メカトロシリーズ総合カタログ

メカトロシメリカートズロ総シ合リカータズロ総グ合カタログ CAT-160C6AT-1606 MECHATROMNEI CSH SATEROIENSICS SERIES MMEECCHHAATTRROO IKO VIRTIUKAOL V SIRHTOUWA LR OSHOOMWで ROOMで セミナーのセ視ミ聴ナやー最の視新の聴技や最術新情の報技を確術認情報を確認 することがすでるきこまとすが。で是き非ま、すご。活是用非く、だごさ活い用。ください。 IKO VIRTUAIKLO S VHIORWTU RAOL OSHMOW検 RO索OM 検索 https://vhstrt.ipkso:n//tv.csor..ijkpo/nt.co.jp/ https://hwttwpsw:/.i/kwonwtw.c.oik.jopn/t.co.jp/ 販売店 販売店 ●製品の外観・仕●様製な品どのは外、改観・良仕の様たなめど予は告、な改し良にの変た更めす予る告なしに変更する ことがあります。ことがあります。 ●本製品を輸出●す本る際製は品、を仕輸向出国す及るび際用は途、・仕需向要国者及をび確用認途・需要者を確認 いただき、客観要い件たにだ該き当、客す観る要場件合には該、輸当出す許る可場申合請は等、輸出許可申請等 必要な手続きをお必取要りなくだ手さ続いき。をお取りください。 ●本カタログは正●確本をカ期タしロてグ制は作正し確てをお期りしまてす制が作、誤して記・お脱り字ますが、誤記・脱字 等に起因する損害等には起責因任すをる負損い害かにねはま責す任。を負いかねます。 ●無断転載、転用●を無禁断止転し載ま、す転。用を禁止します。 Printed in JapaPnr i©nt e2d0 2in5 .J0a5p(aAnK ©A) 2025.05 (AKA) メカトロシリーズ総合カタログ MECHATRONICS SERIES メカトロシリーズ総合カタログ MECHATRONICS SERIES

メカトロシリーズ総合カタログ MECHATRONICS SERIES Good Environment and Good Quality 　IKO精密位置決めテーブルは、長年にわたって培ってきた直動案内機器の技術と、最先端のマイクロエレクトロニクス 技術の融合によって生まれた製品です。 　IKO精密位置決めテーブルは、厳しい要求に応えるために、厳選された多数の優れた部品で構成されています。中でも テーブル案内部には、超精密機械や工作機械の分野で実績のあるIKO直動案内機器が組み込まれており、その優れた性能 を余すところなく発揮しています。 　IKO精密位置決めテーブルは、各種の測定器、加工機、組立機を始め、最先端の液晶・半導体製造設備などの高性能な 位置決め機構として幅広く使用され、その優れた性能が実証されています。 Ⅰ̶1 Ⅰ̶2

メカトロシリーズの分類と特長 MECHATRONICS SERIES Classification and features メカトロシリーズの分類 メカトロシリーズの特長 駆　動　形　式 運動の方向 ストローク長さ 推　力 速　度 加 速 度 位置決め精度 ボ モータ ボ 直 線 ー ー ル スライドテーブル ル ね ね 上 下 じ じ 駆 駆 動 動 アライメント ボールねじ ム ム ー ー ビ 可動テーブル ビ 直 線 ン ン グ グ リマ リマ グ グ ニネ ニネ アライメント 可動子マグネット アッ 固定子コイル アッ モト モト ー ー タ コアレスタイプ 駆ム 可動テーブル タ ー 駆ム ー 動ビ コア付きタイプ 動ビ ン ン グ グ 直 線 コ 可動子コイル コ イ イ ル 固定子マグネット ル タ タ イ イ ミ スライドテーブル ミ ン ン グ モータ グ ベ ベ 直 線 ル ル ト ト 駆 タイミングベルト 駆 動 動 ウ ウ ォ ォ ー ー ム ム ギ ギ 回 転 ア ア 駆 駆 動 ウォームギア モータ 動 記号の説明 特に優れている 優れている 普通 Ⅰ̶3 Ⅰ̶4

メカトロシリーズ総合カタログ MECHATRONICS SERIES INDEX 精密位置決めテーブルTE 精密位置決めテーブルTU 精密位置決めテーブルLB ナノリニア®NT ● ● ● 高剛性なU字形トラックレールを採用 ● タイミングベルト駆動の高速タイプ コンパクト化を徹底的に追求 主要構成部品に高強度アルミニウム合金を使用 ● ● ● 軽量・低断面・コンパクトな位置決めテーブル 用途に合わせてテーブルの仕様が各種選択可能 ● リニアウェイの並列使用で安定した高い走行性能 NT30Vは断面高さわずか8mmの超低断面 ● 用途に合わせて最適な選択が可能な豊富なバリエーション リニアモータ駆動 直 線 ボールねじ駆動 ボールねじ駆動 タイミングベルト駆動 直 直 線 直 線 線 NT…V NT…XZ TSLB Ⅱ-228 NT…H NT…XZH Ⅱ-240 TE…B Ⅱ-4 TU Ⅱ-30 アライメントステージSA リニアモータテーブルLT ● XYθ3軸を組み合わせた断面高さがわずか52mm（SA65DE） ● 高速・高分解能を両立 ● XY軸：0.1μm、θ軸：0.25秒の高分解能（SA200DE） ● 高加減速・高応答で滑らかな作動 精密位置決めテーブルL 精密位置決めテーブルLH ● Cルーブ内蔵長期メンテナンスフリー仕様 ● 幅広い分野で実績のあるスタンダードタイプ ● 厳選された部品構成で信頼性が高く高精度 リニアモータ駆動 ● リニアウェイの並列使用で安定した特性 ● 高剛性で大きな搭載質量 直 線 リニアモータ駆動 アライメント LT…CE LT…H 直 線 SA…DE Ⅱ-272 LT…LD LT…H2 Ⅱ-290 ボールねじ駆動 ボールねじ駆動 直 線 直 線 アライメントテーブルAT 回転ステージSK ● 高精度な位置決めで精密角度補正が可能 ● クロスローラベアリングの採用で高剛性・コンパクト TSLH…M ● クロスローラベアリングの採用で高剛性・コンパクト ● 高精度でなめらかな位置決めが可能 TSL…M Ⅱ-98 CTLH…M Ⅱ-118 ● テーブルや検査対象物を直接取り付けることで、設計工数の削減 を実現 ウォームギア駆動 高精密位置決めテーブルTX クリーン精密位置決めテーブルTC 回転 ● 転がり案内タイプで究極の位置決め性能を実現 ● 半導体・液晶関連製造装置など、高い清浄度が要求される ボールねじ駆動 ● フルクローズドループ制御で高精度 環境下での使用に最適 アライメント ● 軽量・低断面・コンパクトな位置決めテーブル AT Ⅱ-324 SK…W Ⅱ-336 アライメントモジュールAM 精密昇降テーブルTZ ● 用途に合わせて自由にステージを設計可能 ● 独自のくさび機構により、コンパクトで高精度な上下方向の ボールねじ駆動 ● 高さ寸法の許容差を±10μmに管理 位置決めが可能 直 線 ボールねじ駆動 ● TZ···Xは、Cルーブリニアローラウェイスーパー Xを採用し、 直 線 高精度・高剛性を実現 TX…M ボールねじ駆動 CTX…M Ⅱ-146 TC…EB Ⅱ-168 上 下 ボールねじ駆動 マイクロ精密位置決めテーブルTM 精密位置決めテーブルTS・CT アライメント AM Ⅱ-344 TZ…H TZ…X Ⅱ-358 ● 研削ボールねじ駆動で、断面高さ20mm、幅17mmの ● 断面高さが低くコンパクトな構造 極小サイズ ● クロスローラウェイの採用により信頼性が高く高精度 パラレルドライブステージ® PD ● 高い位置決め精度と優れた耐久性 TS CT ● ボールねじ駆動のXYステージとして極めて低い断面高さを実現 ● 独自の構造により可動部の配線やケーブルベアは不要、省スペースと良好な作業性を両立 ボールねじ駆動 ボールねじ駆動 直 線 直 線 ボールねじ駆動 XY方向 TM Ⅱ-186 Ⅱ-204 PD…S Ⅱ-372 Ⅰ̶5 Ⅰ̶6

