PLAZMARK(R)はプラズマ評価を効率化する
掲載内容
◆PLAZMARK(R)はプラズマ評価を効率化する
◆プラズマの分布測定にも利用可能
◆デスミア工程での利用
◆プリント基板製造分野におけるプラズマ活用シーン
◆従来のデスミア処理評価方法の課題点
◆プリント基板製造分野向け新製品:デスミア用
◆メッキ前表面改質・実装前クリーニング工程での利用
◆従来のプラズマ処理評価方法の課題点
◆接触角との比較データ
◆エッチング量との相関
◆Arクリーニング用超高感度
◆大気圧プラズマ用
◆接触角との相関
◆分布測定
◆高温プロセスへの利用
◆変色性能(処理時間依存性)
◆ウエハ型製品紹介
◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
このカタログについて
| ドキュメント名 | プリント基板分野における プラズマインジケータ PLAZMARK(R)の活用 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 2.1Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社サクラクレパス (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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2018/6/12
プリント基板分野における
プラズマインジケータTM ®PLAZMARK の活用
株式会社サクラクレパス ＰＩ事業部
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会社概要
・創業 ：1921年 5月 29日
・資本金：9,000万円
・従業員：1200名 本社
・本社 ：大阪
・工場 ：大阪、鹿児島、上海、ベトナム
・研究所：中央研究所、京大桂研究センター
・国内営業所：本社、東京、札幌、名古屋、九州
・関連子会社：国内9社、海外５社
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®
PLAZMARK はプラズマ評価を効率化する
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プラズマの分布測定にも利用可能
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デスミア工程での利用
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プリント基板製造分野におけるプラズマ活用シーン
スミア除去にドライプロセスとして利用
エポキシ
スミア
エッチング量/
既存 レート測定
評価方法例： (ﾎﾟﾘｲﾐﾄﾞ)
未処理のポリイミド 処理済のポリイミド
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従来のデスミア処理評価方法の課題点
• 測定に時間と手間がかかる。
• 重量測定の際、吸湿して正確に測定するのが難しい。
• エッチング量が小さいと、重量変化も段差測定も誤差が大きく
評価に利用できない
等々
プラズマインジケータを
使えば！！
• 短時間でプラズマの効果を目で見て確認できる。
• 1枚が安価な為、コストメリットが出せる。
• 色差計を利用することで、数値化し細かい条件管理に利用
できる。
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プリント基板製造分野向け新製品：デスミア用
新製品
・プリント配線板ビアホール
加工後のプラズマデスミア
処理用インジケータ
・エッチングなど高出力長
時間の強力なプラズマ処
理にも利用可能
・貼り付け可能でフレキシ
ブルなラベルタイプ。基板
にも対応
・感度は2種類用意
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プリント基板製造分野向け新製品：デスミア用
新製品
◆デスミア用 ・色材：有機色材、 ・基材：アルミニウム
製品変色写真
O2+CF4
50sccm+5sccm
25Pa
RF100W
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プリント基板製造分野向け新製品：デスミア用
新製品
• ポリイミドエッチング量と変色色差の相関
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メッキ前表面改質・実装前クリーニング
工程での利用
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プラズマ活用シーン
プラズマ 表面改質、塗れ性向上
基板 基板 基板
処理前 処理後
既存
接触角測定
評価方法例：
θ
ぬれが悪い 完全にぬれてし
まっている
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従来のプラズマ処理評価方法の課題点
• 接触角測定は結果のバラつきが大きい。
• 測定に作業者のスキルが必要。
• 製品に水などを塗布するのに抵抗がある。
等々
プラズマインジケータを
使えば！！
• 色差計を利用することで、細かい管理ができバラツキの低減
が可能。
• 感度を数種類用意しており、様々な条件に対応。
• ワークに接触させず評価することが可能。
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O2/Arクリーニング用
• 各種表面改質・クリーニングプロセス用
ワイヤーボンディング、フリップチップボンディング、
パッケージングなどの前処理
◆ O2クリーニング用 ：ラジカル性のプラズマに適合した設計
◆ Arクリーニング用 ：イオン性のプラズマに適合した設計
【カード／ラベル】
・色材：有機材料（耐熱性100℃以下）
【シート】
・基材：PET
・形状：カード、ラベル、シート
・感度：各３種類
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接触角との比較データ
