玉軸受形ターボ分子ポンプ

1_ 表 4、表 1 TMP-J-01 TMP-BB-J-00 Turbo Molecular Pumps 玉軸受形ターボ分子ポンプ Turbo Molecular Pumps TG-FSERIES/TGSERIES/TSSERIES 安全にお使いいただくために 本カタログに記載された製品を正しくお使いいただくため、ご使用の前に必ず取扱説明書をよくお読み下さい。 注意事項 「外国為替及び外国貿易法」に定める規制貨物に該当する場合には、同法に基づく許可を要することがあります。 株式会社 大阪真空機器製作所 ホームページ https://www.osakavacuum.co.jp/ 国内営業拠点 西日本営業部 〒541-0042 大阪市中央区今橋3-3-13 TEL 06-6203-3981 FAX 06-6222-3645 東日本営業部 〒104-0061 東京都中央区銀座8-14-14 TEL 03-3546-3731 FAX 03-3546-1560 名古屋営業部 〒460-0002 名古屋市中区丸の内3-18-1 TEL 052-950-3051 FAX 052-950-3062 e-mail ：info@osakavacuum.co.jp 本カタログに記載の事項を無断で転載することはご遠慮ください。通告なしに記載事項を変更することがあります。 ����.��.PDF（CR）

大阪真空の玉軸受形ターボ分子ポンプ TMPサポート拠点 ターボ分子ポンプは、内部にあるロータの構造とそのロータの軸受構造により分類されます。 ロータ構造は、大阪真空が世界で初めて開発した「複合ロータ（タービン翼＋ヘリカル溝）」とタービン翼だけの「全翼ロータ」とねじ溝だけの 「ヘリカル溝ロータ」の３種類に分類されます。また、ロータの軸受構造は、「玉軸受形」と「磁気軸受形」と「ハイブリッド形（永久磁石＋玉軸受）」 の３種類が存在します。 中国 上海欧洒卡真空 U.S.A. 大阪真空は、ロータ構造が「複合ロータ」で軸受構造が玉軸受形と磁気軸受形、ロータ構造が「ヘリカル溝ロータ」で軸受構造が玉軸受形のターボ Osaka Vacuum U.S.A.、 Europe Ebara Precision Machinery Europe GmbH Ebara Technologies Inc. 分子ポンプをラインアップしております。 韓国 ソウル支店、新元技術 大阪真空の玉軸受形ターボ分子ポンプは、高速回転する複合ロータやヘリカル溝ロータを玉軸受で支持する構造を持っております。玉軸受形ターボ 分子ポンプはさらに、軸受の潤滑剤により「グリス潤滑」玉軸受形ターボ分子ポンプと「油潤滑」玉軸受形ターボ分子ポンプに分類されます。 本カタログでは、複合ロータでグリス潤滑玉軸受形の「TG-F シリーズ」、複合ロータで油潤滑玉軸受形の「TG シリーズ」、ヘリカル溝ロータで油 潤滑玉軸受形の「TS シリーズ」の３シリーズを紹介します。 TG-F シリーズ TG シリーズ TS シリーズ 日 本 名張工場　TMPサービスグループ 台湾 九徳松益 複合ロータを採用し、コンパクトかつ堅牢な設 複合ロータを採用し、腐食性ガスに対応した仕 全段ヘリカル溝ロータを採用し、大容量・高圧 計を実現。耐衝撃性が高く、可搬式装置や装置 様もラインアップ 縮比に対応 の可動部への搭載が可能。 営業 フィールドサポート 修理 現地在庫 日 本 中 国 玉軸受形ターボ分子ポンプ　ラインアップ一覧 名張工場　TMP サービスグループ 上海欧洒卡真空機器有限公司 ※1　腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応の TG シリーズ・TS シリーズをお選びください。 ※2 　□は、P. 12 の「 型式説明」を参照してください。 〒518-0605　三重県名張市八幡 1300-81 South A, T52-4-1F, No.1510, Chuanqiao Rd., Pudong, ● TEL : 0595-64-1162 Shanghai 201206, P.R. China TG-F SERIES TG SERIES TS SERIES ●FAX : 0595-64-1163 ● TEL : +86-21-5031-1522 P. 3 ～ P. 11 P. 13 ～ P. 17 P. 18 ～ P. 20 ●FAX : +86-21-5031-1523 ロータ形式 複合ロータ 複合ロータ ヘリカル溝 軸受形式 グリス潤滑玉軸受形 油潤滑玉軸受形 U.S.A. 韓 国 パワーサプライ 一体型 分離型 分離型 Osaka Vacuum U.S.A., Inc. ソウル支店（販売） 仕様種別 標準仕様 標準仕様 ケミカル仕様 標準仕様 ケミカル仕様 48000 Fremont Blvd. Fremont, CA 94538, U.S.A. 805 Leaders Bldgs., hwangsaeul-ro 311beon-gil 14, TG50F□□B 65A TG60F□□B ● TEL : +1-510-770-0100 Seohyeon-dong, Bundang-gu, Seongnam-si, Gyeonggi-do, TG70F□□B TG60F□□B-20 1 3590, Korea TG70F□□B-20 ●FAX : +1-510-770-0104 ● TEL : +82-31-707-0002 TG220F□□B 100A ●FAX : TG240F□□B TG350F□□B TG203□□ TS50□□ +82-31-707-3339 TG240F□□B-20 Ebara Technologies Inc. TG450F□□B 新元技術株式会社（修理） 51 Main Avenue, Sacramento, CA 95838, U.S.A. 150A TG800F□□B TG553□□ TS440□□ TS443□□ TG800F□□AB-60 TG1003□□ 109, Gaetlbeol-ro, Yeonsu-gu, Incheon, Korea ● TEL : +1-916-920-5451 （ 7-24, Songdo-dong） TG1100F□□B ●FAX : +1-916-830-1900 吸気口 ● TEL : +82-32-814-6331 TG1100F□□AB-60 TG1303□□ 口径 200A ●FAX : +82-32-814-7301 TG1400F□□B 250A TG2400F□□B TG1803□□ TG2400F□□B-40 TG2810□□ TG2803□□ Europe 台 湾 300A TG3210□□ TG3213□□ Ebara Precision Machinery Europe GmbH 九徳松益股份有限公司 350A TG3410□□ TG3413□□ 2 Cochrane Square Brucefield Industrial Estate Livingston EH54 2-22 Nan Yuan Road, Chung Li City 32063 Taiwan, R.O.C. 9DR, UK 450A ● TEL : +886-3-452-6161 TG5000□□ TG5003□□ ● TEL : +44（0）1506-460232 ●FAX : +886-3-451-1347 500A TG5500□□ TG5503□□ ●FAX : +44（0）1506-460222 1 2

大阪真空の玉軸受形ターボ分子ポンプ TMPサポート拠点 ターボ分子ポンプは、内部にあるロータの構造とそのロータの軸受構造により分類されます。 ロータ構造は、大阪真空が世界で初めて開発した「複合ロータ（タービン翼＋ヘリカル溝）」とタービン翼だけの「全翼ロータ」とねじ溝だけの 「ヘリカル溝ロータ」の３種類に分類されます。また、ロータの軸受構造は、「玉軸受形」と「磁気軸受形」と「ハイブリッド形（永久磁石＋玉軸受）」 の３種類が存在します。 中国 上海欧洒卡真空 U.S.A. 大阪真空は、ロータ構造が「複合ロータ」で軸受構造が玉軸受形と磁気軸受形、ロータ構造が「ヘリカル溝ロータ」で軸受構造が玉軸受形のターボ Osaka Vacuum U.S.A.、 Europe Ebara Precision Machinery Europe GmbH Ebara Technologies Inc. 分子ポンプをラインアップしております。 韓国 ソウル支店、新元技術 大阪真空の玉軸受形ターボ分子ポンプは、高速回転する複合ロータやヘリカル溝ロータを玉軸受で支持する構造を持っております。玉軸受形ターボ 分子ポンプはさらに、軸受の潤滑剤により「グリス潤滑」玉軸受形ターボ分子ポンプと「油潤滑」玉軸受形ターボ分子ポンプに分類されます。 本カタログでは、複合ロータでグリス潤滑玉軸受形の「TG-F シリーズ」、複合ロータで油潤滑玉軸受形の「TG シリーズ」、ヘリカル溝ロータで油 潤滑玉軸受形の「TS シリーズ」の３シリーズを紹介します。 TG-F シリーズ TG シリーズ TS シリーズ 日 本 名張工場　TMPサービスグループ 台湾 九徳松益 複合ロータを採用し、コンパクトかつ堅牢な設 複合ロータを採用し、腐食性ガスに対応した仕 全段ヘリカル溝ロータを採用し、大容量・高圧 計を実現。耐衝撃性が高く、可搬式装置や装置 様もラインアップ 縮比に対応 の可動部への搭載が可能。 営業 フィールドサポート 修理 現地在庫 日 本 中 国 玉軸受形ターボ分子ポンプ　ラインアップ一覧 名張工場　TMP サービスグループ 上海欧洒卡真空機器有限公司 ※1　腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応の TG シリーズ・TS シリーズをお選びください。 ※2 　□は、P. 12 の「 型式説明」を参照してください。 〒518-0605　三重県名張市八幡 1300-81 South A, T52-4-1F, No.1510, Chuanqiao Rd., Pudong, ● TEL : 0595-64-1162 Shanghai 201206, P.R. China TG-F SERIES TG SERIES TS SERIES ●FAX : 0595-64-1163 ● TEL : +86-21-5031-1522 P. 3 ～ P. 11 P. 13 ～ P. 17 P. 18 ～ P. 20 ●FAX : +86-21-5031-1523 ロータ形式 複合ロータ 複合ロータ ヘリカル溝 軸受形式 グリス潤滑玉軸受形 油潤滑玉軸受形 U.S.A. 韓 国 パワーサプライ 一体型 分離型 分離型 Osaka Vacuum U.S.A., Inc. ソウル支店（販売） 仕様種別 標準仕様 標準仕様 ケミカル仕様 標準仕様 ケミカル仕様 48000 Fremont Blvd. Fremont, CA 94538, U.S.A. 805 Leaders Bldgs., hwangsaeul-ro 311beon-gil 14, TG50F□□B 65A TG60F□□B ● TEL : +1-510-770-0100 Seohyeon-dong, Bundang-gu, Seongnam-si, Gyeonggi-do, TG70F□□B TG60F□□B-20 1 3590, Korea TG70F□□B-20 ●FAX : +1-510-770-0104 ● TEL : +82-31-707-0002 TG220F□□B 100A ●FAX : TG240F□□B TG350F□□B TG203□□ TS50□□ +82-31-707-3339 TG240F□□B-20 Ebara Technologies Inc. TG450F□□B 新元技術株式会社（修理） 51 Main Avenue, Sacramento, CA 95838, U.S.A. 150A TG800F□□B TG553□□ TS440□□ TS443□□ TG800F□□AB-60 TG1003□□ 109, Gaetlbeol-ro, Yeonsu-gu, Incheon, Korea ● TEL : +1-916-920-5451 （ 7-24, Songdo-dong） TG1100F□□B ●FAX : +1-916-830-1900 吸気口 ● TEL : +82-32-814-6331 TG1100F□□AB-60 TG1303□□ 口径 200A ●FAX : +82-32-814-7301 TG1400F□□B 250A TG2400F□□B TG1803□□ TG2400F□□B-40 TG2810□□ TG2803□□ Europe 台 湾 300A TG3210□□ TG3213□□ Ebara Precision Machinery Europe GmbH 九徳松益股份有限公司 350A TG3410□□ TG3413□□ 2 Cochrane Square Brucefield Industrial Estate Livingston EH54 2-22 Nan Yuan Road, Chung Li City 32063 Taiwan, R.O.C. 9DR, UK 450A ● TEL : +886-3-452-6161 TG5000□□ TG5003□□ ● TEL : +44（0）1506-460232 ●FAX : +886-3-451-1347 500A TG5500□□ TG5503□□ ●FAX : +44（0）1506-460222 1 2

グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ 仕様 ポンプ型式 TG60F TG60F-20 TG70F TG70F-20 TG240F TG240F-20 TG-F ISO-R63 吸気口フランジ CF63 ISO-R63 ISO-R100 SERIES (KF40) ※3 CF63 CF100 排気口フランジ KF16 KF25 産業分野 冷却方式 自然空冷／強制空冷 強制空冷 N 70：ISO-R 2 60 240 光学産業 ディスプレイ 理化学機器 エネルギー 素材 自動車・航空 医療・医薬品 宇宙・研究開発 75：CF 排気速度（ L/s） N2 65：ISO-R （保護金網付） 55 70：CF 230 グリス潤滑形で50～ 2400L/sの排気容量の製品をラインアップ H2 22 40：ISO-R 45：CF 160 1999年の販売開始以来、TG-F シリーズは当社ターボ分子ポンプ製品群の中でもベストセラーを誇るモデル。グリス潤滑玉軸受構造の N2 2×107 1×108 最大圧縮比 採用により、コンパクトかつ堅牢な設計を実現。耐衝撃性が高く、可搬式装置や装置の可動部への搭載が可能。 H2 3×103 1×105 4×104 ISO-R ＜5×10-6 ＜5×10-7 ＜1×10-6 試験到達圧力（Pa） CF ＜1×10-6 ＜1×10-7 ＜5×10-7 Point 最大ガス流量 （sccm）※1 N 10：自然空冷 10：自然空冷 2 20：強制空冷 20：強制空冷 70 ▪ 取付方向に制限がないため倒立運転も可能。装置設計の自由度が広がります ▪ メンテナンスフリー：グリス補給不要で、オーバーホールサイクル 2 ～ 3 万時間 許容補助圧力（Pa） 800 1200 700 ▪ コンパクトな設計でかつ軽量 推奨補助ポンプ（L/min） ≧25 ≧80 ▪ 大気突入に対応した機種や、耐衝撃性が高く、可搬式装置や装置の可動部への搭載が可能な機種もラインアップ 起動時間（min） 1.5 ～ 2 2 ～ 2.5 5.5 ～ 7.5 ▪ コントローラ一体型の機種もラインアップ 停止時間（min） 15 ～ 25 20 ～ 25 40 ～ 60 取付姿勢 自在 断面図 ISO-R 3.4 3 2.6 7.3 6.9 質量（kg） CF 5.4 5 4.6 10.5 10.1 パワーサプライ型式 ※2 TC65 TC66 TC75 TC76 TC245 TC246 吸引気体の流れ 入力電圧 DC 24 V AC 100-230 V DC 24 V AC 100-230 V DC 24 V AC 100-230 V パージガスの流れ 入力周波数 50 / 60 Hz 最大所要電力 120 W 240 VA 120 W 240 VA 75 W 170 VA 相数 -- 単相 -- 単相 -- 単相 出力周波数（Hz） 1150 1500 800 動翼 吸気口フランジ 質量（kg） -- 2.4 -- 2.4 -- 2.4 通信インターフェース Parallel I/O・RS232C ※1：補助ポンプ容量を 25L/min（TG60F/70F）、80L/min（TG240F）とした場合の許容最大ガス流量です。 ※2：ポンプとパワーサプライが一体のタイプ（TC65/TC75/TC245）と別置きタイプ（TC66/TC76/TC246）から選択できます。 ※3：吸気口フランジ KF40 の仕様は別途お問い合わせください。 ［使用周囲温度］ 到達圧力保証周囲温度は 10 ～ 23℃です。又、許容周囲温度は 8 ～ 38℃です。 ［対 応 ガ ス 種］ 吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリスや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせください。 静翼 ［標 準 セ ッ ト］ ポンプ＋パワーサプライ用コネクタ ［オプション品］ 空冷ファンユニット（強制空冷の場合）、パワーサプライ＋モータケーブル（パワーサプライ別置きの場合）、自動スローリーク弁、パージガス接続口、パージガス流量調整弁、配管部品 性能曲線 上部ベアリング SGPロータ 排気速度曲線（N2） ガス流量曲線（N2） 104 103 103 SGPステータ 103 102 軸 102 排気口 102 101 モータ 101 101 100 TG60F（Sf > 25L/min） TG60F（Sf > 25L/min） TG70F 自然空冷（Sf＝25 - 100L/min） TG70F 自然空冷（Sf＝25 - 100L/min） TG70F 強制空冷（Sf＝25 - 100L/min） TG70F 強制空冷（Sf＝25 - 100L/min） TG240F（Sf > 80 L/min） 100 TG240F（Sf > 80 L/min） 100 10-1 [Pa] 2 10-3 10-2 10-1 100 101 102 下部ベアリング 冷却水 10-3 10-2 10-1 100 101 10 [Pa] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] Inlet pressure Inlet pressure ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 3 4 Volume flow rate [L/s] Throughput [sccm] [Pa·L/s]

グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ 仕様 ポンプ型式 TG60F TG60F-20 TG70F TG70F-20 TG240F TG240F-20 TG-F ISO-R63 吸気口フランジ CF63 ISO-R63 ISO-R100 SERIES (KF40) ※3 CF63 CF100 排気口フランジ KF16 KF25 産業分野 冷却方式 自然空冷／強制空冷 強制空冷 N2 60 70：ISO-R 240 光学産業 ディスプレイ 理化学機器 エネルギー 素材 自動車・航空 医療・医薬品 宇宙・研究開発 75：CF 排気速度（ L/s） N2 （保護金網付） 55 65：ISO-R 70：CF 230 グリス潤滑形で50～ 2400L/sの排気容量の製品をラインアップ H 22 40：ISO-R 2 45：CF 160 1999年の販売開始以来、TG-F シリーズは当社ターボ分子ポンプ製品群の中でもベストセラーを誇るモデル。グリス潤滑玉軸受構造の N2 2×107 1×108 最大圧縮比 採用により、コンパクトかつ堅牢な設計を実現。耐衝撃性が高く、可搬式装置や装置の可動部への搭載が可能。 H2 3×103 1×105 4×104 ISO-R ＜5×10-6 ＜5×10-7 ＜1×10-6 試験到達圧力（Pa） CF ＜1×10-6 ＜1×10-7 ＜5×10-7 Point 最大ガス流量 （sccm） ※1 N 10：自然空冷 10：自然空冷 2 20：強制空冷 20：強制空冷 70 ▪ 取付方向に制限がないため倒立運転も可能。装置設計の自由度が広がります ▪ メンテナンスフリー：グリス補給不要で、オーバーホールサイクル 2 ～ 3 万時間 許容補助圧力（Pa） 800 1200 700 ▪ コンパクトな設計でかつ軽量 推奨補助ポンプ（L/min） ≧25 ≧80 ▪ 大気突入に対応した機種や、耐衝撃性が高く、可搬式装置や装置の可動部への搭載が可能な機種もラインアップ 起動時間（min） 1.5 ～ 2 2 ～ 2.5 5.5 ～ 7.5 ▪ コントローラ一体型の機種もラインアップ 停止時間（min） 15 ～ 25 20 ～ 25 40 ～ 60 取付姿勢 自在 断面図 ISO-R 3.4 3 2.6 7.3 6.9 質量（kg） CF 5.4 5 4.6 10.5 10.1 パワーサプライ型式 ※2 TC65 TC66 TC75 TC76 TC245 TC246 吸引気体の流れ 入力電圧 DC 24 V AC 100-230 V DC 24 V AC 100-230 V DC 24 V AC 100-230 V パージガスの流れ 入力周波数 50 / 60 Hz 最大所要電力 120 W 240 VA 120 W 240 VA 75 W 170 VA 相数 -- 単相 -- 単相 -- 単相 出力周波数（Hz） 1150 1500 800 動翼 吸気口フランジ 質量（kg） -- 2.4 -- 2.4 -- 2.4 通信インターフェース Parallel I/O・RS232C ※1：補助ポンプ容量を 25L/min（TG60F/70F）、80L/min（TG240F）とした場合の許容最大ガス流量です。 ※2：ポンプとパワーサプライが一体のタイプ（TC65/TC75/TC245）と別置きタイプ（TC66/TC76/TC246）から選択できます。 ※3：吸気口フランジ KF40 の仕様は別途お問い合わせください。 ［使用周囲温度］ 到達圧力保証周囲温度は 10 ～ 23℃です。又、許容周囲温度は 8 ～ 38℃です。 ［対 応 ガ ス 種］ 吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリスや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせください。 静翼 ［標 準 セ ッ ト］ ポンプ＋パワーサプライ用コネクタ ［オプション品］ 空冷ファンユニット（強制空冷の場合）、パワーサプライ＋モータケーブル（パワーサプライ別置きの場合）、自動スローリーク弁、パージガス接続口、パージガス流量調整弁、配管部品 性能曲線 上部ベアリング SGPロータ 排気速度曲線（N2） ガス流量曲線（N2） 104 103 103 SGPステータ 103 102 軸 102 排気口 102 101 モータ 101 101 100 TG60F（Sf > 25L/min） TG60F（Sf > 25L/min） TG70F 自然空冷（Sf＝25 - 100L/min） TG70F 自然空冷（Sf＝25 - 100L/min） TG70F 強制空冷（Sf＝25 - 100L/min） TG70F 強制空冷（Sf＝25 - 100L/min） TG240F（Sf > 80 L/min） 100 TG240F（Sf > 80 L/min） 100 10-1 [Pa] 2 10-3 10-2 10-1 100 101 102 下部ベアリング 冷却水 10-3 10-2 10-1 100 101 10 [Pa] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] Inlet pr essure Inlet pr essure ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 3 4 Volume flow rate [L/s] Throughput [sccm] [Pa·L/s]