2014.03.03　初校　CAT-1556③　Ⅰ04-26 形式・サイズバリエーション① 多彩な形式・豊富なバリエーション 精密位置決めテーブルTE 精密位置決めテーブルL ボールねじ駆動 ボールねじ駆動 TE···B 直 線 TSL···M 直 線 ● 主要構成部品に高強度アルミニウム合金を使用 ● 幅広い分野で実績のあるスタンダードタイプ ● 軽量・低断面・コンパクトな位置決めテーブル ● リニアウェイの並列使用で安定した特性 ● 高精度な位置決め ● 高い走行精度と位置決め精度 ● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様 ● 豊富なサイズバリエーションで多軸システム構成が容易 ● 優れたコストパフォーマンス ● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様 仕様 精度 仕様 精度 最大ストローク 最高速度 ボールねじリード 繰返し位置決め精度 最大ストローク 形式と大きさ 形式と大きさ 最高速度 ボールねじリード 繰返し位置決め精度 （mm） （mm/s） （mm） 位置決め精度 （mm） （mm/s） （mm） 位置決め精度 TE50B 410 800 4、8 ロストモーション TSL 90 M 300 500 5、10 ロストモーション TE60B 600 1 000 5、10、20 テーブル運動の平行度 A TSL 120 M 600 500 5、10 テーブル運動の平行度 A TE86B 800 1 860 10、20 テーブル運動の平行度 B TSL 170 M 500 500 5、10 テーブル運動の平行度 B 姿勢精度 TSL 170 S M 1 000 500 5、10 姿勢精度 真直度 TSL 220 M 1 000 500 5、10 真直度 バックラッシ Ⅱ‒4 バックラッシ Ⅱ‒98 ページへ ページへ 精密位置決めテーブルTU 精密位置決めテーブルLH ボールねじ駆動 ボールねじ駆動 TU 直 線 TSLH···M（ 単軸仕様） ● 高剛性な新 CTLH···M（ 二軸仕様）発想のU字形トラックレールを採用 直 線 ● 用途に合わせてテーブルの仕様が各種選択可能 ● スライドテーブルは高精度・高剛性な一体構造 ● 厳選された部品構成で信頼性が高く高精度 ● 必要な機能・性能を呼び番号で指定するだけの ● 高剛性で大きな搭載質量 簡単オーダー ● 高い走行精度と位置決め精度 ● 仕様 精度 テーブル幅寸法420mmの超大形サイズまでシリーズ化 ● 最大ストローク Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様 形式と大きさ 最高速度 ボールねじリード 繰返し位置決め精度 （mm） （mm/s） （mm） 位置決め精度 仕様 精度 TU 25 100 400 4 ロストモーション 最大ストローク 最高速度 ボールねじリード 繰返し位置決め精度 形式と大きさ TU 30 230 500 5 テーブル運動の平行度 A （mm） （mm/s） （mm） 位置決め精度 TU 40 285 800 4、8 テーブル運動の平行度 B TSLH120M 300 500 5、10 ロストモーション TU 50 560 1 000 5、10 姿勢精度 TSLH220M 400 500 5、10 テーブル運動の平行度 A TU 60 1 010 1 860 5、10、20 真直度 TSLH320M 500 448 5、10 テーブル運動の平行度 B TU 86 1 400 1 480 10、20 バックラッシ TSLH420M 800 448 5、10 姿勢精度 TU 100 1 140 1 110 20 CTLH120M 300 × 300 500 5、10 真直度 TU 130 1 260 1 110 25 CTLH220M 400 × 400 500 5、10 バックラッシ Ⅱ‒30 Ⅱ‒118 CTLH320M 500 × 500 448 5、10 ページへ ページへ Ⅰ̶7 Ⅰ̶8

2014.03.03　初校　CAT-1556③　Ⅰ04-26 形式・サイズバリエーション② 多彩な形式・豊富なバリエーション 高精密位置決めテーブルTX マイクロ精密位置決めテーブルTM ボールねじ駆動 ボールねじ駆動 TX···M（ 単軸仕様） TM 直 線 CTX···M（ 二軸仕様） 直 線 ● 研削ボールねじ駆動で、断面高さ20mm、幅17mmの 極小サイズ ● 転がり案内タイプで究極の位置決め性能を実現 ● 高い位置決め精度と優れた耐久性 ● 超高精度リニアエンコーダ搭載の ● 用途で選べる2タイプのスライドテーブル形状 フルクローズドループ制御で高精度 ● 超小型センサを内蔵可能 ● 用途に合わせて選べる制御方式 精度 ● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様 仕様 繰返し位置決め精度 最大ストローク 最高速度 ボールねじリード 位置決め精度 仕様 精度 形式と大きさ （mm） （mm/s） （mm） ロストモーション 最大ストローク 最高速度 ボールねじリード 繰返し位置決め精度 形式と大きさ TM15 60 75 0.5、1.0、1.5 テーブル運動の平行度 A （mm） （mm/s） （mm） 位置決め精度 TM15G 50 75 0.5、1.0、1.5 テーブル運動の平行度 B TX 120M 300 500 5、10 ロストモーション 姿勢精度 TX 220M 400 500 5、10 テーブル運動の平行度 A 真直度 TX 320M 500 448 5、10 テーブル運動の平行度 B Ⅱ‒186 バックラッシ ページへ TX 420M 800 448 5、10 姿勢精度 CTX 120M 300 × 200 500 5、10 真直度 CTX 220M 400 × 300 500 5、10 バックラッシ Ⅱ‒146 精密位置決めテーブルTS・ページへ CT ボールねじ駆動 クリーン精密位置決めテーブルTC TS（ 単軸仕様）ボールねじ駆動 TC···EB CT（ 二軸仕様） 直 線 直 線 ● 断面高さが低くコンパクトな構造 ● 半導体・液晶関連製造装置など、高い清浄度が ● クロスローラウェイの採用により信頼性が高く 要求される環境下での使用に最適 高精度な位置決めが可能 ● 軽量・低断面・コンパクトな位置決めテーブル ● スライドテーブルの面積を生かしたコンパクトな設計が可能 ● 清浄度クラス3に対応 仕様 精度 ● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様 最大ストローク（mm） 最高速度 ボールねじリード 繰返し位置決め精度 形式と大きさ X軸 Y軸 （mm/s） （mm） 位置決め精度 仕様 精度 TS 55/ 55 ± 7.5 30 1 ロストモーション TS 75/ 75 ± 12.5 30 1 最大ストローク 最高速度 ボールねじリード 繰返し位置決め精度 TS 125/ 125 ± 25 250 1、2、5 テーブル運動の平行度 A 形式と大きさ （mm） （mm/s） （mm） 位置決め精度 TS 125/ 220 ± 60 250 2、5 テーブル運動の平行度 B TS 220/ 220 ± 60 250 2、5 TC50EB 200 400 4、 8 ロストモーション 姿勢精度 TS 220/ 310 ± 90 250 2、5 TC60EB 500 500 5、 10 テーブル運動の平行度 A TS 260/ 350 ± 125 250 2、5 真直度 ± 7.5 ± 7.5 30 1 TC86EB 800 1 000 10、 20 テーブル運動の平行度 B CT 55/ 55 バックラッシ CT 75/ 75 ± 12.5 ± 12.5 30 1 姿勢精度 CT 125/ 125 ± 25 ± 25 250 1、2、5 真直度 CT 220/ 220 ± 60 ± 60 250 2、5 CT 260/ 350 ± 75 ± 125 250 2、5 バックラッシ Ⅱ‒168 Ⅱ‒204 ページへ CT 350/ 350 ± 125 ± 125 250 2、5 ページへ Ⅰ̶9 Ⅰ̶10

