50 / 60 Hz) 0.001 hPa (mbar) (50 / 60 Hz) 定格モーター出力 (バックポンプ) 15 kW (50 / 60 Hz) 15 kW (50 / 60 Hz) 15 kW (50 / 60 Hz) 定格モーター出力 (メカニカルブ ースター) 15 kW (50 / 60 Hz) 20 kW (50 / 60 Hz) 20 kW (50 / 60 Hz) 消費電力 (到達真空時 / アイドル モード時) 12.5 / 10 kW (50 / 60 Hz) 13 / 11 kW (50 / 60 Hz) 13 / 11 kW (50 / 60 Hz) 定格モーター回転数 (バックポン プ) 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 定格モーター回転数 (メカニカル ブースター) 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 5400 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 3600 min⁻¹ (50 / 60 Hz) 騒音値 (ISO 2151) < 75 dB(A) (50 / 60 Hz) < 75 dB(A) (50 / 60 Hz) < 75 dB(A) (50 / 60 Hz) 使用水量 最小 12 l/min 最小 13 l/min 最小 13 l/min 窒素消費量 0 – 200 l/min 0 – 200 l/min 0 – 200 l/min 質量 1440 kg 1350 kg 1800 kg 外形寸法 (L x W x H) 1550 x 723 x 1452 mm 1441 x 627 x 1100 mm 1567 x 810 x 1615 mm ガスインレット / アウトレット DN 250 / DN 63 DN 200 / DN 63 DN 200 / DN 63 20 Busch 真空 半導体製造用途