仕様 仕様 TG800F□AB TG800F□AB-60 ※2 TG1100F□AB TG1100F□AB-60 ※2 ポンプ型式 TG50F TG220F TG350F TG450F ポンプ型式 TG1400F TG2400F TG2400F-40 TG800F□WB ※2 TG1100F□WB ※2 VG65 VG100 VG150 VG200 吸気口フランジ ISO-R63 ISO-R100 ISO-B160 吸気口フランジ ISO-B200 VG250 CF63 CF100 CF160 CF200 ISO-B250 排気口フランジ KF16 KF25 KF40 排気口フランジ KF40 冷却方式 水冷／空冷 水冷／空冷（TG800F-60 は空冷のみ） 冷却方式 水冷／空冷（TG1100F-60 は空冷のみ） 水冷／空冷 水冷 N 350：VG 2 51 220 330：ISO-R、CF 450 820 N2 1100 1400 2400 排気速度（ L/s） N2 330：VG 排気速度（ L/s） N2 （保護金網付） 49 210 310：ISO-R、CF 430 750 （保護金網付） 1000 1300 2300 H2 12 100 210 230 650 H2 720 750 1100 N2 1.4×107 1×108 N2 1×108 最大圧縮比 最大圧縮比 H2 5×102 4×102 2×103 1×104 H2 1×104 4.3×103 1.4×103 試験到達圧力（Pa） ＜3×10-6 ＜1×10-6 試験到達圧力（Pa） ＜1×10-6 最大ガス流量 最大ガス流量 （sccm） ※1 N2 80 400 500 330 860 （sccm）※1 N2 330 860 450 900 1500 許容補助圧力（Pa） 1330 260 330 許容補助圧力（Pa） 330 200 推奨補助ポンプ（L/min） ≧50 ≧80 ≧250 推奨補助ポンプ（L/min） ≧250 ≧500 起動時間（min） 1 ～ 1.5 1 ～ 1.2 2 ～ 2.5 7 ～ 9 5.5 ～ 7 起動時間（min） 7 ～ 9 5.5 ～ 7 5 ～ 7 停止時間（min） 1 ～ 1.5 2.5 ～ 3.5 5 ～ 6.5 27 ～ 32 12 ～ 15 停止時間（min） 27 ～ 32 12 ～ 15 15 ～ 18 取付姿勢 自在 取付姿勢 自在 VG、ISO-R 4.2 5.5 6 7 26 VG、ISO-B 27 29 質量（kg） 質量（kg） 45 CF 6 8 9 10 27 CF 28 30 パワーサプライ型式 TC64A TC223A TC353A TC1104A TC1103 パワーサプライ型式 TC1104A TC1103 TC2403 TC2403-10 入力電圧 AC 100-110 V AC 200-230 V AC 200-230 V 入力電圧 AC 100-110 V AC 200-230 V AC 200-230 V 入力周波数 50 / 60 Hz 入力周波数 50 / 60 Hz 最大所要電力（VA） 220 590 610 810 最大所要電力（VA） 610 810 1200 相数 単相 相数 単相 出力周波数（Hz） 800 750 560 出力周波数（Hz） 560 520 質量（kg） 2.7 8.2 質量（kg） 2.7 8.2 通信インターフェース Parallel I/O・RS232C 通信インターフェース Parallel I/O・RS232C ※1：補助ポンプ容量を 100L/min（TG50F）、160L/min（TG220F/350F/450F）、500L/min（TG800F）とした場合の許容最大ガス流量です。 ※1：補助ポンプ容量を 500L/min（TG1100F/1400F）、1000L/min（TG2400F）とした場合の許容最大ガス流量です。 ※2：型式については P.9 の「型式説明」を参照ください。 ※2：型式については P.9 の「型式説明」を参照ください。 ［使用周囲温度］ 到達圧力保証周囲温度は 10 ～ 23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合 10 ～ 32℃、水冷の場合は 10 ～ 40℃です。 ［使用周囲温度］ 到達圧力保証周囲温度は 10 ～ 23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合 10 ～ 32℃、水冷の場合は 10 ～ 40℃です。 到達圧力保証冷却水温は 30℃以下で許容冷却水温は 10 ～ 35℃です。 到達圧力保証冷却水温は 30℃以下で許容冷却水温は 10 ～ 35℃です。 ［対 応 ガ ス 種］ 吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリスや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせください。 ［対 応 ガ ス 種］ 吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリスや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせください。 ［標 準 セ ッ ト］ ポンプ＋パワーサプライ＋モータケーブル（3ｍ）＋ファンケーブル（3ｍ、空冷タイプのみ） ［標 準 セ ッ ト］ ポンプ＋パワーサプライ＋モータケーブル（3ｍ）＋ファンケーブル（3ｍ、空冷タイプのみ） ［オプション品］ （ベーキング用）吸気口バンドヒータ、自動スローリーク弁、パージガス接続口、精密ニードル弁、配管部品 ［オプション品］ （ベーキング用）吸気口バンドヒータ、自動スローリーク弁、パージガス接続口、精密ニードル弁、配管部品 性能曲線 性能曲線 排気速度曲線（N2） ガス流量曲線（N2） 排気速度曲線（N2） ガス流量曲線（N2） 104 104 104 104 103 103 103 103 103 103 102 102 102 102 102 102 101 101 101 TG50F（Sf＝100L/min） TG220F（Sf＝160L/min） 101 TG50F （Sf＝100L/min） 101 TG220F（Sf＝160L/min） 101 TG1100F（ TC1104A； Sf=500L/min） TG1100F（ TC1104A； Sf=500L/min） TG350F（Sf＝160L/min） TG350F（Sf＝160L/min） TG1100F（ TC1103 ；Sf=500L/min） TG1100F（ TC1103 ；Sf=500L/min） TG450F（Sf＝160L/min） TG450F（Sf＝160L/min） TG1400F（Sf=500L/min） TG1400F（Sf=500L/min） TG800F（TC1104A ；Sf＝500L/min） TG800F（TC1104A ；Sf＝500L/min） 100 TG2400F（Sf=1000L/min） TG2400F（Sf=1000L/min） TG800F（TC1103 ；Sf＝500L/min） TG800F（TC1103 ；Sf＝500L/min） TG2400F-40（Sf=1000L/min） 100 TG2400F-40（Sf=1000L/min） 100 100 100 100 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] Inlet pr essure Inlet pr essure Inlet pressure Inlet pressure ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 5 6 Volume flow rate [L/s] Throughput [sccm] [Pa·L/s] Volume flow rate [L/s] Throughput [sccm] [Pa·L/s]

仕様 仕様 TG800F□AB TG800F□AB-60 ※2 TG1100F□AB TG1100F□AB-60 ※2 ポンプ型式 TG50F TG220F TG350F TG450F ポンプ型式 TG1400F TG2400F TG2400F-40 TG800F□WB ※2 TG1100F□WB ※2 VG65 VG100 VG150 VG200 吸気口フランジ ISO-R63 ISO-R100 ISO-B160 吸気口フランジ ISO-B200 VG250 CF63 CF100 CF160 CF200 ISO-B250 排気口フランジ KF16 KF25 KF40 排気口フランジ KF40 冷却方式 水冷／空冷 水冷／空冷（TG800F-60 は空冷のみ） 冷却方式 水冷／空冷（TG1100F-60 は空冷のみ） 水冷／空冷 水冷 N 350：VG 2 51 220 330：ISO-R、CF 450 820 N2 1100 1400 2400 排気速度（ L/s） N2 330：VG 排気速度（ L/s） N2 （保護金網付） 49 210 310：ISO-R、CF 430 750 （保護金網付） 1000 1300 2300 H2 12 100 210 230 650 H2 720 750 1100 N2 1.4×107 1×108 N2 1×108 最大圧縮比 最大圧縮比 H2 5×102 4×102 2×103 1×104 H2 1×104 4.3×103 1.4×103 試験到達圧力（Pa） ＜3×10-6 ＜1×10-6 試験到達圧力（Pa） ＜1×10-6 最大ガス流量 最大ガス流量 （sccm）※1 N2 80 400 500 330 860 （sccm） ※1 N2 330 860 450 900 1500 許容補助圧力（Pa） 1330 260 330 許容補助圧力（Pa） 330 200 推奨補助ポンプ（L/min） ≧50 ≧80 ≧250 推奨補助ポンプ（L/min） ≧250 ≧500 起動時間（min） 1 ～ 1.5 1 ～ 1.2 2 ～ 2.5 7 ～ 9 5.5 ～ 7 起動時間（min） 7 ～ 9 5.5 ～ 7 5 ～ 7 停止時間（min） 1 ～ 1.5 2.5 ～ 3.5 5 ～ 6.5 27 ～ 32 12 ～ 15 停止時間（min） 27 ～ 32 12 ～ 15 15 ～ 18 取付姿勢 自在 取付姿勢 自在 VG、ISO-R 4.2 5.5 6 7 26 VG、ISO-B 27 29 質量（kg） 質量（kg） 45 CF 6 8 9 10 27 CF 28 30 パワーサプライ型式 TC64A TC223A TC353A TC1104A TC1103 パワーサプライ型式 TC1104A TC1103 TC2403 TC2403-10 入力電圧 AC 100-110 V AC 200-230 V AC 200-230 V 入力電圧 AC 100-110 V AC 200-230 V AC 200-230 V 入力周波数 50 / 60 Hz 入力周波数 50 / 60 Hz 最大所要電力（VA） 220 590 610 810 最大所要電力（VA） 610 810 1200 相数 単相 相数 単相 出力周波数（Hz） 800 750 560 出力周波数（Hz） 560 520 質量（kg） 2.7 8.2 質量（kg） 2.7 8.2 通信インターフェース Parallel I/O・RS232C 通信インターフェース Parallel I/O・RS232C ※1：補助ポンプ容量を 100L/min（TG50F）、160L/min（TG220F/350F/450F）、500L/min（TG800F）とした場合の許容最大ガス流量です。 ※1：補助ポンプ容量を 500L/min（TG1100F/1400F）、1000L/min（TG2400F）とした場合の許容最大ガス流量です。 ※2：型式については P.9 の「型式説明」を参照ください。 ※2：型式については P.9 の「型式説明」を参照ください。 ［使用周囲温度］ 到達圧力保証周囲温度は 10 ～ 23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合 10 ～ 32℃、水冷の場合は 10 ～ 40℃です。 ［使用周囲温度］ 到達圧力保証周囲温度は 10 ～ 23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合 10 ～ 32℃、水冷の場合は 10 ～ 40℃です。 到達圧力保証冷却水温は 30℃以下で許容冷却水温は 10 ～ 35℃です。 到達圧力保証冷却水温は 30℃以下で許容冷却水温は 10 ～ 35℃です。 ［対 応 ガ ス 種］ 吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリスや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせください。 ［対 応 ガ ス 種］ 吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリスや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせください。 ［標 準 セ ッ ト］ ポンプ＋パワーサプライ＋モータケーブル（3ｍ）＋ファンケーブル（3ｍ、空冷タイプのみ） ［標 準 セ ッ ト］ ポンプ＋パワーサプライ＋モータケーブル（3ｍ）＋ファンケーブル（3ｍ、空冷タイプのみ） ［オプション品］ （ベーキング用）吸気口バンドヒータ、自動スローリーク弁、パージガス接続口、精密ニードル弁、配管部品 ［オプション品］ （ベーキング用）吸気口バンドヒータ、自動スローリーク弁、パージガス接続口、精密ニードル弁、配管部品 性能曲線 性能曲線 排気速度曲線（N2） ガス流量曲線（N2） 排気速度曲線（N2） ガス流量曲線（N2） 104 104 104 104 103 103 103 103 103 103 102 102 102 102 102 102 101 101 101 TG50F（Sf＝100L/min） TG220F（Sf＝160L/min） 101 TG50F （Sf＝100L/min） 101 TG220F（Sf＝160L/min） 101 TG1100F（ TC1104A； Sf=500L/min） TG1100F（ TC1104A； Sf=500L/min） TG350F（Sf＝160L/min） TG350F（Sf＝160L/min） TG1100F（ TC1103 ；Sf=500L/min） TG1100F（ TC1103 ；Sf=500L/min） TG450F（Sf＝160L/min） TG450F（Sf＝160L/min） TG1400F（Sf=500L/min） TG1400F（Sf=500L/min） TG800F（TC1104A ；Sf＝500L/min） TG800F（TC1104A；Sf＝500L/min） 100 TG2400F（Sf=1000L/min） TG2400F（Sf=1000L/min） TG800F（TC1103 ；Sf＝500L/min） TG800F（TC1103 ；Sf＝500L/min） TG2400F-40（Sf=1000L/min） 100 TG2400F-40（Sf=1000L/min） 100 100 100 100 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] Inlet pressure Inlet pressure Inlet pr essure Inlet pr essure ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 5 6 Volume flow rate [L/s] Throughput [sccm] [Pa·L/s] Volume flow rate [L/s] Throughput [sccm] [Pa·L/s]