【O2クリーニング用 No.1】
低周波プラズマ装置、O2プラズマ
30 90
No.1 色差
25 接触角 80
20 70
15 60
10 50
5 40
0 30
0 10 20 30 40 50
処理時間（分）
接触角の変化が飽和する領域でも変色色差は線形の変化を示す。
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エッチング量との相関
• ArプラズマによるAuメッキ膜エッチングレートと色差の相関
を確認
【 Arクリーニング用 No.22 】
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処理前との色差 ⊿E*ab
ポリエリレン板に対する水の接触角（deg）
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Arクリーニング用超高感度 新製品
＊Arクリーニング用No.21 No.20
(超高感度)
でも感度が低いと感じる No.21
お客様の為に、No.21よりも (高感度)
感度が高い製品を開発。
変色感度が従来品No.21(高感度)の約4倍に向上(当社比)
＊No.21の、4倍の感度差。マ
No.21(高感度) No.20(超高感度)
イルドなプラズマ処理に最適。 40
30 26.4
20 17.3
＊形状は、カード、ラベル、
シートの3種類を提供。
10 6.7
4.1
0
条件A 条件B
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大気圧プラズマ用
• 高速処理に対応する高感度色材を開発
・色材：有機色材
・基材：無塵紙（クリーンペーパー）
・形状：ロングラベル型、シート型
・感度：２種類
ロングラベル型
◆変色性能
処理速度（mm/sec）
未処理 300 100 60 40 25
No.41
（高感度）
No.42
（低感度）
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処理前との変色色差⊿E*ab
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接触角との相関
• 従来の濡れ性確認手法である接触角測定と色差の相関を確認
⇒ 接触角測定より簡便に評価が可能
色差⊿Eと接触角との相関（処理基板：ガラス）
25
20
15
10
5
0
0 10 20 30 40 50
接触角（deg）
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分布測定
• ガラス基板洗浄用プラズマ装置
電極幅方向における処理効果の分布を確認。（出力を比較）
25
300W 1m/sec
450W 1m/sec
20
15
10
5
有機色材(大気圧プラズマ用)
0
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20
測定場所 （写真左端から10mm間隔で測定）
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色差⊿E
処理前との色差 ⊿E*ab
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高温プロセスへの利用
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耐熱性
操作性
• 耐熱温度向上のため新規材料開発
剥離フィルムをはがす
・色材：無機材料
・基材：ポリイミド 対象物に貼り付ける (粘着層付き)
・保護シート付 (使用時に剥がす)
・形状：ラベルのみ
・感度：2種類
○耐熱性：200℃
保護フィルムをはがす
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変色性能（処理時間依存性）
酸素プラズマ処理時の色差の処理時間依存性 ⇒ 一定時間で飽和する
60
50
40
30
20 ・プラズマ装置：平行平板型 RF13.56MHz
・プラズマ条件：10Pa(10SCCM), 50W
10
0
0 60 120 180 240 300 360 420 480 540 600
処理時間（sec）
ﾌﾞﾗﾝｸ 10 20 30 60 90 150 300 600 （sec)
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ウエハ型製品紹介
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色差⊿E
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ウエハ型（セラミックタイプ） 販売開始
• 耐熱性インジケータをベースに完全無機化 (高耐熱性)
• 使用ウエハと同じハンドリング・簡便な分布評価
・色材：無機セラミック膜
・基材：シリコン、サファイア
・サイズ：4インチ、6インチ
・感度：1種類
○耐熱性：400℃
シリコン基板 サファイア基板
処理前 処理後① 処理後②
処理前 処理後
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ウエハ型（メタルフリータイプ） 開発品
• シリコン半導体の工程など、クリーンなプロセス向けに開発
• 金属を極限まで排除
処理前 処理後
・色材：有機膜（メタルフリー）
・基材：シリコン
・サイズ：8インチ、12インチ
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まとめ
・ 新商品のデスミア用によ
り強力なプラズマも評価可
能。
・ 検知部分がプラズマ処理
の程度に対応して徐々に変
色するため、プラズマ処効
果を簡便に可視化。
・ プラズマをご利用のお客
様是非弊社製品をお試しく
ださい。
®
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ご清聴ありがとうございました
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