2014.03.03　初校　CAT-1556③　Ⅰ04-26 形式・サイズバリエーション③ 多彩な形式・豊富なバリエーション 精密位置決めテーブルLB ナノリニア®NT タイミングベルト駆動 スタンダードタイプ リニアモータ駆動 TSLB 直 線 NT···V 直 線 ● タイミングベルト駆動で1500mm/sの高速移動が可能 ● コンパクト化を徹底的に追求 ● リニアウェイの並列使用で安定した高い走行性能 ● NT30Vは断面高さわずか8mmの超低断面 ● 最大1200mmのロングストローク ● 用途に合わせて最適な選択が可能な豊富なバリエーション ● 高加減速で高応答な位置決めを実現 ● XY2軸組合せ可能 仕様 精度 高精度タイプ 最大ストローク 最高速度 分解能 繰返し位置決め精度 リニアモータ駆動 形式と大きさ （mm） （mm/s） （mm） 位置決め精度 TSLB 90 600 1 500 0.1 ロストモーション NT···H 直 線 TSLB 120 1 000 1 500 0.1 テーブル運動の平行度 A TSLB 170 1 200 1 500 0.1 テーブル運動の平行度 B ● コンパクト化を徹底的に追求 姿勢精度 ● 高い姿勢精度 真直度 ● 高い速度安定性 バックラッシ ● シンプルなシステム構成 Ⅱ‒228 ページへ ピック&プレイスユニット NT···XZ リニアモータ駆動 NT···XZH 直 線 ● コンパクト化を徹底的に追求 ● 高タクトな位置決め ● 超薄型・省スペース ● 運転モニタ機能 仕様 精度 最大ストローク 最高速度 分解能 項　目 NT···V NT···H NT···XZ 形式と大きさ （mm） （mm/s） （μm） 繰返し位置決め精度 NT30V 20 500 0.1、 0.5 位置決め精度 NT38V 18 500 0.1、 0.5 ロストモーション NT55V 65 1 300 0.1、 0.5 テーブル運動の平行度 A NT80V 120 1 300 0.1、 0.5 テーブル運動の平行度 B NT88H 65 400 0.01、0.05 姿勢精度 NT80XZ 45 1 300 0.1、 0.5 真直度 NT90XZH 25 1 300 0.1、 0.5 バックラッシ Ⅱ‒240 ページへ Ⅰ̶11 Ⅰ̶12

2014.03.03　初校　CAT-1556③　Ⅰ04-26 形式・サイズバリエーション④ 多彩な形式・豊富なバリエーション アライメントステージSA リニアモータテーブルLT リニアモータ駆動 コンパクトタイプ リニアモータ駆動 SA···DE 直 線 アライメント LT···CE 直 線 ● XYθ3軸を組み合わせた断面高さが ● コンパクト わずか52mmの薄型・コンパクト（ SA65DE） ● 高い静止安定性 ● XY軸：0.1μm、θ軸：0.36秒の高分解能（ SA120DE） ● 高い速度安定性 ● XYθの組合せが自由自在 ● 高加減速・高応答 ● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様 仕様 精度 ロングストロークタイプ 最大ストローク 繰返し位置決め精度 リニアモータ駆動 形式と大きさ 最高速度 分解能 最大動作角度 位置決め精度 SA 65 DE/X 10（ mm） 500（mm/s） 0.1、0.5（μm） ロストモーション LT···LD 直 線 SA 120 DE/X 20（ mm） 800（mm/s） 0.1、0.5（μm） テーブル運動の平行度 A SA 200 DE/X 20（ mm） 800（mm/s） 0.1、0.5（μm） テーブル運動の平行度 B ● 超ロングストローク SA 65 DE/S 50（ 度） 720（度/s） 0.64（秒） 姿勢精度 ● 高い静止安定性 SA 120 DE/S 60（ 度） 400（度/s） 0.36（秒） 真直度 ● 高い速度安定性 SA 200 DE/S 280（ 度） 270（度/s） 0.25（秒） バックラッシ ● 高速・高分解能を両立 Ⅱ‒272 ● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様 ページへ ハイスラストタイプ LT···H リニアモータ駆動 LT···H2 直 線 ● 高推力 ● 高加減速・高応答で滑らかな作動 ● 高い静止安定性 ● 空冷可能 ● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様 仕様 精度 最大ストローク 最高速度 分解能 項　目 LT···CE LT···LD LT···H LT···H2 形式と大きさ （mm） （mm/s） （μm） 繰返し位置決め精度 LT100CE 1 000 2 000 0.1、0.5、1.0 位置決め精度 ロストモーション LT150CE 1 200 2 000 0.1、0.5、1.0 テーブル運動の平行度 A LT130LD 2 760 3 000 0.1、0.5、1.0 テーブル運動の平行度 B LT170LD 2 720 3 000 0.1、0.5、1.0 姿勢精度 LT170H 2 670 1 500 0.1、0.5、1.0 真直度 LT170H2 2 750 3 000 0.1、0.5、1.0 バックラッシ Ⅱ‒290 ページへ Ⅰ̶13 Ⅰ̶14