性能曲線（Ar）（① TG60F/70F/240F，② TG50F/220F/350F/450F/800F，③ TG1100F/1400F/2400F） 性能曲線（H2）（① TG60F/70F/240F，② TG50F/220F/350F/450F/800F，③ TG1100F/1400F/2400F） ① 排気速度曲線（Ar） ① ガス流量曲線（Ar） ① 排気速度曲線（H2） ① ガス流量曲線（H2） 104 103 104 103 102 102 103 102 103 102 101 101 102 101 102 101 100 100 101 100 101 100 TG60F（Sf > 25L/min） TG60F （Sf > 25L/min） TG60F（Sf > 25L/min） TG60F （Sf > 25L/min） TG70F（Sf＝25 - 100L/min） TG70F（Sf＝25 - 100L/min） 10-1 TG70F （Sf＝25 - 100L/min） TG240F（Sf > 80 L/min） 10-1 TG70F （Sf＝25 - 100L/min） TG240F（Sf > 80 L/min） TG240F（Sf > 80 L/min） TG240F（Sf > 80 L/min） 100 10-1 100 10-1 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] Inlet pr essure Inlet pr essure Inlet pressure Inlet pressure ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ② 排気速度曲線（Ar） ② ガス流量曲線（Ar） ② 排気速度曲線（H2） ② ガス流量曲線（H2） 104 104 104 104 TG50F（Sf＝50 - 100L/min） TG50F （Sf＝50 - 100L/min） TG220F（Sf＝160L/min） TG220F（Sf＝160L/min） TG350F（Sf＝160L/min） TG350F（Sf＝160L/min） 103 TG450F（Sf＝160L/min） 103 TG450F（Sf＝160L/min） 103 TG800F（TC1104；Sf＝500L/min） 103 103 TG800F（TC1103；Sf＝500L/min） 103 TG800F（TC1104；Sf＝500L/min） TG800F（TC1103；Sf＝500L/min） 102 102 102 102 102 102 101 101 101 TG50F（Sf＝50 - 100L/min） TG220F（Sf＝160L/min） 101 TG50F （Sf＝50 - 100L/min） 101 101 TG350F（Sf＝160L/min） TG220F（Sf＝160L/min） TG450F（Sf＝160L/min） TG350F（Sf＝160L/min） TG450F（Sf＝160L/min） TG800F（TC1104；Sf＝500L/min） TG800F（TC1103；Sf＝500L/min） 100 TG800F（TC1104；Sf＝500L/min） TG800F（TC1103；Sf＝500L/min） 100 100 100 100 100 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] Inlet pr essure Inlet pr essure Inlet pressure Inlet pressure ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ③ 排気速度曲線（Ar） ③ ガス流量曲線（Ar） ③ 排気速度曲線（H2） ③ ガス流量曲線（H2） 104 104 104 104 103 103 103 103 103 103 102 102 102 102 102 102 101 101 101 101 101 TG1100F（TC1104；Sf＝500L/min） TG1100F（TC1103；Sf＝500L/min） TG1100F（TC1104 ; Sf＝500L/min） TG1100F（TC1104；Sf＝500L/min） 101 TG1100F（TC1104 ; Sf＝500L/min） TG1100F（TC1103 ; Sf＝500L/min） TG1100F（TC1103；Sf＝500L/min） TG1400F（Sf＝500L/min） TG1400F（Sf＝500L/min） TG1100F（TC1103 ; Sf＝500L/min） TG1400F（Sf＝500L/min） TG1400F（Sf＝500L/min） TG2400F（Sf＝1000L/min） TG2400F（Sf＝1000L/min） TG2400F（Sf＝1000L/min） 100 TG2400F（Sf＝1000L/min） TG2400F-40（Sf＝1000L/min） 100 TG2400F-40（Sf＝1000L/min） TG2400F-40（Sf＝1000L/min） TG2400F-40（Sf＝1000L/min） 100 100 100 100 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] Inlet pr essure Inlet pr essure Inlet pressure Inlet pressure ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 7 8 Volume flow rate [L/s] Volume flow rate [L/s] Volume flow rate [L/s] Throughput Throughput Throughput [sccm] [sccm] [sccm] [Pa·L/s] [Pa·L/s] [Pa·L/s] Volume flow rate [L/s] Volume flow rate [L/s] Volume flow rate [L/s] Throughput Throughput Throughput [sccm] [sccm] [sccm] [Pa·L/s] [Pa·L/s] [Pa·L/s]

性能曲線（Ar）（① TG60F/70F/240F，② TG50F/220F/350F/450F/800F，③ TG1100F/1400F/2400F） 性能曲線（H2）（① TG60F/70F/240F，② TG50F/220F/350F/450F/800F，③ TG1100F/1400F/2400F） ① 排気速度曲線（Ar） ① ガス流量曲線（Ar） ① 排気速度曲線（H2） ① ガス流量曲線（H2） 104 103 104 103 102 102 103 102 103 102 101 101 102 101 102 101 100 100 101 100 101 100 TG60F（Sf > 25L/min） TG60F （Sf > 25L/min） TG60F（Sf > 25L/min） TG60F （Sf > 25L/min） TG70F（Sf＝25 - 100L/min） TG240F（Sf > 80 L/min） 10-1 TG70F （Sf＝25 - 100L/min） TG70F（Sf＝25 - 100L/min） 10-1 TG70F （Sf＝25 - 100L/min） TG240F（Sf > 80 L/min） TG240F（Sf > 80 L/min） TG240F（Sf > 80 L/min） 100 10-1 100 10-1 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] Inlet pressure Inlet pressure Inlet pr essure Inlet pr essure ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ② 排気速度曲線（Ar） ② ガス流量曲線（Ar） ② 排気速度曲線（H2） ② ガス流量曲線（H2） 104 104 104 104 TG50F（Sf＝50 - 100L/min） TG50F （Sf＝50 - 100L/min） TG220F（Sf＝160L/min） TG220F（Sf＝160L/min） TG350F（Sf＝160L/min） TG350F（Sf＝160L/min） 103 TG450F（Sf＝160L/min） 103 TG450F（Sf＝160L/min） 103 103 （TC1104；Sf＝500L/min） 103 TG800F TG800F（TC1104；Sf＝500L/min） 103 TG800F（TC1103；Sf＝500L/min） TG800F（TC1103；Sf＝500L/min） 102 102 102 102 102 102 101 101 101 TG50F（Sf＝50 - 100L/min） TG220F（Sf＝160L/min） 101 TG50F （Sf＝50 - 100L/min） 101 101 TG350F（Sf＝160L/min） TG220F（Sf＝160L/min） TG450F（Sf＝160L/min） TG350F（Sf＝160L/min） TG450F（Sf＝160L/min） TG800F（TC1104；Sf＝500L/min） TG800F（TC1103；Sf＝500L/min） 100 TG800F（TC1104；Sf＝500L/min） 100 TG800F（TC1103；Sf＝500L/min） 100 100 100 100 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] Inlet pressure Inlet pressure Inlet pr essure Inlet pr essure ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ③ 排気速度曲線（Ar） ③ ガス流量曲線（Ar） ③ 排気速度曲線（H2） ③ ガス流量曲線（H2） 104 104 104 104 103 103 103 103 103 103 102 102 102 102 102 102 101 101 101 101 101 TG1100F（TC1104；Sf＝500L/min） 101 TG1100F（TC1104 ; Sf＝500L/min） TG1100F（TC1104；Sf＝500L/min） TG1100F（TC1103；Sf＝500L/min） TG1100F（TC1103；Sf＝500L/min） TG1100F（TC1104 ; Sf＝500L/min） TG1400F（Sf＝500L/min） TG1100F（TC1103 ; Sf＝500L/min） TG1400F（Sf＝500L/min） TG1100F（TC1103 ; Sf＝500L/min） TG1400F（Sf＝500L/min） TG1400F（Sf＝500L/min） TG2400F（Sf＝1000L/min） TG2400F-40（Sf＝1000L/min） 100 TG2400F（Sf＝1000L/min） TG2400F（Sf＝1000L/min） 100 TG2400F（Sf＝1000L/min） TG2400F-40（Sf＝1000L/min） TG2400F-40（Sf＝1000L/min） TG2400F-40（Sf＝1000L/min） 100 100 100 100 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-3 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] Inlet pressure Inlet pressure Inlet pr essure Inlet pr essure ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 7 8 Volume flow rate [L/s] Volume flow rate [L/s] Volume flow rate [L/s] Throughput Throughput Throughput [sccm] [sccm] [sccm] [Pa·L/s] [Pa·L/s] [Pa·L/s] Volume flow rate [L/s] Volume flow rate [L/s] Volume flow rate [L/s] Throughput Throughput Throughput [sccm] [sccm] [sccm] [Pa·L/s] [Pa·L/s] [Pa·L/s]

TG-F SERIES 外観寸法図一覧 ※ 吸気口フランジボルト穴は中心線振分。 空冷 Ⓑ Ⓑ Ⓒ Ⓐ 水冷 Ⓒ Ⓐ 自然空冷 強制空冷 ∅113 ∅113 Connector Power / Control Ⓑ Ⓐ Connector Ⓑ Power / Control Ⓐ TG50F Ⓓ Ⓓ TG60F Controller Controller Ⓒ Ⓔ ∅102 Ⓒ Ⓔ Ⓓ Ⓕ Ⓓ ∅102 Ⓕ KF16 54 Air Cooling Fan Connector Connector KF16 KF16 Cooling Water Purge Gas Inlet Purge Gas Inlet Inlet / Outlet ISO-R63 Vent Port ∅70 68.5 54 ISO-G1/8 Vent Port 70 68.5 54 ISO-G1/8 ISO-G1/8 30° ISO-G1/8 30° Air Cooling Fan 4×M6 DP13 PCD60 4×M6 DP13 PCD60 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ VG65 ∅145 14 147 CF63 ∅114 18 182 95 69.5 62 69.5 109 ISO-R63 ∅95 12 168 109 ~92 (Purge Gus Inlet) (Purge Gus Inlet) Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ Ⓕ 空冷 水冷 CF63 ∅114 18 170 76 141 Ⓑ Ⓐ Ⓑ Ⓐ ISO-R63 ∅95 12 144.5 50.5 115.5 ※ 上記寸法図は TG60F（コントローラ一体型）の場合です。TG60F-20 はパワーサプライが別置きになります。 TG220F ∅130 ∅130 Air Cooling Fan Connector Ⓒ Connector Ⓒ Ⓓ Ⓓ 自然空冷 強制空冷 Vent Port Vent Port ISO-G1/4 KF25 ISO-G1/4 KF25 Purge Gas Inlet 105 Purge Gas Inlet Connector Ⓑ Ⓐ Connector ISO-G1/4 ISO-G1/4 Power / Control Power / Control Ⓑ Ⓒ ∅ Controller Controller 13 ∅ 0 130 TG70F Ⓒ Ⓔ Ⓔ Ⓓ Ⓕ Ⓕ 4×M8 DP12 PCD78 Ⓓ Ⓕ Ⓕ 4×M8 DP12 PCD78 ∅102 ∅102 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ VG100 ∅185 15 200 60 Cooling Water Inlet / Outlet ISO-Rc 1/8 76 57 CF100 ∅152 21 220 75.5 57 KF16 Purge Gus Inlet KF16 Purge Gus Inlet ∅102 68.5 54 ISO-G1/8 ∅102 68.5 54 ISO-G1/8 ISO-R100 ∅130 12 200 Vent Port Vent Port ISO-G1/8 ISO-G1/8 30° 30° Air Cooling Fan 4×M6 DP13 PCD92 4×M6 DP13 PCD92 空冷 Ⓑ Ⓐ 水冷 Ⓑ Ⓐ TG350F ∅168 103 Connector ∅168 Ⓒ Air Cooling Fan Ⓒ Connector 103 ~92 Ⓓ Ⓓ (Purge Gus Inlet) (Purge Gus Inlet) Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ Ⓕ CF63 ∅114 18 170 76 141 Vent Port Vent Port ISO-R63 ∅95 12 144.5 50.5 115.5 ISO-G1/4 KF25 KF25 105 ISO-G1/4 Purge Gas Inlet Purge Gas Inlet ※ 上記寸法図は TG70F（コントローラ一体型）の場合です。TG70F-20 はパワーサプライが別置きになります。 ISO-G1/4 ISO-G1/4 4×M8 DP12 PCD78 ∅ 4×M8 DP12 PCD78 130 ∅130 CFフランジ ISO-Rフランジ Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ VG100 ∅185 15 230 CF100 60 Cooling Water ∅152 CF100 ∅152 21 230 Inlet / Outlet ISO-Rc 1/8 ISO-R100 76 57 ISO-R100 ∅130 12 214 76 57 Connector Connector ∅130 Power / Control Power / Control TG240F Controller Controller ∅154 空冷 Ⓑ Ⓐ 水冷 Ⓑ Ⓐ ∅154 ∅168 Air Cooling Fan ∅168 Connector Connector Vent Port Vent Port TG450F Ⓒ Ⓒ ISO-G1/8 ISO-G1/8 Ⓓ Ⓓ 124 124 KF25 Purge Gus Purge Gus Inlet KF25 45° Air Cooling Fan Air Cooling Fan Inlet ISO-G1/8 ISO-G1/8 45° Vent Port Vent Port ISO-G1/4 105 ISO-G1/4 ∅154 Purge Gas Inlet ∅154 Purge Gas Inlet ISO-G1/4 ISO-G1/4 4×M8 DP12 PCD78 4×M8 DP12 PCD78 50.5 4×M8 DP12 PCD140 50.5 4×M8 DP12 PCD140 ∅1 ∅ 3 1 0 30 138 138 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ VG150 ∅235 16 190 60 Cooling Water ※ 上記寸法図は TG240F（コントローラ一体型）の場合です。TG240F-20 はコントローラが別置きになります。 CF160 ∅203 22 190 Inlet / Outlet ISO-Rc 1/8 76 57 76 57 ISO-B160 ∅225 16 190 9 10 109.5 109.5 70 100 70 100 115 70 100 33 113 54 (54) 94 166.2 21 141 233.7 34 60 109.5 109.5 70 100 100 115 70 100 33 73.5 40 (54) 40 (54) 54 54 94 166.2 12 194.2 141 34 60 54.5 3 54.5 3° 54.5 33° 33° 92 34.5 ∅113 42.5 42.5 47.5 32 42.5 92 92 92 34.5 54.5 54.5 70 22.5 15 33 54.5 ° 33° 33° ∅113 42.5 42.5 42.5 47.5 32 54 54 54 54

