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半導体製造装置向けの、機械要素部品の選定ポイントは?

ホワイトペーパー

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ドキュメント名 半導体製造装置向けの、機械要素部品の選定ポイントは?
ドキュメント種別 ホワイトペーパー
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このカタログの内容

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スライド 1

ベ ア リ ン グ Product Information No.70 ◆教えて!イコボ(IKOBO)! 第21回 半導体製造装置向けの、機械要素部品の選定ポイントは? ポイントは、特殊環境に適した潤滑剤の使用と 高剛性・優れた振動特性 の2つです! イコボ (IKOBO) 今回は…半導体製造装置に最適なIKO製品をご紹介していきます! 半導体製造装置向け 機械要素部品の選定ポイント ➊ 特殊環境に適した潤滑剤の使用 ❷ 高剛性・優れた振動特性 〈 使用される特殊環境 〉 真空・クリーン・高温 半導体の 半導体市場の 高性能化 急激な拡大 えられる原因 従来、特殊環境用の潤滑剤として 上記のような市場背景から… フッ素系グリースやMAC系グリース使用 〈 半導体製造装置に求められていること 〉 → △安全性・潤滑性能・耐熱性に課題 高タクト運転・微細化への対応 「多くの要求を同時に満足する潤滑剤」 「高速・高加減速な動作」と、 が求められています。 「精密な位置決め」の両立が不可欠です。 IKOがご提案する製品は… リニアローラウェイ 液晶潤滑 シリーズ スーパーX シリーズ えられる原因 低発塵 環境配慮 高剛性 低蒸発 長寿命 優れた振動特性 くわしくは次ページでご紹介! テ 解先S直半本1かE:ら2説日前導編M0始動開の体はICまブ、O画催製りーNま「さ造ス 半JすれAキス 装に導!たPて置A体ぜ、N向ひ 製2けご0ト 造に2覧4装、く機置だ械さ向い要け!素 機部械品要選素定部を品す選る定際の2ポつイのンポトイ2ンつトを」ご紹介! 自動的に生成された説明 解説動画「半導体製造装置向け 機械要素部品選定の2つのポイント」 先日開催されたSEMICON JAPAN 2024直前のブースにて、 半導体製造装置向けに、機械要素部品選定をする際のポイント2つをご紹介! 本編は、1:20から始まります!ぜひご覧ください! さ※本(~)部1っ:編分2そ0かく!ら再動生画しをま観すて。みる! さっそく!動画を観てみる!※本編(1:20~)部分から再生します。 Copyright © NIPPON THOMPSON CO.,LTD. All Right Reserved.
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スライド 2

半導体製造装置向けにご提案する IKO製品 液晶潤滑 シリーズ リニアローラウェイスーパーX シリーズ 液晶潤滑剤は、基油と増ちょう リニアローラウェイスーパーX 剤からなる通常のグリースとは は、ローラの優れた特性を最大 異なり、固体と液体の中間の性 限に生かし、滑らかな走行と高 質をもつ液晶化合物のみで潤滑 信頼性、高剛性と高精度を実現 機能を実現した世界初の軸受用 した直動案内機器です。 潤滑剤です。 詳しくはこちら! 詳しくはこちら! ■高剛性 鋼球と比べて荷重に対 する弾性変形量が小さ い円筒ころをスライド えられる原因 ユニットの中に数多く えられる原因 組み込むことにより、 高い剛性を実現してい ます。 ■優れた振動特性 剛性が高いので、繰返 し変動荷重に対する変 形量が小さく、固有振 動数が高くなり、振動 他の潤滑剤と比較した実験データをまとめるとその他の潤滑剤と 減衰時間も短くなりま 比べて、特殊環境下においてとてもバランスが良く、高いレベル す。 の性能を有しています。さらに、有機ふっ素化合物(PFAS)を含有せ ず、ハロゲンフリー対応しています。また、燃焼時でも有毒ガス は発生しません。 解先S直半本1かE:ら2説日前導編M0始動開の体はICまブ、O画催製りーNま「さ造ス 半JすれA装に導!たPて置A体ぜ、N向ひ 製2けご0テキスト 造に2覧4装、く機置だ械さ向い要け!素 機部械品要選素定部を品す選る定際の2ポつイのンポトイ2ンつトを」ご紹介! 自動的に生成された説明 解説動画「半導体製造装置向け 機械要素部品選定の2つのポイント」 先日開催されたSEMICON JAPAN 2024直前のブースにて、 半導体製造装置向けに、機械要素部品選定をする際のポイント2つをご紹介! 本編は、1:20から始まります!ぜひご覧ください! さ※本(~)部1っ:編分2そ0かく!ら再動生画しをま観すて。みる! さっそく!動画を観てみる!※本編(1:20~)部分から再生します。 ▬htt ホpsー:/ム/wペwーwジ.ikont.co.jp/ ▬ ホームページ https://www.ikont.co.jp/ https://qr.quel.jp/tmp/6e0b1582d9e78d363751c647392be63c029a1605.png ▬htt おps問://いw合wわwせ.ik先ont.co.jp/ikohp/inquiry/index.html ▬ お問い合わせ先 https://www.ikont.co.jp/ikohp/inquiry/index.html ▬htt IpKsO:/ /VvIsRrT.iUkoAnLt S.cHoO.jpW/ ROOM ▬ IKO VIRTUAL SHOW ROOM https://vsr.ikont.co.jp/ ▬htt メpsカ:/ト/ロw専ww用.サmイe-トiko.com/mecha-tool/index.php ▬ メカトロ専用サイト https://www.me-iko.com/mecha-tool/index.php Copyright © NIPPON THOMPSON CO.,LTD. All Right Reserved.