2014.03.03　初校　CAT-1556③　Ⅰ04-26 形式・サイズバリエーション⑤ 多彩な形式・豊富なバリエーション アライメントテーブルAT 精密昇降テーブルTZ ボールねじ駆動 ボールねじ駆動 AT アライメント TZ 直 線 ● 高精度の位置決めで精密角度補正が可能 ● 高い繰返し位置決め精度 ● 独自のくさび機構により、コンパクトで高精度な上下方向の ● クロスローラベアリングの採用で高剛性・コンパクト ● 3つのサイズをシリーズ化 位置決めが可能 仕様 精度 ● TZ···Xは、CルーブリニアローラウェイスーパーXを採用し、 最大動作角度 ボールねじリード ローテータ分解能 繰返し位置決め精度 姿勢精度 高精度・高剛性を実現 形式と大きさ （度） （mm） （μm） 位置決め精度 真直度 ● リニアエンコーダを取付け可能 AT120 ± 5 1 1 ロストモーション バックラッシ ● Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー AT200 ± 5 1 1 テーブル運動の平行度 A ● 2つの減速比をシリーズ化 AT300 ± 10 2 2 テーブル運動の平行度 B Ⅱ‒324 ページへ 仕様 精度 最大ストローク 最高速度 ボールねじリード 繰返し位置決め精度 回転ステージSK 形式と大きさ （mm） （mm/s） （mm） 位置決め精度 ウォームギア駆動 TZ120X 10 100 4 ロストモーション TZ200H 24 125 5 テーブル運動の平行度 A SK…W TZ200X 24 125 5 テーブル運動の平行度 B 回転 姿勢精度 真直度 ● クロスローラベアリングの採用で高剛性・コンパクト ● テーブルや検査対象物を直接取り付けることで、設計工数の バックラッシ Ⅱ‒358 ページへ ● 高精度でなめらかな位置決めが可能 削減を実現 仕様 精度 テーブルの直径 動作角度範囲 テーブルの最高回転数 繰返し位置決め精度 姿勢精度 パラレルドライブステージ® PD 形式と大きさ （mm） （度） （min-1） 位置決め精度 真直度 ボールねじ駆動 SK120W 115 360 ロストモーション バックラッシ 5 SK120W/SC 120 320 テーブル運動の平行度 A テーブル運動の平行度 B Ⅱ‒336 V PD…S XY方向 ページへ U ● ボールねじ駆動のXYステージとして極めて低い断面高さを実現 アライメントモジュールAM ● 独自の構造により可動部の配線やケーブルベアは不要、 ボールねじ駆動 Y X 省スペースと良好な作業性を両立 ● Ｃルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー AM ● 寸法変更や特殊仕様の追加など、お客様のご要望に アライメント 合わせた柔軟な対応が可能 仕様 精度 ● 用途に合わせて自由にステージを設計可能 ● 大型装置に最適 有効ストローク 最高速度 繰返し位置決め精度 ● 高さ寸法の許容差を±10μmに管理 ● 高精度・高剛性・高信頼性 ボールねじリード 形式と大きさ （mm） （mm/s） （ 位置決め精度 ● XYθの多彩な位置決め動作が可能 mm） 仕様 精度 X,Y方向 U,V方向 X,Y方向 U,V方向 ロストモーション 形式と大きさ 最大ストローク トラックレール長さ ボールねじリード 繰返し位置決め精度 姿勢精度 PD70S ± 10 ± 7 50 35 1 テーブル運動の平行度 A （mm） （mm） （mm） 位置決め精度 真直度 テーブル運動の平行度 B AM25 30 130 4 ロストモーション バックラッシ 姿勢精度 AM40 30 180 4 真直度 AM60 90 290 5 テーブル運動の平行度 A Ⅱ‒344 Ⅱ‒372 AM86 120 390 5 テーブル運動の平行度 B バックラッシ ページへ ページへ Ⅰ̶15 Ⅰ̶16

2014.03.03　初校　CAT-1556③　Ⅰ04-26 進化を続ける位置決め機構① 軽量・低断面の新感覚テーブルなら 超コンパクトを実現するなら 精密位置決めテーブルTE マイクロ精密位置決めテーブルTM TE···B TM 研削ボールねじ仕様で、断面高さ20mm、 幅17mmの極小サイズを実現 　テーブル案内部にトラックレール幅2mmのマイクロリニアウェイL、送り機構 にねじ径2mmのミニアチュアボールねじを採用。研削ボールねじ駆動では他に 類例のない断面高さを実現。 モータ カバー スライドテーブル 精密研削ボールねじ アンギュラベアリング 17m マイクロリニアウェイL m センサ ベッド ナノリニア®NT 主要構成部品に高強度アルミニウム合金を使用。 NT···V U字形のベッドの内側にスライドテーブルを配置した軽量・コンパクト構造！ コンパクト化を徹底的に追求。 シリーズ最小サイズのNT30V8は、 ● 質量 単位：kg 断面高さわずか8mm、テーブル幅30mm、 ベッド幅寸法（mm） TU TE···B 全長 50 1.8 0.52 56mmを実現 60 3.3 1.0 　テーブルをXYの積層状態に配置 86 10.9 3.7 しても、占有スペースが増大せず、 位置決め機構の更なる小形化に貢 スタンダードテーブル1個の時のテーブル全体の質量を示します。 献します。 形　式 NT···V リニアエンコーダ用ヘッド NT30V8 NT30V20 NT38V10 NT38V18 超小形直動案内機器 マイクロリニアウェイL 形式と大きさ 可動子マグネット 各種センサは取付け溝に直接取付け 38 30 可動テーブル 断面寸法 26 固定子コイル スライドテーブルと直動案内機器を ベッド 一体構造にした低断面・コンパクト設計！ 形　式 NT···V NT30V NT55V25 NT55V65 NT80V25 NT80V65 NT80V120 高強度アルミニウム合金製のスライド 形式と大きさ テーブルとベッドの採用で超軽量！ 50 50 TU50 TE50B 断面寸法 55 80 Ⅰ̶17 Ⅰ̶18 50 26 14 8 16 11 20mm

2014.03.03　初校　CAT-1556③　Ⅰ04-26 進化を続ける位置決め機構② 高精度を狙うなら 高精度位置決めと高速を両立するなら 高精密位置決めテーブルTX リニアモータテーブルLT TX···M、CTX···M LT···LD 超高精度リニアエンコーダの搭載により、 ダイレクトドライブにより高精度の位置決めと 高い位置決め精度と分解能を保証！ 高速を両立 　CルーブリニアローラウェイスーパーXの採用により、究極の走行性能を実現。 　ロングストロークの用途で要求される高速運転にも対応。 超高分解能リニアエンコーダによるフルクローズドループ制御を構成し、スト 最高速度3000mm/sまでの高速運転が可能です。 ローク全域において高い位置決め精度を保証しています。 6 000 10.0 最高速度：3000mm/s 実速度 試料：CTX220M-4030 5 000 指令速度 X軸 4 000 5.0 Y軸 3 000 2 000 0.0 1 000 0 -5.0 -1 000 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 -10.0 時　間　s 100 200 300 400 ストローク　mm ナノリニア®NT NT···H 高い速度安定性を実現するなら 高い姿勢精度を実現！ リニアモータテーブルLT 　高精度に加工した部品とラック&ピニオン内蔵形クロスローラウェイを組み合 LT···CE、LT···LD、LT···H、LT…H2 わせることにより、姿勢精度5秒以下を実現しています。移動による姿勢の変化 が極めて少なく、位置の再現性に優れています。 　ダイレクトドライブと先進のサーボ技術により、高い速度安定性を実現して います。 30 25 姿勢精度：5秒以下 12 20 15 11.5 10mm/s速度安定性（測定周波数1000Hz）：±1.78% 10 ピッチング 11 5 0 10.5 0 -5 ヨーイング 10 -10 9.5 -15 -20 9 -25 8.5 -30 0 10 20 30 40 50 60 8 0 1 2 3 4 5 ストローク　mm 時　間　s Ⅰ̶19 Ⅰ̶20 姿勢精度　秒 位置決め精度　μm 速　度　mm/s 速　度　mm/s

