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プリント基板分野における プラズマインジケータ PLAZMARK(R)の活用

製品カタログ

PLAZMARK(R)はプラズマ評価を効率化する

掲載内容
◆PLAZMARK(R)はプラズマ評価を効率化する
◆プラズマの分布測定にも利用可能
◆デスミア工程での利用
◆プリント基板製造分野におけるプラズマ活用シーン
◆従来のデスミア処理評価方法の課題点
◆プリント基板製造分野向け新製品:デスミア用
◆メッキ前表面改質・実装前クリーニング工程での利用
◆従来のプラズマ処理評価方法の課題点
◆接触角との比較データ
◆エッチング量との相関
◆Arクリーニング用超高感度
◆大気圧プラズマ用
◆接触角との相関
◆分布測定
◆高温プロセスへの利用
◆変色性能(処理時間依存性)
◆ウエハ型製品紹介

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このカタログについて

ドキュメント名 プリント基板分野における プラズマインジケータ PLAZMARK(R)の活用
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 2.1Mb
登録カテゴリ
取り扱い企業 株式会社サクラクレパス (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

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2018/6/12 プリント基板分野における プラズマインジケータTM ®PLAZMARK の活用 株式会社サクラクレパス PI事業部 2018/6/12 1 会社概要 ・創業 :1921年 5月 29日 ・資本金:9,000万円 ・従業員:1200名 本社 ・本社 :大阪 ・工場 :大阪、鹿児島、上海、ベトナム ・研究所:中央研究所、京大桂研究センター ・国内営業所:本社、東京、札幌、名古屋、九州 ・関連子会社:国内9社、海外5社 © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 2 1
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2018/6/12 ® PLAZMARK はプラズマ評価を効率化する © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 3 プラズマの分布測定にも利用可能 © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 4 2
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2018/6/12 デスミア工程での利用 5 © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 2018/6/12 5 プリント基板製造分野におけるプラズマ活用シーン スミア除去にドライプロセスとして利用 エポキシ スミア エッチング量/ 既存 レート測定 評価方法例: (ポリイミド) 未処理のポリイミド 処理済のポリイミド © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 6 3
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2018/6/12 従来のデスミア処理評価方法の課題点 • 測定に時間と手間がかかる。 • 重量測定の際、吸湿して正確に測定するのが難しい。 • エッチング量が小さいと、重量変化も段差測定も誤差が大きく 評価に利用できない 等々 プラズマインジケータを 使えば!! • 短時間でプラズマの効果を目で見て確認できる。 • 1枚が安価な為、コストメリットが出せる。 • 色差計を利用することで、数値化し細かい条件管理に利用 できる。 © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 7 プリント基板製造分野向け新製品:デスミア用 新製品 ・プリント配線板ビアホール 加工後のプラズマデスミア 処理用インジケータ ・エッチングなど高出力長 時間の強力なプラズマ処 理にも利用可能 ・貼り付け可能でフレキシ ブルなラベルタイプ。基板 にも対応 ・感度は2種類用意 © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 8 4
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2018/6/12 プリント基板製造分野向け新製品:デスミア用 新製品 ◆デスミア用 ・色材:有機色材、 ・基材:アルミニウム 製品変色写真 O2+CF4 50sccm+5sccm 25Pa RF100W 9 © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION プリント基板製造分野向け新製品:デスミア用 新製品 • ポリイミドエッチング量と変色色差の相関 © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 10 5
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2018/6/12 メッキ前表面改質・実装前クリーニング 工程での利用 1 1 © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 2018/6/12 11 プラズマ活用シーン プラズマ 表面改質、塗れ性向上 基板 基板 基板 処理前 処理後 既存 接触角測定 評価方法例: θ ぬれが悪い 完全にぬれてし まっている © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 12 6
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2018/6/12 従来のプラズマ処理評価方法の課題点 • 接触角測定は結果のバラつきが大きい。 • 測定に作業者のスキルが必要。 • 製品に水などを塗布するのに抵抗がある。 等々 プラズマインジケータを 使えば!! • 色差計を利用することで、細かい管理ができバラツキの低減 が可能。 • 感度を数種類用意しており、様々な条件に対応。 • ワークに接触させず評価することが可能。 © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 13 O2/Arクリーニング用 • 各種表面改質・クリーニングプロセス用 ワイヤーボンディング、フリップチップボンディング、 パッケージングなどの前処理 ◆ O2クリーニング用 :ラジカル性のプラズマに適合した設計 ◆ Arクリーニング用 :イオン性のプラズマに適合した設計 【カード/ラベル】 ・色材:有機材料(耐熱性100℃以下) 【シート】 ・基材:PET ・形状:カード、ラベル、シート ・感度:各3種類 © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 14 7