TG-F SERIES 外観寸法図一覧 ※ 吸気口フランジボルト穴は中心線振分。 空冷 Ⓑ Ⓑ Ⓒ Ⓐ 水冷 Ⓒ Ⓐ 自然空冷 強制空冷 ∅113 ∅113 Connector Power / Control Ⓑ Ⓐ Connector Ⓑ Power / Control Ⓐ TG50F Ⓓ Ⓓ TG60F Controller Controller Ⓒ Ⓔ ∅102 Ⓒ Ⓔ Ⓓ Ⓕ Ⓓ ∅102 Ⓕ KF16 54 Air Cooling Fan Connector Connector KF16 KF16 Cooling Water Purge Gas Inlet Purge Gas Inlet Inlet / Outlet ISO-R63 Vent Port ∅70 68.5 54 ISO-G1/8 Vent Port 70 68.5 54 ISO-G1/8 ISO-G1/8 30° ISO-G1/8 30° Air Cooling Fan 4×M6 DP13 PCD60 4×M6 DP13 PCD60 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ VG65 ∅145 14 147 CF63 ∅114 18 182 95 69.5 62 69.5 109 ISO-R63 ∅95 12 168 109 ~92 (Purge Gus Inlet) (Purge Gus Inlet) Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ Ⓕ 空冷 水冷 CF63 ∅114 18 170 76 141 Ⓑ Ⓐ Ⓑ Ⓐ ISO-R63 ∅95 12 144.5 50.5 115.5 ※ 上記寸法図は TG60F（コントローラ一体型）の場合です。TG60F-20 はパワーサプライが別置きになります。 TG220F ∅130 ∅130 Air Cooling Fan Connector Ⓒ Connector Ⓒ Ⓓ Ⓓ 自然空冷 強制空冷 Vent Port Vent Port ISO-G1/4 KF25 ISO-G1/4 KF25 Purge Gas Inlet 105 Purge Gas Inlet Connector Ⓑ Ⓐ Connector ISO-G1/4 ISO-G1/4 Power / Control Power / Control Ⓑ Ⓒ ∅ Controller Controller 13 ∅ 0 130 TG70F Ⓒ Ⓔ Ⓔ Ⓓ Ⓕ Ⓕ 4×M8 DP12 PCD78 Ⓓ Ⓕ Ⓕ 4×M8 DP12 PCD78 ∅102 ∅102 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ VG100 ∅185 15 200 60 Cooling Water Inlet / Outlet ISO-Rc 1/8 76 57 CF100 ∅152 21 220 75.5 57 KF16 Purge Gus Inlet KF16 Purge Gus Inlet ∅102 68.5 54 ISO-G1/8 ∅102 68.5 54 ISO-G1/8 ISO-R100 ∅130 12 200 Vent Port Vent Port ISO-G1/8 ISO-G1/8 30° 30° Air Cooling Fan 4×M6 DP13 PCD92 4×M6 DP13 PCD92 空冷 Ⓑ Ⓐ 水冷 Ⓑ Ⓐ TG350F ∅168 103 Connector ∅168 Ⓒ Air Cooling Fan Ⓒ Connector 103 ~92 Ⓓ Ⓓ (Purge Gus Inlet) (Purge Gus Inlet) Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ Ⓕ CF63 ∅114 18 170 76 141 Vent Port Vent Port ISO-R63 ∅95 12 144.5 50.5 115.5 ISO-G1/4 KF25 KF25 105 ISO-G1/4 Purge Gas Inlet Purge Gas Inlet ※ 上記寸法図は TG70F（コントローラ一体型）の場合です。TG70F-20 はパワーサプライが別置きになります。 ISO-G1/4 ISO-G1/4 4×M8 DP12 PCD78 ∅ 4×M8 DP12 PCD78 130 ∅130 CFフランジ ISO-Rフランジ Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ VG100 ∅185 15 230 CF100 60 Cooling Water ∅152 CF100 ∅152 21 230 Inlet / Outlet ISO-Rc 1/8 ISO-R100 76 57 ISO-R100 ∅130 12 214 76 57 Connector Connector ∅130 Power / Control Power / Control TG240F Controller Controller ∅154 空冷 Ⓑ Ⓐ 水冷 Ⓑ Ⓐ ∅154 ∅168 Air Cooling Fan ∅168 Connector Connector Vent Port Vent Port TG450F Ⓒ Ⓒ ISO-G1/8 ISO-G1/8 Ⓓ Ⓓ 124 124 KF25 Purge Gus Purge Gus Inlet KF25 45° Air Cooling Fan Air Cooling Fan Inlet ISO-G1/8 ISO-G1/8 45° Vent Port Vent Port ISO-G1/4 105 ISO-G1/4 ∅154 Purge Gas Inlet ∅154 Purge Gas Inlet ISO-G1/4 ISO-G1/4 4×M8 DP12 PCD78 4×M8 DP12 PCD78 50.5 4×M8 DP12 PCD140 50.5 4×M8 DP12 PCD140 ∅1 ∅ 3 1 0 30 138 138 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ VG150 ∅235 16 190 60 Cooling Water ※ 上記寸法図は TG240F（コントローラ一体型）の場合です。TG240F-20 はコントローラが別置きになります。 CF160 ∅203 22 190 Inlet / Outlet ISO-Rc 1/8 76 57 76 57 ISO-B160 ∅225 16 190 9 10 109.5 109.5 70 100 70 100 115 70 100 33 113 54 (54) 94 166.2 21 141 233.7 34 60 109.5 109.5 70 100 100 115 70 100 33 73.5 40 (54) 40 (54) 54 54 94 166.2 12 194.2 141 34 60 54.5 3 54.5 3° 54.5 33° 33° 92 34.5 ∅113 42.5 42.5 47.5 32 42.5 92 92 92 34.5 54.5 54.5 70 22.5 15 33 54.5 ° 33° 33° ∅113 42.5 42.5 42.5 47.5 32 54 54 54 54

TG-F SERIES 外観寸法図一覧 型式説明 ※ 吸気口フランジボルト穴は中心線振分。 空冷 Ⓑ Ⓐ 水冷 Ⓑ Ⓐ グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ　TG-F シリーズ　型式説明 TG800F Ⓒ Ⓒ Air Cooling ∅250 ∅250 Fan Ⓓ Ⓓ TG ① F ② ③ ④ ⑤ KF40 KF40 ⑤ 特殊仕様 無記号 標準 （2 桁） * * 特殊仕様 ※2 ~167 136 ∅165 136 80 Vent Port Connector Vent Port ∅165 Connector ISO-G1/4 ISO-G1/4 Purge Gas Inlet Cooling Water ④ 仕様種別 B 標準形 Purge Gas Inlet C ケミカル形 ISO-G1/4 Inlet / Outlet ISO-Rc1/4 ISO-G1/4 4×M16 DP25 PCD140 4×M16 DP25 PCD140 A 強制空冷 ③ 冷却方式 N 自然空冷 ∅200 ∅200 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ W 水冷 VG150 ∅235 12 312.5 CF160 ∅203 22 327.5 C CF B ISO-B 145 ISO-B160 ∅225 16 312.5 145 ② 吸気口 フランジ ※1 R ISO-R V VG 空冷 Ⓑ Ⓐ 水冷 Ⓑ Ⓐ K KF 軸受方式 F グリス潤滑玉軸受 TG1100F ∅250 Ⓒ ∅250 Air Cooling Ⓒ Fan 50 N2 排気速度： 50L/s 吸気口： 65A Ⓓ Ⓓ 60 N2 排気速度： 60L/s 吸気口： 65A KF40 KF40 70 N2 排気速度： 70L/s 吸気口： 65A 220 N2 排気速度： 220L/s 吸気口：100A 240 ① ポンプ N2 排気速度： 240L/s 吸気口：100A 80 Connector ~167 136 ∅165 Connector 136 サイズ 350 N2 排気速度： 350L/s 吸気口：100A Vent Port Vent Port ∅165 450 N2 排気速度： 450L/s 吸気口：150A ISO-G1/4 ISO-G1/4 Cooling Water Inlet / Outlet Rc1/4 800 N2 排気速度： 800L/s 吸気口：150A Purge Gus Inlet Purge Gus ISO-G1/4 Inlet ISO-G1/4 1100 N2 排気速度：1100L/s 吸気口：200A 4×M16 DP25 PCD140 1400 N2 排気速度：1400L/s 吸気口：200A ∅200 2400 N2 排気速度：2400L/s 吸気口：250A ∅200 4×M16 DP25 PCD140 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ ※1　フランジ規格 VG200 ∅300 16 281 VG ： JIS B2290：1998　真空装置用フランジ附属書（参考）保守用フランジ溝形 CF200 ∅253 25 306 CF ： JVIS 003　真空装置用ベーカブルフランジ 145 ISO-B200 ∅285 16 281 145 KF ： ISO2861/1：1974　真空用クランプ形継手 ISO-B ： ISO1609：1986 　真空用フランジ（ボルト固定式） ISO-R ： ISO1609：1986 　真空用フランジ（クロー固定式） 空冷 Ⓑ Ⓐ 水冷 Ⓑ Ⓐ ※2 詳細はお問い合わせください。 TG1400F Air Cooling ∅280 Ⓒ ∅280 Fan Ⓒ 油潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ　TG ／ TS シリーズ　型式説明 Ⓓ Ⓓ KF40 KF40 TG ① ② ③ ④ ~167 136 ∅165 136 80 Vent Port Connector Vent Port ∅165 Connector ISO-G1/4 ISO-G1/4 ④ 冷却方式 A 強制空冷 Cooling Water Purge Gas Purge Gas Inlet / Outlet ISO-Rc1/4 W 水冷 Inlet ISO-G1/4 Inlet ISO-G1/4 4×M16 DP25 PCD140 C CF ∅200 ③ 吸気口 B ISO-B 4×M16 DP25 PCD140 ∅200 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ フランジ R ISO-R VG200 ∅300 16 272 V VG CF200 ∅253 25 319 145 ISO-B200 ∅285 16 300 145 ② 仕様種別 0 標準形 3 ケミカル形 5 N2 排気速度： 25L/s 吸気口：100A 空冷 Ⓑ Ⓐ 水冷 Ⓑ Ⓐ TG2400F-40 20 N2 排気速度： 200L/s 吸気口：100A 44 N2 排気速度： 440L/s 吸気口：150A 250 55 N2 排気速度： 550L/s 吸気口：150A TG2400F Ⓒ Ⓒ 100 N2 排気速度：1000L/s 吸気口：150A Air Cooling Fan Ⓓ Ⓓ ① ポンプ 130 N2 排気速度：1300L/s 吸気口：200A KF40 KF40 サイズ ※3 181 N2 排気速度：1800L/s 吸気口：250A 281 N2 排気速度：2800L/s 吸気口：250A 321 N2 排気速度：3200L/s 吸気口：300A 341 N2 排気速度：3400L/s 吸気口：350A Vent Port Vent Port ISO-G1/4 Connector ISO-G1/4 Connector Purge Gas Inlet 35° 35° 500 N2 排気速度：5000L/s 吸気口：450A Purge Gas Inlet ISO-G1/4 ISO-G1/4 550 N2 排気速度：5500L/s 吸気口：500A Cooling Water Inlet / Outlet Rc1/4 ロータ形式 TG 複合ロータ TS ヘリカル溝 6 ∅286 ∅28 ※3　TS シリーズは TS50、TS440/443 のみ。TG シリーズはそれ以外の型式をラインアップ。 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ 　　　TG5000/5003 は受注生産品です。詳しくは当社営業にお問い合せください。 6×M16 DP25 6×M16 DP25 VG250 ∅350 16 340 PCD255 PCD255 202 186 200 186 ISO-B250 ∅335 16 340 11 12 120 120 120 120 47.5 47.5 47.5 47.5 181 95.5 47.5 47.5 47.5 54 47.5 181 95.5 47.5 47.5 47.5 68 47.5 68 47.5 68 47.5