2014.03.03　初校　CAT-1556③　Ⅰ04-26 進化を続ける位置決め機構③ 豊富なオプション群で選ぶなら クリーン環境の用途なら 今すぐ必要な機能・性能を、呼び番号で指定するだけの簡単オーダーが可能！ クリーン精密位置決めテーブルTC TC···EB 精密位置決めテーブルTU 精密位置決めテーブルTE 清浄度クラス3を実現！ TU TE···B 　耐食性に優れたステンレスシート、サイドカバーにより、駆動部分やスライド テーブル案内部分を密閉。ステンレスシートはスライドテーブル内に設置された 樹脂製ローラによりサイドカバーに押し付けられ、強力マグネットシートにて確 実に吸着する構造を採用し、密閉された内部空間から空気を吸引することで、 テーブル周辺への発じんを防ぎます。 TC50EB150 ストローク：50mm ストローク：200mm 速 度：200mm/s TC50EB300 速 度：400mm/s （ボールねじのリード：4mm） 吸 引 量：5L/min （ボールねじのリード：8mm） 吸 引 量：10L/min 100 000 100 000 10 000 クラス5上限 10 000 クラス5上限 クラス4上限 スライドテーブルの形状 モータ折返し仕様 1 000 1 000 クラス4上限 用途に合わせて2種類の形状から選択することができます。 テーブルの全長を短くすることで、省スペース化を 100 クラス3上限 100 クラス3上限 図ることが可能です。 10 クラス2上限 10 クラス2上限 測定値 クラス1上限 クラス1上限 測定値 1 1 0.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上 0.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上 ブリッジカバー付き 粒子径 粒子径 テーブルへの異物落下防止のため TC60EB300 ストローク：200mm 速 度：500mm/s TC60EB600 ストローク：500mm ブリッジカバー付き仕様を選択 速 度：500mm/s （ボールねじのリード：10mm） 吸 引 量：30L/min （ボールねじのリード：10mm） 吸 引 量：30L/min できます。 100 000 100 000 スタンダード フランジ付き ショート、スタンダード、ロング ショート、スタンダード、ロング 10 000 クラス5上限 10 000 クラス5上限 1 000 クラス4上限 1 000 クラス4上限 スライドテーブルの個数 ジャバラ付きテーブル 100 クラス3上限 100 クラス3上限 測定値 負荷荷重やモーメントの大きさに応じて、トラックレールに テーブル内部への異物の侵入を防止する 測定値 組み込むスライドテーブルの数を2個にすることができます。 ジャバラ付き仕様を選択できます。 10 クラス1上限 10 クラス1上限 クラス2上限 クラス2上限 1 1 0.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上 0.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上 粒子径 粒子径 TC86EB640 ストローク：200mm TC86EB940 ストローク：800mm 速 度：1000mm/s 速 度：560mm/s （ボールねじのリード：20mm） 吸 引 量：70L/min （ボールねじのリード：20mm） 吸 引 量：40L/min 100 000 100 000 黒色クロム皮膜処理 10 000 クラス5上限 10 000 クラス5上限 ボールねじの種類とリード スライドテーブルやボールねじの表面に 黒色の浸透性皮膜を形成することで、 1 000 クラス4上限 1 000 クラス4上限 要求される精度に応じて、転造ボールねじと研削ボールねじから 選択することができます。 耐食性を向上させます。 100 クラス3上限 100 クラス3上限 測定値 また、ボールねじのリードも選択できます。 10 測定値 クラス1上限 10 クラス1上限 クラス2上限 クラス2上限 1 1 0.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上 0.1μm以上 0.2μm以上 0.3μm以上 0.5μm以上 粒子径 粒子径 Ⅰ̶21 Ⅰ̶22 粒子濃度　個/m3 粒子濃度　個/m3 粒子濃度　個/m3 粒子濃度　個/m3 粒子濃度　個/m3 粒子濃度　個/m3

2014.03.03　初校　CAT-1556③　Ⅰ04-26 進化を続ける位置決め機構④ メンテナンスフリーを考えるなら 多様化するニーズに対応するなら 新発想・世界初の【Cルーブ】を内蔵した構造 豊富な特殊ステージの実績で、様々な軸構成のステージなどのお客様のご要望に Cルーブ内蔵 きめ細かくお応えします。ご要望の際はIKOにお問い合わせください。 転動体の循環で潤滑油を運搬 転動体表面に直接潤滑油を供給 　潤滑油は、トラックレールではなく、直接転動体に供給されます。 　キャピラリー潤滑体の表面は、常に潤滑油で覆われています。 　スライドユニットの転動体循環路に内蔵されたキャピラリー潤滑体に転動 　キャピラリー潤滑体の表面に転動体が接触すると、表面張力により潤滑 体が接触したとき、転動体表面に潤滑油が供給され、転動体の循環により 油が途切れることなく転動体表面に供給されます。 負荷域に運ばれます。 　転動体が接触するキャピラリー潤滑体の表面には、他の部分から常に新 　その結果、負荷域では常に最適な油量が確保され、長期間潤滑性能を しい潤滑油が供給されます。 維持します。 円筒ころ 円筒ころ Cルーブ 円筒ころ 潤滑油膜 表面張力 トラックレ ール スライドユ ニットスト ローク方 向 Cルーブ 毛細管現象 Cルーブ Cルーブリニアウェイ Cルーブリニアローラウェイ ▲液晶基板製造装置 ▲液晶基板製造装置 アクアブルーの側板が アクアブルーの側板が メンテナンスフリーの目印です。 メンテナンスフリーの目印です。 ▲電子部品検査装置 ▲液晶基板検査装置 ● 精密位置決めテーブルTE ● 高精密位置決めテーブルTX ● 精密位置決めテーブルL ● ナノリニア®NT ● 精密位置決めテーブルLH ● アライメントステージSA ● クリーン精密位置決めテーブルTC ● リニアモータテーブルLT ● 精密昇降テーブルTZ ● パラレルドライブステージ®PD 【Cルーブ】を内蔵したシリーズ ▲液晶基板検査装置 Ⅰ̶23 Ⅰ̶24

2012.04.27　初校　CAT-1556　目次　Ⅱ01-02 各製品シリーズの解説と寸法表 ●精密位置決めテーブルＴＥ 解説・・Ⅱ- 5 寸法表・・Ⅱ- 17 ●精密位置決めテーブルＴＵ 解説・・Ⅱ- 31 寸法表・・Ⅱ- 65 ●精密位置決めテーブルＬ 解説・・Ⅱ- 99 寸法表・・Ⅱ-112 ●精密位置決めテーブルＬＨ 解説・・Ⅱ-119 寸法表・・Ⅱ-133 ●高精密位置決めテーブルTX 解説・・Ⅱ-147 寸法表・・Ⅱ-160 ●クリーン精密位置決めテーブルＴＣ 解説・・Ⅱ-169 寸法表・・Ⅱ-182 ●マイクロ精密位置決めテーブルＴＭ 解説・・Ⅱ-187 寸法表・・Ⅱ-201 ●精密位置決めテーブルTS・CT 解説・・Ⅱ-205 寸法表・・Ⅱ-218 ●精密位置決めテーブルLB 解説・・Ⅱ-229 寸法表・・Ⅱ-236 ●ナノリニア®ＮＴ 解説・・Ⅱ-241 寸法表・・Ⅱ-266 ●アライメントステージSA 解説・・Ⅱ-273 寸法表・・Ⅱ-282 ●リニアモータテーブルLT 解説・・Ⅱ-291 寸法表・・Ⅱ-311 ●アライメントテーブルAT 解説・・Ⅱ-325 寸法表・・Ⅱ-332 ●回転ステージSK 解説・・Ⅱ-337 寸法表・・Ⅱ-342 ●アライメントモジュールAM 解説・・Ⅱ-345 寸法表・・Ⅱ-353 ●精密昇降テーブルTZ 解説・・Ⅱ-359 寸法表・・Ⅱ-367 ●パラレルドライブステージ®PD 解説・・Ⅱ-373 寸法表・・Ⅱ-378 ●リニアモータ駆動テーブル用ドライバ仕様一覧 解説・・Ⅱ-380 総合解説 ●総合解説 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ Ⅲ-2 Ⅱ̶1 Ⅱ̶2