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2018/6/12 接触角との比較データ 【O2クリーニング用 No.1】 低周波プラズマ装置、O2プラズマ 30 90 No.1 色差 25 接触角 80 20 70 15 60 10 50 5 40 0 30 0 10 20 30 40 50 処理時間(分) 接触角の変化が飽和する領域でも変色色差は線形の変化を示す。 © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 15 エッチング量との相関 • ArプラズマによるAuメッキ膜エッチングレートと色差の相関 を確認 【 Arクリーニング用 No.22 】 © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 16 8 処理前との色差 ⊿E*ab ポリエリレン板に対する水の接触角(deg)
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2018/6/12 Arクリーニング用超高感度 新製品 *Arクリーニング用No.21 No.20 (超高感度) でも感度が低いと感じる No.21 お客様の為に、No.21よりも (高感度) 感度が高い製品を開発。 変色感度が従来品No.21(高感度)の約4倍に向上(当社比) *No.21の、4倍の感度差。マ No.21(高感度) No.20(超高感度) イルドなプラズマ処理に最適。 40 30 26.4 20 17.3 *形状は、カード、ラベル、 シートの3種類を提供。 10 6.7 4.1 0 条件A 条件B © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 17 大気圧プラズマ用 • 高速処理に対応する高感度色材を開発 ・色材:有機色材 ・基材:無塵紙(クリーンペーパー) ・形状:ロングラベル型、シート型 ・感度:2種類 ロングラベル型 ◆変色性能 処理速度(mm/sec) 未処理 300 100 60 40 25 No.41 (高感度) No.42 (低感度) © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 18 9 処理前との変色色差⊿E*ab
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2018/6/12 接触角との相関 • 従来の濡れ性確認手法である接触角測定と色差の相関を確認 ⇒ 接触角測定より簡便に評価が可能 色差⊿Eと接触角との相関(処理基板:ガラス) 25 20 15 10 5 0 0 10 20 30 40 50 接触角(deg) © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 19 分布測定 • ガラス基板洗浄用プラズマ装置 電極幅方向における処理効果の分布を確認。(出力を比較) 25 300W 1m/sec 450W 1m/sec 20 15 10 5 有機色材(大気圧プラズマ用) 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 測定場所 (写真左端から10mm間隔で測定) © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 20 10 色差⊿E 処理前との色差 ⊿E*ab
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2018/6/12 高温プロセスへの利用 2 1 © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 2018/6/12 21 耐熱性 操作性 • 耐熱温度向上のため新規材料開発 剥離フィルムをはがす ・色材:無機材料 ・基材:ポリイミド 対象物に貼り付ける (粘着層付き) ・保護シート付 (使用時に剥がす) ・形状:ラベルのみ ・感度:2種類 ○耐熱性:200℃ 保護フィルムをはがす © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 22 11
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2018/6/12 変色性能(処理時間依存性) 酸素プラズマ処理時の色差の処理時間依存性 ⇒ 一定時間で飽和する 60 50 40 30 20 ・プラズマ装置:平行平板型 RF13.56MHz ・プラズマ条件:10Pa(10SCCM), 50W 10 0 0 60 120 180 240 300 360 420 480 540 600 処理時間(sec) ブランク 10 20 30 60 90 150 300 600 (sec) © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 23 ウエハ型製品紹介 2 4 © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 2018/6/12 24 12 色差⊿E
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2018/6/12 ウエハ型(セラミックタイプ) 販売開始 • 耐熱性インジケータをベースに完全無機化 (高耐熱性) • 使用ウエハと同じハンドリング・簡便な分布評価 ・色材:無機セラミック膜 ・基材:シリコン、サファイア ・サイズ:4インチ、6インチ ・感度:1種類 ○耐熱性:400℃ シリコン基板 サファイア基板 処理前 処理後① 処理後② 処理前 処理後 © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 25 ウエハ型(メタルフリータイプ) 開発品 • シリコン半導体の工程など、クリーンなプロセス向けに開発 • 金属を極限まで排除 処理前 処理後 ・色材:有機膜(メタルフリー) ・基材:シリコン ・サイズ:8インチ、12インチ © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 26 13
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2018/6/12 まとめ ・ 新商品のデスミア用によ り強力なプラズマも評価可 能。 ・ 検知部分がプラズマ処理 の程度に対応して徐々に変 色するため、プラズマ処効 果を簡便に可視化。 ・ プラズマをご利用のお客 様是非弊社製品をお試しく ださい。 ® © 2015 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION 27 ご清聴ありがとうございました 2018/6/12 28 14