TG-F SERIES 外観寸法図一覧 型式説明 ※ 吸気口フランジボルト穴は中心線振分。 空冷 Ⓑ Ⓐ 水冷 Ⓑ Ⓐ グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ　TG-F シリーズ　型式説明 TG800F Ⓒ Ⓒ Air Cooling ∅250 ∅250 Fan Ⓓ Ⓓ TG ① F ② ③ ④ ⑤ KF40 KF40 ⑤ 特殊仕様 無記号 標準 （2 桁） * * 特殊仕様 ※2 ~167 136 ∅165 136 80 Vent Port Connector Vent Port ∅165 Connector ISO-G1/4 ISO-G1/4 Purge Gas Inlet Cooling Water ④ 仕様種別 B 標準形 Purge Gas Inlet C ケミカル形 ISO-G1/4 Inlet / Outlet ISO-Rc1/4 ISO-G1/4 4×M16 DP25 PCD140 4×M16 DP25 PCD140 A 強制空冷 ③ 冷却方式 N 自然空冷 ∅200 ∅200 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ W 水冷 VG150 ∅235 12 312.5 CF160 ∅203 22 327.5 C CF B ISO-B 145 ISO-B160 ∅225 16 312.5 145 ② 吸気口 フランジ ※1 R ISO-R V VG 空冷 Ⓑ Ⓐ 水冷 Ⓑ Ⓐ K KF 軸受方式 F グリス潤滑玉軸受 TG1100F ∅250 Ⓒ ∅250 Air Cooling Ⓒ Fan 50 N2 排気速度： 50L/s 吸気口： 65A Ⓓ Ⓓ 60 N2 排気速度： 60L/s 吸気口： 65A KF40 KF40 70 N2 排気速度： 70L/s 吸気口： 65A 220 N2 排気速度： 220L/s 吸気口： 100A 240 ① ポンプ N2 排気速度： 240L/s 吸気口： 100A 80 Connector ~167 136 ∅165 Connector 136 サイズ 350 N2 排気速度： 350L/s 吸気口： 100A Vent Port Vent Port ∅165 450 N2 排気速度： 450L/s 吸気口： 150A ISO-G1/4 ISO-G1/4 Cooling Water Inlet / Outlet Rc1/4 800 N2 排気速度： 800L/s 吸気口： 150A Purge Gus Inlet Purge Gus ISO-G1/4 Inlet ISO-G1/4 1100 N2 排気速度： 1100L/s 吸気口： 200A 4×M16 DP25 PCD140 1400 N2 排気速度： 1400L/s 吸気口： 200A ∅200 2400 N2 排気速度： 2400L/s 吸気口：250A ∅200 4×M16 DP25 PCD140 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ ※1　フランジ規格 VG200 ∅300 16 281 VG ： JIS B2290：1998　真空装置用フランジ附属書（参考）保守用フランジ溝形 CF200 ∅253 25 306 CF ： JVIS 003　真空装置用ベーカブルフランジ 145 ISO-B200 ∅285 16 281 145 KF ： ISO2861/1：1974　真空用クランプ形継手 ISO-B ： ISO1609：1986 　真空用フランジ（ボルト固定式） ISO-R ： ISO1609：1986 　真空用フランジ（クロー固定式） 空冷 Ⓑ Ⓐ 水冷 Ⓑ Ⓐ ※2　詳細はお問い合わせください。 TG1400F Air Cooling ∅280 Ⓒ ∅280 Fan Ⓒ 油潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ　TG ／ TS シリーズ　型式説明 Ⓓ Ⓓ KF40 KF40 TG ① ② ③ ④ ~167 136 ∅165 136 80 Vent Port Connector Vent Port ∅165 Connector ISO-G1/4 ISO-G1/4 ④ 冷却方式 A 強制空冷 Cooling Water Purge Gas Purge Gas Inlet / Outlet ISO-Rc1/4 W 水冷 Inlet ISO-G1/4 Inlet ISO-G1/4 4×M16 DP25 PCD140 C CF ∅200 ③ 吸気口 B ISO-B 4×M16 DP25 PCD140 ∅200 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ フランジ R ISO-R VG200 ∅300 16 272 V VG CF200 ∅253 25 319 145 ISO-B200 ∅285 16 300 145 ② 仕様種別 0 標準形 3 ケミカル形 5 N2 排気速度： 25L/s 吸気口： 100A 空冷 Ⓑ Ⓐ 水冷 Ⓑ Ⓐ TG2400F-40 20 N2 排気速度： 200L/s 吸気口： 100A 44 N2 排気速度： 440L/s 吸気口： 150A 250 55 N2 排気速度： 550L/s 吸気口： 150A TG2400F Ⓒ Ⓒ 100 N2 排気速度： 1000L/s 吸気口： 150A Air Cooling Fan Ⓓ Ⓓ ① ポンプ 130 N2 排気速度： 1300L/s 吸気口： 200A KF40 KF40 サイズ ※3 181 N2 排気速度： 1800L/s 吸気口： 250A 281 N2 排気速度： 2800L/s 吸気口： 250A 321 N2 排気速度： 3200L/s 吸気口： 300A 341 N2 排気速度： 3400L/s 吸気口： 350A Vent Port Vent Port ISO-G1/4 Connector ISO-G1/4 Connector Purge Gas Inlet 35° 35° 500 N2 排気速度： 5000L/s 吸気口： 450A Purge Gas Inlet ISO-G1/4 ISO-G1/4 550 N2 排気速度： 5500L/s 吸気口： 500A Cooling Water Inlet / Outlet Rc1/4 ロータ形式 TG 複合ロータ TS ヘリカル溝 6 ∅286 ∅28 ※3　TS シリーズは TS50、TS440/443 のみ。TG シリーズはそれ以外の型式をラインアップ。 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ 　　　TG5000/5003 は受注生産品です。詳しくは当社営業にお問い合せください。 6×M16 DP25 6×M16 DP25 VG250 ∅350 16 340 PCD255 PCD255 202 186 200 186 ISO-B250 ∅335 16 340 11 12 120 120 120 120 47.5 47.5 47.5 47.5 181 95.5 47.5 47.5 47.5 54 47.5 181 95.5 47.5 47.5 47.5 68 47.5 68 47.5 68 47.5

油潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ 仕様 ポンプ型式 TG203 TG553 TG1003 TG1303 TG1813 TG VG100 VG150 VG200 吸気口フランジ CF100 CF160 CF200 VG250 SERIES ISO-R100 ISO-B160 ISO-B200 ISO-B250 排気口フランジ KF25 KF40 産業分野 冷却方式 水冷／空冷 水冷 N2 200 550 1000 1300 1800 光学産業 エネルギー 素材 自動車・航空 宇宙・研究開発 排気速度（ L/s） N2 （保護金網付） 140 430 940 1100 1700 H2 150 370 1000 1100 油潤滑玉軸受形で 200 ～ 5500L/s の排気容量の製品をラインアップ N2 1×108 最大圧縮比 複合ロータを採用し、腐食性ガスに対応した仕様もラインアップ。耐久性と性能のバランスに優れ、光学産業、エネルギー、自動車などの H2 4×103 3×103 4×103 3×103 一般産業分野から研究開発用途まで、幅広く採用されています。 試験到達圧力（Pa） <1×10-6：VG･ISO-R <1×10-6：VG･ISO-B <1×10-7：CF ＜1×10-6 <1×10-7：CF 最大ガス流量 （sccm）※1 N2 543 1500 2715 2444 Point 許容補助圧力（Pa） 550 300 270 ▪ 過酷な環境にも対応可能 推奨補助ポンプ（L/min） ≧80 ≧250 ≧500 ▪ TG203 ～ TG1813（200 ～ 1800L/s）：腐食性ガスの排気に強いケミカル形仕様をラインアップ ▪ TG2810 ～ TG5500（2800 ～ 5500L/s）：クリーンプロセスに有効な標準仕様と腐食性ガスの排気に強いケミカル仕様をラインアップ 起動時間（min） 4 ～ 6 8 ～ 13 9 ～ 12 11 ～ 16 停止時間（min） 4 ～ 6 8 ～ 11 9 ～ 13 23 ～ 28 取付姿勢 正立（±10°） 質量（kg） 11 41 50 80 パワーサプライ型式 TC203A TC553 TC1003 TC1813 断面図 入力電圧 AC 100-110 V AC 200-230 V AC 200-230 V 入力周波数 50 / 60 Hz 吸引気体の流れ 最大所要電力（VA） 610 1200 1600 2200 パージガスの流れ 相数 単相 出力周波数（Hz） 800 400 340 吸気口フランジ 質量（kg） 2.7 8.2 通信インターフェース Parallel I/O・RS232C 動翼 ※1：補助ポンプ容量を 160L/min（TG203）、500L/min（TG553）、1000L/min（TG1003、TG1303、TG1813）とした場合の許容最大ガス流量です。 ［使用周囲温度］ 到達圧力保証周囲温度は 10 ～ 23℃です。また、許容周囲温度は空冷の場合 10 ～ 32℃、水冷の場合は 10 ～ 40℃です。 到達圧力保証冷却水温は 30℃以下で許容冷却水温は 10 ～ 35℃です。 ［対 応 ガ ス 種］ 吸引ガス種によっては軸受潤滑油や内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせください。 ［標 準 セ ッ ト］ ポンプ＋パワーサプライ＋モータケーブル（3ｍ）＋ファンケーブル（3ｍ、TG203 の空冷タイプのみ） ［オプション品］ （ベーキング用）吸気口バンドヒータ、自動スローリーク弁、パージガス接続口、精密ニードル弁、配管部品 静翼 軸 上部ベアリング 性能曲線 SGPロータ 排気速度曲線（N2） ガス流量曲線（N2） 104 SGPステータ 104 モータ 103 103 103 102 102 102 101 101 101 下部ベアリング TG203（Sf＝160L/min） TG203（Sf＝160L/min） TG553（Sf＝500L/min） TG553（Sf＝500L/min） TG1003（Sf＝1000L/min） TG1003（Sf＝1000L/min） 冷却水 TG1303（Sf＝1000L/min） TG1813（Sf＝1000L/min） 100 TG1303（Sf＝1000L/min） TG1813（Sf＝1000L/min） 100 100 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 排気口 油ダメ 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] Inlet pressure Inlet pressure ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 13 14 Volume flow rate [L/s] Throughput [sccm] [Pa·L/s]

油潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ 仕様 ポンプ型式 TG203 TG553 TG1003 TG1303 TG1813 TG VG100 VG150 VG200 吸気口フランジ CF100 CF160 CF200 VG250 SERIES ISO-R100 ISO-B160 ISO-B200 ISO-B250 排気口フランジ KF25 KF40 産業分野 冷却方式 水冷／空冷 水冷 N2 200 550 1000 1300 1800 光学産業 エネルギー 素材 自動車・航空 宇宙・研究開発 排気速度（ L/s） N2 （保護金網付） 140 430 940 1100 1700 H2 150 370 1000 1100 油潤滑玉軸受形で 200 ～ 5500L/s の排気容量の製品をラインアップ N2 1×108 最大圧縮比 複合ロータを採用し、腐食性ガスに対応した仕様もラインアップ。耐久性と性能のバランスに優れ、光学産業、エネルギー、自動車などの H2 4×103 3×103 4×103 3×103 一般産業分野から研究開発用途まで、幅広く採用されています。 試験到達圧力（Pa） <1×10-6：VG･ISO-R <1×10-6：VG･ISO-B <1×10-7：CF ＜1×10-6 <1×10-7：CF 最大ガス流量 （sccm） ※1 N2 543 1500 2715 2444 Point 許容補助圧力（Pa） 550 300 270 ▪ 過酷な環境にも対応可能 推奨補助ポンプ（L/min） ≧80 ≧250 ≧500 ▪ TG203 ～ TG1813（200 ～ 1800L/s）：腐食性ガスの排気に強いケミカル形仕様をラインアップ ▪ TG2810 ～ TG5500（2800 ～ 5500L/s）：クリーンプロセスに有効な標準仕様と腐食性ガスの排気に強いケミカル仕様をラインアップ 起動時間（min） 4 ～ 6 8 ～ 13 9 ～ 12 11 ～ 16 停止時間（min） 4 ～ 6 8 ～ 11 9 ～ 13 23 ～ 28 取付姿勢 正立（±10°） 質量（kg） 11 41 50 80 パワーサプライ型式 TC203A TC553 TC1003 TC1813 断面図 入力電圧 AC 100-110 V AC 200-230 V AC 200-230 V 入力周波数 50 / 60 Hz 吸引気体の流れ 最大所要電力（VA） 610 1200 1600 2200 パージガスの流れ 相数 単相 出力周波数（Hz） 800 400 340 吸気口フランジ 質量（kg） 2.7 8.2 通信インターフェース Parallel I/O・RS232C 動翼 ※1：補助ポンプ容量を 160L/min（TG203）、500L/min（TG553）、1000L/min（TG1003、TG1303、TG1813）とした場合の許容最大ガス流量です。 ［使用周囲温度］ 到達圧力保証周囲温度は 10 ～ 23℃です。また、許容周囲温度は空冷の場合 10 ～ 32℃、水冷の場合は 10 ～ 40℃です。 到達圧力保証冷却水温は 30℃以下で許容冷却水温は 10 ～ 35℃です。 ［対 応 ガ ス 種］ 吸引ガス種によっては軸受潤滑油や内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせください。 ［標 準 セ ッ ト］ ポンプ＋パワーサプライ＋モータケーブル（3ｍ）＋ファンケーブル（3ｍ、TG203 の空冷タイプのみ） ［オプション品］ （ベーキング用）吸気口バンドヒータ、自動スローリーク弁、パージガス接続口、精密ニードル弁、配管部品 静翼 軸 上部ベアリング 性能曲線 SGPロータ 排気速度曲線（N2） ガス流量曲線（N2） 104 SGPステータ 104 モータ 103 103 103 102 102 102 101 101 101 下部ベアリング TG203（Sf＝160L/min） TG203（Sf＝160L/min） TG553（Sf＝500L/min） TG553（Sf＝500L/min） TG1003（Sf＝1000L/min） TG1003（Sf＝1000L/min） 冷却水 TG1303（Sf＝1000L/min） TG1813（Sf＝1000L/min） 100 TG1303（Sf＝1000L/min） TG1813（Sf＝1000L/min） 100 100 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 10-2 10-1 100 101 [Pa]102 排気口 油ダメ 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] 10-4 10-3 10-2 10-1 [Torr] Inlet pr essure Inlet pr essure ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 13 14 Volume flow rate [L/s] Throughput [sccm] [Pa·L/s]

仕様 TG SERIES ポンプ型式 TG2810/2813 TG3210/3213 TG3410/3413 TG5000/5003 TG5500/5503 吸気口フランジ VG250 VG300 ISO-B250 ISO-B320 VG350 VG450 VG500 外観寸法図一覧 ※ 吸気口フランジボルト穴は中心線振分。 排気口フランジ KF40 KF50 空冷 水冷 冷却方式 水冷 Ⓑ Ⓐ Ⓑ Ⓐ N2 2800 3200 3400 5000 5500 Air Cooling Fan 排気速度（ L/s） N2 （保護金網付） 2600 3000 3200 4700 5200 ∅140 Ⓒ ∅140 Ⓒ TG203 Ⓓ Ⓔ Ⓔ Ⓓ H2 2400 2500 2600 4000 4400 N2 1×108 最大圧縮比 H2 6×103 5×103 ∅89 KF25 KF25 Purge Gas Inlet Purge Gas Inlet ∅89 ISO-G1/4 ISO-G1/4 試験到達圧力（Pa） ＜1×10-6 Connector Connector 85 85 Oil Sump 最大ガス流量 30° 30° 30° 3 Oil Sump 0° （sccm） ※1 N2 543 1200 0 12許容補助圧力（Pa） 270 200 75 推奨補助ポンプ（L/min） ≧1500 起動時間（min） 10 ～ 15 25 ～ 35 3×M8 DP10 PCD128 3×M8 DP10 PCD128 停止時間（min） 25 ～ 30 30 ～ 40 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ Cooling Water  36 1 VG100 ∅185 15 264 226 Inlet / Outlet ISO-Rc3/8 20 45° 取付姿勢 正立（±10°） 60 CF100 ∅152 21 264 226 ISO-R100 ∅130 12 262 224 質量（kg） 100 250 パワーサプライ型式 TC3213 TC5503 入力電圧 AC 200-230 V 水冷 Ⓑ Ⓐ 水冷 Ⓑ Ⓐ 入力周波数 50 / 60 Hz 最大所要電力（VA） 2200 Ⓒ Ⓒ ∅223 ∅267 相数 単相 Ⓓ ∅256 Ⓔ Ⓔ Ⓓ 出力周波数（Hz） 360 500 8.2 8.7 TG553 KF40 ∅296 KF40 質量（kg） TG1003 通信インターフェース Parallel I/O・RS232C Oil Sump Cooling Water Oil Sump ※1：補助ポンプ容量を 3000L/min（TG2810/2813 ～ TG5500/5503）とした場合の許容最大ガス流量です。 Connector 102 Inlet / Outlet Connector Cooling Water ISO-Rc3/8 102 Inlet / Outlet ISO-Rc3/8 ［使用周囲温度］ 到達圧力保証周囲温度は 10 ～ 23℃です。又、許容周囲温度は 10 ～ 40℃です。 到達圧力保証冷却水温は 30℃以下で許容冷却水温は 10 ～ 35℃です。 ［対 応 ガ ス 種］ 吸引ガス種によっては軸受潤滑油や内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせください。 ［標 準 セ ッ ト］ ポンプ＋パワーサプライ＋モータケーブル（3ｍ）＋ファンケーブル（3ｍ、TG203 の空冷タイプのみ） 14×M8 DP13 ［オプション品］ （ベーキング用）吸気口バンドヒータ、自動スローリーク弁、パージガス接続口、精密ニードル弁、配管部品 PCD282 Purge Gas Inlet Purge Gas Inlet ISO-G1/4 10×M8 DP20 ISO-G1/4 150 PCD238 162 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ VG150 ∅235 16 402 360 VG150 ∅235 16 421 359 CF160 ∅203 22 402 360 CF160 ∅203 22 421 359 ISO-B160 ∅225 16 402 360 ISO-B160 ∅225 16 421 359 性能曲線 排気速度曲線（N2） ガス流量曲線（N2） 水冷 Ⓑ Ⓐ 水冷 Ⓑ Ⓐ 104 104 ∅307 Ⓒ ∅267 Ⓒ 103 Ⓔ Ⓔ TG1303 Ⓓ TG1813 Ⓓ ∅356 103 103 ∅296 KF40 KF40 102 Oil Sump Oil Sump 102 102 Connector Cooling Water 102 Inlet / Outlet Connector 111 Cooling Water ISO-Rc3/8 Inlet / Outlet ISO-Rc3/8 101 101 101 TG2810（Sf＝1500 - 3000L/min） TG2810（Sf＝1500 - 3000L/min） TG3210（Sf＝1500 - 3000L/min） TG3210（Sf＝1500 - 3000L/min） TG3410（Sf＝1500 - 3000L/min） TG3410（Sf＝1500 - 3000L/min） TG5000（Sf＝1500 - 3000L/min） TG5000（Sf＝1500 - 3000L/min） Purge Gas Inlet ISO-G1/4 14×M8 DP13 TG5500（Sf＝1500 - 3000L/min） 100 TG5500（Sf＝1500 - 3000L/min） 162 PCD282 Purge Gas Inlet 8×M10 DP12 ISO-G1/4 PCD340 100 100 183 10-3 10-2 10-1 100 [Pa] 101 10-3 10-2 10-1 100 [Pa] 101 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ VG200 ∅300 20 392 330 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ 10-5 10-4 10-3 10-2 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 [Torr] CF200 ∅253 25 407 345 VG250 ∅350 21 425 363 Inlet pressu re Inlet pre ssure ISO-B200 ∅285 16 392 330 ISO-B250 ∅335 16 425 363 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 15 16 Volume flow rate [L/s] Throughput [sccm] 85.5 77 85.5 77 74 115 74 95 43 22 53 85.5 77 85.5 77 100 11 25 25 74 115 41 81 115 43 43

仕様 TG SERIES ポンプ型式 TG2810/2813 TG3210/3213 TG3410/3413 TG5000/5003 TG5500/5503 吸気口フランジ VG250 VG300 ISO-B250 ISO-B320 VG350 VG450 VG500 外観寸法図一覧 ※ 吸気口フランジボルト穴は中心線振分。 排気口フランジ KF40 KF50 空冷 水冷 冷却方式 水冷 Ⓑ Ⓐ Ⓑ Ⓐ N2 2800 3200 3400 5000 5500 Air Cooling Fan 排気速度（ L/s） N2 （保護金網付） 2600 3000 3200 4700 5200 ∅140 Ⓒ ∅140 Ⓒ TG203 Ⓓ Ⓔ Ⓔ Ⓓ H2 2400 2500 2600 4000 4400 N2 1×108 最大圧縮比 H2 6×103 5×103 ∅89 KF25 KF25 Purge Gas Inlet Purge Gas Inlet ∅89 ISO-G1/4 ISO-G1/4 試験到達圧力（Pa） ＜1×10-6 Connector Connector 85 85 Oil Sump 最大ガス流量 30° 30° 30° 3 Oil Sump 0° （sccm）※1 N2 543 1200 0 12許容補助圧力（Pa） 270 200 75 推奨補助ポンプ（L/min） ≧1500 起動時間（min） 10 ～ 15 25 ～ 35 3×M8 DP10 PCD128 3×M8 DP10 PCD128 停止時間（min） 25 ～ 30 30 ～ 40 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ Cooling Water  36 1 VG100 ∅185 15 264 226 Inlet / Outlet ISO-Rc3/8 20 45° 取付姿勢 正立（±10°） 60 CF100 ∅152 21 264 226 ISO-R100 ∅130 12 262 224 質量（kg） 100 250 パワーサプライ型式 TC3213 TC5503 入力電圧 AC 200-230 V 水冷 Ⓑ Ⓐ 水冷 Ⓑ Ⓐ 入力周波数 50 / 60 Hz 最大所要電力（VA） 2200 Ⓒ Ⓒ ∅223 ∅267 相数 単相 Ⓓ ∅256 Ⓔ Ⓔ Ⓓ 出力周波数（Hz） 360 500 8.2 8.7 TG553 KF40 ∅296 KF40 質量（kg） TG1003 通信インターフェース Parallel I/O・RS232C Oil Sump Cooling Water Oil Sump ※1：補助ポンプ容量を 3000L/min（TG2810/2813 ～ TG5500/5503）とした場合の許容最大ガス流量です。 Connector 102 Inlet / Outlet Connector Cooling Water ISO-Rc3/8 102 Inlet / Outlet ISO-Rc3/8 ［使用周囲温度］ 到達圧力保証周囲温度は 10 ～ 23℃です。又、許容周囲温度は 10 ～ 40℃です。 到達圧力保証冷却水温は 30℃以下で許容冷却水温は 10 ～ 35℃です。 ［対 応 ガ ス 種］ 吸引ガス種によっては軸受潤滑油や内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせください。 ［標 準 セ ッ ト］ ポンプ＋パワーサプライ＋モータケーブル（3ｍ）＋ファンケーブル（3ｍ、TG203 の空冷タイプのみ） 14×M8 DP13 ［オプション品］ （ベーキング用）吸気口バンドヒータ、自動スローリーク弁、パージガス接続口、精密ニードル弁、配管部品 PCD282 Purge Gas Inlet Purge Gas Inlet ISO-G1/4 10×M8 DP20 ISO-G1/4 150 PCD238 162 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ VG150 ∅235 16 402 360 VG150 ∅235 16 421 359 CF160 ∅203 22 402 360 CF160 ∅203 22 421 359 ISO-B160 ∅225 16 402 360 ISO-B160 ∅225 16 421 359 性能曲線 排気速度曲線（N2） ガス流量曲線（N2） 水冷 Ⓑ Ⓐ 水冷 Ⓑ Ⓐ 104 104 ∅307 Ⓒ ∅267 Ⓒ 103 Ⓔ Ⓔ TG1303 Ⓓ TG1813 Ⓓ ∅356 103 103 ∅296 KF40 KF40 102 Oil Sump Oil Sump 102 102 Connector Cooling Water 102 Inlet / Outlet Connector 111 Cooling Water ISO-Rc3/8 Inlet / Outlet ISO-Rc3/8 101 101 101 TG2810（Sf＝1500 - 3000L/min） TG2810（Sf＝1500 - 3000L/min） TG3210（Sf＝1500 - 3000L/min） TG3210（Sf＝1500 - 3000L/min） TG3410（Sf＝1500 - 3000L/min） TG3410（Sf＝1500 - 3000L/min） TG5000（Sf＝1500 - 3000L/min） TG5000（Sf＝1500 - 3000L/min） Purge Gas Inlet ISO-G1/4 14×M8 DP13 TG5500（Sf＝1500 - 3000L/min） 100 TG5500（Sf＝1500 - 3000L/min） 162 PCD282 Purge Gas Inlet 8×M10 DP12 ISO-G1/4 PCD340 100 100 183 10-3 10-2 10-1 100 [Pa] 101 10-3 10-2 10-1 100 [Pa] 101 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ VG200 ∅300 20 392 330 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ 10-5 10-4 10-3 10-2 [Torr] 10-5 10-4 10-3 10-2 [Torr] CF200 ∅253 25 407 345 VG250 ∅350 21 425 363 Inlet pressure Inlet pressure ISO-B200 ∅285 16 392 330 ISO-B250 ∅335 16 425 363 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 ※ Sf は、補助ポンプ容量を示します。 15 16 Volume flow rate [L/s] Throughput [sccm] 85.5 77 85.5 77 74 115 74 95 43 22 53 85.5 77 85.5 77 100 11 25 25 74 115 41 81 115 43 43