TE…B Ⅱ̶3 Ⅱ̶4 TE…B

精密位置決めテーブル TE TE・・・B Points ●用途に合わせたテーブル仕様が選択可能 2スライドテーブルの形状は、スタンダードとフランジ 付きの2タイプ。スライドテーブルの個数やモータの ●軽量・低断面・高精度な位置決めテーブル 折返し仕様、ボールねじのリード、防じん用カバーの 1主要構成部品に高強度アルミニウム合金を使用し、 有無、各種センサの取付けなどが指定できるので、機械･ U字形のベッドの内側にスライドテーブルを配置した、 装置の仕様に合わせて最適な製品が選択できます。 モータブラケット 軽量・低断面・コンパクトな位置決めテーブルです。 スライドテーブル テーブル全体の質量がTUシリーズの約40％に軽減。 ●優れたコストパフォーマンス 断面高さはTE50Bで26mm、TE60Bで33mm、 3部品点数の削減、部品形状の最適化により、優れたコ TE86Bで46mmと低断面で、各種センサはベッドの ストパフォーマンスを実現しています。 センサ取付け溝に直接取り付ける構造になっている ので、省スペース化に貢献します。 ボールねじ 精密位置決めテーブルTUとの比較 ●断面高さ TE50B TU50 TE60B TU60 TE86B TU86 センサ取付け溝 ベッド リニアウェイ ●質量 エンドブラケット 形式と大きさ ストローク長さ(mm) 全長(mm) 質量(kg) 質量/100mm(kg) TE50B 60 218 0.52 0.24 TU50 60 226 1.8 0.80 TE60B 100 269 1.0 0.37 TU60 100 298 3.3 1.11 TE86B 300 523 3.7 0.71 主な製品仕様 精 度　　 TU86 250 498 10.9 2.19 単位 mm 駆動 精密ボールねじ 繰返し位置決め精度 ±0.002～0.020 直動案内機器 リニアウェイ（ボールタイプ） 位置決め精度 0.035～0.065 バリエーション 潤滑部品の内蔵 潤滑部品「Ｃルーブ」内蔵 ロストモーション － ベッド幅寸法(mm) テーブル・ベッドの材質 高強度アルミニウム合金 テーブル運動の平行度A － 形状 形式 50 60 86 センサ 呼び番号で選択 テーブル運動の平行度B 0.008～0.016 スタンダード TE…BS ☆ ☆ ☆ 姿勢精度 － 真直度 － フランジ付き TE…BF ☆ ☆ ☆ バックラッシ 0.005 Ⅱ̶5 Ⅱ̶6 TE…B

呼び番号 　 　 呼び番号と仕様の詳細 表2.1　モータアタッチメントの適用（モータストレート仕様） 呼び番号の配列例 1 2 1 3 4 5 6 7 8 9 使用モータ モータアタッチメント フランジ角 TE 50 B F 300 / AT001 8 S C 3 定格出力 種類 メーカ シリーズ 形式 mm TE50B TE60B TE86B W SGM7J-A5A AT001 AT002 － 50 SGM7A-A5A □ AT001 AT002 － 40 ㈱安川電機 Σ SGM7J-01A － AT002 － 1 形式 -7 100 Ⅱ̶7ページ SGM7A-01A － AT002 － SGM7J-02A 200 □ － － AT003 60 2 大きさ SGM7A-02A － － AT003 Ⅱ̶7ページ HG-MR053 AT001 AT002 － 50 HG-KR053/HK-KT053W □ AT001 AT002 － 3 スライドテーブルの形状 ACサーボ 40 Ⅱ̶7ページ モータ 三菱電機㈱ HG-MR13 － AT002 － J4/J5 100 HG-KR13/HK-KT13W － AT002 － HG-MR23 － － AT003 4 ベッド長さ 200 □60 HG-KR23/HK-KT23W － － AT003 Ⅱ̶7ページ MSMF5A 50 □ AT004 AT005 － パナソニック㈱ 38 MINAS A6 MSMF01 100 － AT005 － 5 モータ折返し仕様・ MSMF02 200 □60 － － AT006 モータアタッチメントの指定 Ⅱ̶7ページ ㈱日立産機 ADMA-R5L 50 □ AT001 AT002 － 40 システム AD ADMA-01L 100 － AT002 － 6 ボールねじのリード ADMA-02L 200 □60 － － AT003 Ⅱ̶9ページ ARM46 □42 AT007 － － αステップ ステッピング オリエンタル ARM66 □60 － － AT008 7 スライドテーブルの個数 モータ モーター㈱ ARM69 □60 － － AT008 Ⅱ̶9ページ PK54 □42 AT009 － － PK 　 PK56（1） □60 － AT010 AT011 8 カバー仕様 注（1） モータ出力軸外径φ8に適用します。 Ⅱ̶9ページ 備考 モータの詳細仕様は、各モータメーカのカタログをご参照ください。 9 センサ仕様 Ⅱ̶9ページ 表2.2　モータアタッチメントの適用（モータ折返し仕様） 使用モータ モータアタッチメント フランジ角 定格出力 種類 メーカ シリーズ 形式 mm TE50B TE60B TE86B 呼び番号と仕様の詳細 　 　 W SGM7J-A5A AR001 AR002 － 50 SGM7A-A5A □ AR001 AR002 － 40 ㈱安川電機 Σ SGM7J-01A － AR002 － 1 形式 -7 100 TE…B：精密位置決めテーブルTE SGM7A-01A － AR002 － SGM7J-02A － － AR003 200 □60 2 大きさ SGM7A-02A － － AR003 大きさは、ベッド幅寸法を示しています。 HG-MR053 AR001 AR002 － 表1に示す大きさから選択します。 50 HG-KR053/HK-KT053W □ AR001 AR002 － 40 ACサーボ モータ 三菱電機㈱ HG-MR13 － AR002 － J4/J5 100 3 スライドテーブルの形状 S：スタンダードテーブル HG-KR13/HK-KT13W － AR002 － HG-MR23 － － AR003 F：フランジ付きスタンダードテーブル 200 □60 HG-KR23/HK-KT23W － － AR003 MSMF5A 50 □ AR004 AR005 － 4 ベッド長さ 表1に示すベッド長さから選択します。 パナソニック㈱ 38 MINAS A6 MSMF01 100 － AR005 － MSMF02 200 □60 － － AR006 表1　大きさとベッド長さ 単位　mm ADMA-R5L 50 □ AR001 AR002 － ㈱日立産機 40 形式と大きさ ベッド幅寸法 ベッド長さ システム AD ADMA-01L 100 － AR002 － ADMA-02L 200 □60 － － AR003 TE50B 50 150、200、250、300、400、500 ステッピング オリエンタル αステップ ARM46 □42 AR007 － － TE60B 60 150、200、300、400、500、600、700 モータ モーター㈱ PK PK54 □42 AR008 － － TE86B 86 340、440、540、640、740、840、940 備考　モータの詳細仕様は、各モータメーカのカタログをご参照ください。 備考　ストローク長さはⅡ̶17ページ以降の寸法表をご参照ください。 表3　カップリングの形式（モータストレート仕様） 5 モータ折返し仕様・ AT000 ：モータストレート仕様　モータアタッチメントなし モータアタッチメントの指定 モータ カップリングのイナーシャ AT001～AT011 ：モータストレート仕様　モータアタッチメント付き カップリングの形式 メーカ JC アタッチメント ×10-5kg･m2 AR000 ：モータ折返し仕様　　　モータアタッチメントなし AT001 XGS-19C- 5× 8 鍋屋バイテック会社 0.062 AR001～AR008： モータ折返し仕様　　　モータアタッチメント付き AT002 XGS-19C- 5× 8 鍋屋バイテック会社 0.062 モータアタッチメントをご指定の場合は、表2.1、表2.2より選択します。 AT003 XGS-30C- 8×14 鍋屋バイテック会社 0.55 ・モータ折返し仕様とご使用になるモータに適用するモータアタッチメントをご指定ください。 AT004 XGS-19C- 5× 8 鍋屋バイテック会社 0.062 ・モータストレート仕様の場合、モータアタッチメント付きを指定すると表3に示すカップリングが本体に AT005 XGS-19C- 5× 8 鍋屋バイテック会社 0.062 取り付けられて出荷されます。ただし、仮固定となっていますので、最終位置調整はお客様にて行ってく AT006 XGS-30C- 8×11 鍋屋バイテック会社 0.55 ださい。モータアタッチメントなし（AT000）の場合、カップリングは付属されません。 AT007 XGS-19C- 5× 6 鍋屋バイテック会社 0.062 AT008 XGS-30C- 8×10 鍋屋バイテック会社 0.55 ・モータ折返し仕様の場合、モータアタッチメント付きを指定すると「指定したモータに適合するハウジング、 AT009 XGS-19C- 5× 5 鍋屋バイテック会社 0.062 プーリ（モータ側とボールねじ側）、カバー、モータブラケット、ベルトおよび組立に必要なボルト類」が AT010 XGS-19C- 5× 8 鍋屋バイテック会社 0.062 添付されます。モータ取付け用ボルトはお客様にてご用意いただきます。 AT011 XGS-30C- 8× 8 鍋屋バイテック会社 0.55 備考　カップリングの詳細仕様は、メーカのカタログをご参照ください。 Ⅱ̶7 Ⅱ̶8 TE…B

呼び番号と仕様の詳細 諸特性 　 　 6 ボールねじのリード 表5　最大搭載質量 下表に示す大きさとベッド長さに適用するボールねじのリードから選択します。 搭載質量の重心位置 最大搭載質量 kg ボールねじのリード　mm mm 水平方向 垂直方向 形式と大きさ ベッド長さ　mm 4 5 8 10 20 形式と大きさ ボールねじのリード 長さ寸法 mm L 300以下 ○ － ○ － － TE50B 高さ寸法 0 100 200 300 0 100 200 300 400以上 － － ○ － － H 600以下 － ○ － ○ － 0 12 8 4.4 3.0 11 7 3.8 2.6 TE60B 700 － － － － ○ 100 12 8 4.2 2.9 6 4.0 2.8 2.1 4 TE86B 全て － － － ○ ○ 200 12 7 4.1 2.8 3.6 2.8 2.1 1.7 300 12 6 3.9 2.7 2.5 2.1 1.7 1.4 TE50B 0 12 7 4.0 2.7 7 5 2.9 2.0 7 スライドテーブルの個数 S：1個 100 12 6 3.7 2.5 5 3.4 2.3 1.7 8 C：2個 200 12 6 3.4 2.4 2.8 2.2 1.8 1.4 300 11 5 3.2 2.3 1.9 1.6 1.4 1.2 0 17 14 7 4.9 13 10 5 3.8 8 カバー仕様 0：カバーなし 100 17 13 7 4.8 9 6 4.4 3.2 5 C：ブリッジカバー付き（TE…BFに適用） 200 17 12 6 4.6 5 4.2 3.5 2.8 300 17 11 6 4.4 3.7 3.1 2.7 2.4 9 センサ仕様 0 17 12 6 4.4 8 8 4.3 3.0 0：センサなし 100 17 10 6 4.1 7 5 3.4 2.5 TE60B 10 2：センサ2個取付け（リミット） 200 17 9 5 3.9 4.1 3.3 2.7 2.1 3：センサ3個取付け（リミット、原点前） 300 13 8 5 3.7 2.8 2.4 2.1 1.8 4：センサ4個取付け（リミット、原点前、原点） 0 17 9 5 3.6 7 5 3.2 2.2 5：センサ2個添付　（リミット用） 100 13 6 4.3 3.2 5 3.7 2.5 1.8 20 6：センサ3個添付　（リミット、原点前） 200 7 4.9 3.5 2.7 3.0 2.4 1.9 1.5 7：センサ4個添付　（リミット、原点前、原点） 300 5 3.9 3.0 2.4 2.1 1.7 1.5 1.3 0 36 36 19 12 18 18 13 9 センサ取付け（記号2、3、4）を指定した場合、センサがベッド側面のセンサ取付け溝に、2枚の遮へい板 100 36 31 17 12 18 15 10 7 がスライドテーブルに取り付けられます。 10 200 36 26 16 11 12 10 8 6 センサ添付（記号5、6、7）を指定した場合、指定個数のセンサの他、センサ取付けねじ、ナット、遮へい 300 36 23 14 10 9 7 6 5 TE86B 板（2枚）、遮へい板取付けねじが添付されます。 0 29 28 15 10 10 10 10 6 100 29 19 13 9 10 10 7 5 20 200 23 15 11 8 9 7 6 5 300 17 12 9 7 6 5 4.8 4.3 表4　精度 単位　mm 備考1. フランジ付きスタンダードテーブルでスライドテーブル1個の場合です。 　　2. 最大搭載質量は、モータ回転数3000min-1、加減速時間0.2sで連続運転した時に直動案内機器、ボールねじまたはベアリングの定格寿命が18000時 形式と 繰返し テーブル運動 ベッド長さ 位置決め精度（1） バックラッシ（1） 間になる質量、および直動案内機器の基本静定格荷重を基準に算出した質量を考慮した値です。 大きさ 位置決め精度 の平行度　B 　　3. 選定時はⅢ-18ページの最大可搬質量も併せてご確認下さい。 150 0.035 200 0.008 L 250 ±0.002 TE50B （± 0.040 0.005 300 0.020） 400 0.010 0.045 500 0.012 150 0.035 200 0.008 300 0.040 L H ±0.002 TE60B 400 （± 0.005 0.020） 0.045 搭載質量W 500 0.010 600 0.050 700 0.060 0.012 搭載質量W 340 0.040 0.008 440 0.045 搭載質量の重心位置 搭載質量の重心位置 0.010 540 （水平方向） （垂直方向） ±0.002 0.050 TE86B 640 （± 0. 0.020） 005 0.012 740 0.055 840 0.014 0.065 940 0.016 注（1） モータ折返し仕様のテーブルには、適用しません。 備考 （　）内の値は、モータ折返し仕様のテーブルにおいてタイミングベルトの張力が適正に調整されている場合の参考値です。 Ⅱ̶9 Ⅱ̶10 H TE…B