TG SERIES ヘリカル溝真空ポンプ 外観寸法図一覧 ※ 吸気口フランジボルト穴は中心線振分。 水冷 Ⓑ Ⓐ 水冷 Ⓑ Ⓐ TS SERIES TG2810 Ⓒ TG3210 ∅ Ⓒ 377 産業分野 ∅377 Ⓔ TG2813 Ⓔ Ⓓ TG3213 Ⓓ ∅405 光学産業 理化学機器 エネルギー 素材 自動車・航空 宇宙・研究開発 ∅405 KF40 Oil Sump Oil Sump Connector 102 Cooling Water 油潤滑玉軸受形、全段ヘリカル溝（ねじ溝）ロータを採用した、 25 と 440L/s の排気容量の製品をラインアップ Connector Inlet / Outlet 102 Cooling Water ISO-Rc3/8 Inlet / Outlet 全段ヘリカル溝ロータを採用した高流量・高圧縮比対応機種。高負荷運転や長時間稼働にも対応し、大型チャンバーの排気に最適。 ISO-Rc3/8 Point 8×M10 DP18 PCD390 ▪ 中・低真空領域において大量のガス排気可能 Purge Gas Inlet Purge Gas Inlet ISO-G1/4 210 ▪ TS50：300,000 回以上の大気突入に耐えられる構造 ISO-G1/4 210 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ VG250 ∅350 21 454.5 392.5 VG300 ∅400 16 411.5 349.5 ISO-B250 ∅335 16 454.5 392.5 ISO-B320 ∅425 19 406.5 344.5 水冷 Ⓑ Ⓐ 水冷 Ⓑ Ⓐ 断面図 ∅377 TG3410 Ⓒ ∅516 Ⓒ ∅ Ⓔ Ⓓ 405 KF40 TG5000 ∅570 Ⓔ Ⓓ KF50 吸引気体の流れ TG3413 TG5003 パージガスの流れ Oil Sump Cooling Water Connector 101 Cooling Water Oil Level Sensor Connector Inlet / Outlet Inlet / Outlet 250 ISO-Rc3/8 ISO-Rc3/8 吸気口フランジ Oil Sump 8×M10 DP18 8×M20 DP50 PCD390 PCD540 Purge Gas Inlet ISO-G1/4 Purge Gas Inlet 210 ISO-G1/4 320 SGPロータ Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ VG350 ∅450 20 380 318 VG450 ∅575 25 600 487 上部ベアリング 水冷 Ⓑ Ⓐ TG5500 ∅516 Ⓒ Ⓔ 軸 ∅570 Ⓓ KF50 TG5503 モータ Cooling Water Oil Level Inlet / Outlet Sensor Connector 250 ISO-Rc3/8 Oil Sump 下部ベアリング 冷却水 排気口 8×M20 DP50 PCD540 Purge Gas Inlet ISO-G1/4 320 油ダメ Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ VG500 ∅625 25 560 447 17 18 85.5 77 175 156 85.5 77 100 74 115 150 83 74 115 42.5 42.5 175 156 85.5 77 100 150 74 115 83 42.5

TG SERIES ヘリカル溝真空ポンプ 外観寸法図一覧 ※ 吸気口フランジボルト穴は中心線振分。 水冷 Ⓑ Ⓐ 水冷 Ⓑ Ⓐ TS SERIES TG2810 Ⓒ TG3210 ∅ Ⓒ 377 産業分野 ∅377 Ⓔ TG2813 Ⓔ Ⓓ TG3213 Ⓓ ∅405 光学産業 理化学機器 エネルギー 素材 自動車・航空 宇宙・研究開発 ∅405 KF40 Oil Sump Oil Sump Connector 102 Cooling Water 油潤滑玉軸受形、全段ヘリカル溝（ねじ溝）ロータを採用した、 25 と 440L/s の排気容量の製品をラインアップ Connector Inlet / Outlet 102 Cooling Water ISO-Rc3/8 Inlet / Outlet 全段ヘリカル溝ロータを採用した高流量・高圧縮比対応機種。高負荷運転や長時間稼働にも対応し、大型チャンバーの排気に最適。 ISO-Rc3/8 Point 8×M10 DP18 PCD390 ▪ 中・低真空領域において大量のガス排気可能 Purge Gas Inlet Purge Gas Inlet ISO-G1/4 210 ▪ TS50：300,000 回以上の大気突入に耐えられる構造 ISO-G1/4 210 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ VG250 ∅350 21 454.5 392.5 VG300 ∅400 16 411.5 349.5 ISO-B250 ∅335 16 454.5 392.5 ISO-B320 ∅425 19 406.5 344.5 水冷 Ⓑ Ⓐ 水冷 Ⓑ Ⓐ 断面図 ∅377 TG3410 Ⓒ ∅516 Ⓒ ∅ Ⓔ Ⓓ 405 KF40 TG5000 ∅570 Ⓔ Ⓓ KF50 吸引気体の流れ TG3413 TG5003 パージガスの流れ Oil Sump Cooling Water Connector 101 Cooling Water Oil Level Sensor Connector Inlet / Outlet Inlet / Outlet 250 ISO-Rc3/8 ISO-Rc3/8 吸気口フランジ Oil Sump 8×M10 DP18 8×M20 DP50 PCD390 PCD540 Purge Gas Inlet ISO-G1/4 Purge Gas Inlet 210 ISO-G1/4 320 SGPロータ Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ VG350 ∅450 20 380 318 VG450 ∅575 25 600 487 上部ベアリング 水冷 Ⓑ Ⓐ TG5500 ∅516 Ⓒ Ⓔ 軸 ∅570 Ⓓ KF50 TG5503 モータ Cooling Water Oil Level Inlet / Outlet Sensor Connector 250 ISO-Rc3/8 Oil Sump 下部ベアリング 冷却水 排気口 8×M20 DP50 PCD540 Purge Gas Inlet ISO-G1/4 320 油ダメ Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ VG500 ∅625 25 560 447 17 18 85.5 77 175 156 85.5 77 100 74 115 150 83 74 115 42.5 42.5 175 156 85.5 77 100 150 74 115 83 42.5

仕様 TS SERIES ポンプ型式 TS50 TS440 / TS443 VG100 VG150 外観寸法図一覧 ※ 吸気口フランジボルト穴は中心線振分。 吸気口フランジ CF100 CF160 ISO-R100 ISO-B160 空冷 水冷 排気口フランジ KF25 KF40 冷却方式 水冷／空冷 水冷 Ⓑ 129 Ⓑ 129 Ⓐ Ⓐ N2 25 440 Oil Cup Oil Cup 排気速度（ L/s） N2 （保護金網付） 23 410 ∅140 H TS50 ∅140 81 Ⓒ Ⓓ Ⓒ 81 Ⓔ 2 13 320 Ⓔ Ⓕ Ⓓ Ⓖ Valve N2 2×106 Valve 最大圧縮比 H2 50 1×103 試験到達圧力（Pa） ※1 < 1×10-4 ＜1×10-5 Air Cooling ∅90 Fan Connector 127 ∅90 Connector 127 Purge Gas 最大ガス流量 Purge Gas Inlet Inlet （sccm） ※2 N2 600 10860 ISO-G1/4 ISO-G1/4 85 30° 30° Oil Sump Oil Sump 30° 30° 許容補助圧力（Pa） 1200 2000 12 0 75 KF25 KF25 推奨補助ポンプ（L/min） ≧80 ≧500 起動時間（min） 2.5 ～ 3.5 10 ～ 14 3×M8 DP10 PCD128 停止時間（min） 2.5 ～ 5 23 ～ 28 3×M8 DP10 PCD128  Cooling Water 取付姿勢 正立（±10°） 120 45 Inlet / Outlet ISO-Rc3/8 ° 85 36 質量（kg） 11 60 60 パワーサプライ型式 TC203A TC443S 入力電圧 AC100-110 V Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ Ⓕ Ⓖ AC200-230 V AC180-253V VG100 ∅185 15 264 185 238 226 CF100 ∅152 21 264 185 236 226 入力周波数 50 / 60 Hz ISO-R100 ∅130 12 262 183 234 224 最大所要電力（VA） 610 2200 相数 単相 出力周波数（Hz） 800 330 水冷 質量（kg） 2.7 8.2 Ⓑ Ⓐ 通信インターフェース Parallel I/O・RS232C ※1：48 時間ベーク後に得られる値です。 Ⓒ ※2：補助排気容量を 160L/min（TS50）、1000L/min（TS440 / TS443）とした場合の許容最大ガス流量です。 ∅267 ［使用周囲温度］ 到達圧力保証周囲温度は 10 ～ 23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合 10 ～ 32℃、水冷の場合は 10 ～ 40℃です。 TS440 / TS443 到達圧力保証冷却水温は 30℃以下で許容冷却水温は 10 ～ 35℃です。 Ⓓ Ⓔ ［対 応 ガ ス 種］ 吸引ガス種によっては、軸受潤滑油や内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせください。 ∅296 ［標 準 セ ッ ト］ ポンプ＋パワーサプライ＋モータケーブル（3ｍ） KF40 ［オプション品］ （ベーキング用）吸気口バンドヒータ、自動スローリーク弁、パージガス接続口、精密ニードル弁、配管部品 Oil Sump Connector 102 Cooling Water 172 Inlet / Outlet 性能曲線 ISO-Rc3/8 排気速度曲線 ガス流量曲線 104 10 Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ VG150 ∅235 16 449 430 103 Purge Gas Inlet ISO-G1/4 CF160 ∅203 22 449 430 12×M10 DP13 PCD282 103 104 ISO-B160 ∅225 16 449 430 102 102 103 101 101 102 TS50（N2） TS50（N2） TS50（H2） TS50（H2） TS440（ N2） TS440（ N2）100 TS440（ H2） TS440（ H2） 100 101 10-1 100 101 102 103 [Pa] 10-1 100 101 102 103 [Pa] 10-3 10-2 10-1 100 101 [Torr] 10-3 10-2 10-1 100 101 [Torr] Inlet pr essure Inlet pr essure 19 20 Volume flow rate [L/s] Throughput [sccm] [Pa·L/s] 85.5 77 115 74 100 11 25 25