諸特性 　 ■許容モーメント 表9.2　ボールねじの仕様2 単位　mm 形式と大きさ ベッド長さ ねじ外径 全　長 許容モーメントとは、機能上、性能上支障なく使用することができる静的な最大モーメントです。このため許容モーメントの値を超えない範 150 192.5 囲でご使用ください。 200 242.5 250 292.5 TE50B 8 表6　許容モーメント 300 342.5 400 442.5 許容モーメント（1）　N・m 形式と大きさ 500 542.5 T0 TX T 150 194 Y TE50B 9.8（19.6） 9.8（48.4） 9.8（48.4） 200 244 300 344 TE60B 16.7（33.4） 16.7（88.1） 16.7（88.1） TE60B 400 10 444 TE86B 49.0（98.0） 49.0（247.0） 49.0（247.0） 500 544 注（1）　（　）内の値はスライドテーブル2個密着時の値です。 600 644 700 744 T T T 340 395 0 X Y 440 495 540 595 TE86B 640 12 695 740 795 840 895 940 995 表10　ベッドの断面2次モーメント Y軸 表7　直動案内部の定格荷重 形式と 基本動定格荷重　C 基本静定格荷重　C 静定格モーメント（1）　N・m 0 大きさ N N T0 TX TY TE50B 8 490 12 500 211（ 422） 99.5（ 508） 99.5（ 508） TE60B 12 400 17 100 354（ 708） 151 （ 795） 151 （ 795） TE86B 26 800 35 900 1 110（2 220） 472 （2 400） 472 （2 400） X軸 注（1）　上図の方向の値で、（　）内の値はスライドテーブル2個密着時の値です。 表8　最高速度 断面2次モーメント　mm4 形式と 重心点 最高速度　mm/s 形式と ベッド長さ モータの種類 大きさ e IX IY mm 大きさ mm リード リード リード リード リード 4mm 5mm 8mm 10mm 20mm TE50B 1.3×104 1.2×105 6.4 300以下 400 － 800 － － TE60B 4.7×104 3.2×105 8.8 TE50B 400　　 － － 800 － － TE86B 2.0×105 1.3×106 13.0 500　　 － － 620 － － 表11　テーブルイナーシャと起動トルク 500以下 － 500 － 1 000 － テーブルイナーシャ　J（2 T ） TE60B 600　　 － 350 － 710 － ×10-5kg･m2 ACサーボ 起動 ベッド モー 700　　 － － － － タ 960 形式と フランジ付き トルク 540以下 － － － 930 1 860 長さ スタンダードテーブル 大きさ スタンダードテーブル T（1 m S ） 640　　 － － － 830 1 630 m リード リード N･m TE86B 740　　 － － － 590 1 170 4mm 5mm 8mm 10mm 20mm 4mm 5mm 8mm 10mm 20mm 840　　 － － － 440 880 150 0.057 － 0.071 － － 0.060 － 0.084 － － 940　　 － － － 340 690 200 0.069 － 0.083 － － 0.072 － 0.096 － － 300以下 120 － 240 － － 250 0.085 － 0.099 － － 0.088 － 0.112 － － TE50B 400　　 － － 240 － － TE50B 0.03 300 0.097 － 0.111 － － 0.100 － 0.124 － － ステッピング 500　　 － － 240 － － 400 － － 0.139 － － － － 0.152 － － モータ 600以下 － 150 － 300 － 500 － － 0.167 － － － － 0.180 － － TE60B 700　　 － － － － 600 150 － 0.13 － 0.17 － － 0.14 － 0.20 － 200 － 0.19 － 0.23 － － 0.20 － 0.26 － TE86B 940以下 － － － 300 600 300 － 0.26 － 0.30 － － 0.27 － 0.33 － 備考　実際の最高速度は使用モータや負荷条件などに応じた運転パターンの検討が必要です。 TE60B 400 － 0.33 － 0.36 － － 0.34 － 0.40 － 0.03 500 － 0.40 － 0.44 － － 0.41 － 0.47 － 表9.1　ボールねじの仕様1 600 － 0.47 － 0.51 － － 0.48 － 0.54 － 形式と リード ねじ外径 基本動定格荷重　C 基本静定格荷重　C 700 － － － － 0.76 － － － － 0.88 0 大きさ mm mm N N 340 － － － 0.73 1.19 － － － 0.81 1.50 440 － － － 0.88 1.35 － － － 0.95 1.64 4 2 290 3 575 TE50B 8 540 － － － 1.03 1.50 － － － 1.11 1.80 8 1 450 2 155 TE86B 640 － － － 1.18 1.64 － － － 1.25 1.95 0.05 5 2 730 4 410 740 － － － 1.33 1.79 － － － 1.41 2.10 TE60B 10 10 1 720 2 745 840 － － － 1.48 1.94 － － － 1.56 2.25 20 1 636 2 790 940 － － － 1.63 2.10 － － － 1.71 2.40 10 3 820 6 480 注（1） スライドテーブルを2個使用する場合は約1.5倍に、モータ折返し仕様のテーブルは約2倍になります。 TE86B 12 　（2 20 2 300 3 920 ） モータ折返し仕様の場合、表中の数値に下記の値を加算してください。 TE50B：0.17×10-5kg･m2、TE60B：0.39×10-5kg･m2、TE86B：0.86×10-5kg･m2 Ⅱ̶11 Ⅱ̶12 e TE…B

取付け 　 　 センサ仕様 　 　 精密位置決めテーブルの取付面の加工精度や固定ねじの締付トルクについては、Ⅲ-35～Ⅲ-36ページをご参照ください。 表12　センサのタイミングチャート モータストレート仕様 モータ折返し仕様 　 　 精密位置決めテーブルTEは、モータ折返し仕様を用意していますので、モータを折り返してテーブルの全長を短くすることで、省スペース 化を図ることが可能です。モータ折返し仕様の寸法は、各寸法表をご参照ください。 CW CCW モータ折返し仕様の場合は、「指定したモータに適合するハウジング、プーリ（モータ側とボールねじ側）、カバー、モータブラケット、ベル トおよび組立に必要なボルト類」が添付されますので、お客様にて組立を行ってください。ただし、モータ取付け用ボルトはお客様にてご用意 いただきます。モータアタッチメントは下図のように4方向に取り付けることが可能です。 モータ折返し方向によって、ベッド下面よりモータアタッチメントまたはモータが低くなる寸法が異なります。Ⅱ-23～Ⅱ-28ページの寸法 A 表に概略値が記載してありますので、周辺部品が干渉しないよう余裕を持って設計を行ってください。 ON 原点 14 B OFF 原点前 モータ上方向折返し モータ左方向折返し C OFF CCWリミット ストローク長さ OFF CWリミット （D） （E） メカストッパ モータ下方向折返し モータ右方向折返し モータ折返し仕様 CCW CW A ON 原点 スライドテーブル2個仕様 　 　 14 B 精密位置決めテーブルTEには、スライドテーブル2個仕様を用意しています。モータ側スライドテーブルにはボールねじのナットが取り付け OFF 原点前 られており、モータにより駆動することが可能です（駆動テーブル）。反モータ側スライドテーブルにはボールねじのナットが取り付けてられ ておらずフリー状態です（従動テーブル）。 C OFF CWリミット 2個のスライドテーブルを連結して使用することにより、モーメントに強い構成にすることが可能です（表6）。スライドテーブルを連結する 場合は，Ⅱ-17～Ⅱ-28ページの寸法表に記載してある「2個密着時中心間寸法」以上の間隔でご使用ください。（間隔を広げるとストロークは OFF ストローク長さ CCWリミット 短くなります） （D） （E） メカストッパ 単位　mm 2個密着時中心間寸法 形式と ボールねじの 大きさ リード A B C D（1） E 4 2 TE50B 33 10 6 （ 9 ） 5 8 6 5 3 TE60B 10 44 7 20 9.5（ 8.5） 9 20 12 10 7 TE86B 50 20 11 （11 ） 10 従動テーブル 駆動テーブル 20 12 注（1） （　）内の値は、スライドテーブルの個数が2個の場合の寸法を示します。 備考1. センサの取付けは呼び番号で指定します。 　　2. 各センサ仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。 　　3. モータ折返し仕様の場合はCW･CCWが反転します。 Ⅱ̶13 Ⅱ̶14 TE…B